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基于TDTR法测量单晶硅的声子平均自由程 被引量:1
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作者 王新伟 张中印 +4 位作者 孙方远 熊雪 陈哲 姜玉雁 唐大伟 《中国石油大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期145-150,共6页
基于时域抽运探测热反射法(TDTR),通过改变抽运光光斑直径和调制频率的方式控制被测样品单元体,探究不同温度下被测样品单元体内能量传递的声子弹道输运现象,进而间接获得单晶硅不同温度下的声子平均自由程(MFP)信息。结果表明:室温下... 基于时域抽运探测热反射法(TDTR),通过改变抽运光光斑直径和调制频率的方式控制被测样品单元体,探究不同温度下被测样品单元体内能量传递的声子弹道输运现象,进而间接获得单晶硅不同温度下的声子平均自由程(MFP)信息。结果表明:室温下单晶硅声子平均自由程可达1.5μm;低温下单晶硅声子平均自由程增大,被测样品单元体传热尺寸效应增强,声子弹道输运的传热贡献增大,温度在80K时MFP可达40μm。对于采用TDTR法表征薄膜材料及其界面热阻时,要选择尽量大的抽运光光斑直径和尽量小的抽运光调制频率,以避免传热尺寸效应,减小声子弹道输运对测试值的影响。 展开更多
关键词 热导率 tdtr尺寸效应 弹道输运 声子平均自由程
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基于TDTR技术水合物热导率测量方法
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作者 张中印 袁诚阳 +3 位作者 樊轩辉 祝捷 赵佳飞 唐大伟 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第A02期54-61,共8页
四氢呋喃水合物(THF)是典形的笼形水合物,目前有关其热导率的报道较少,且都存在测量样品不是单一相、测量过程水合物发生分解等问题。采用基于飞秒脉冲激光的时域热反射法(TDTR)测量THF热导率。根据样品常温下是流体的特点,设计了可同... 四氢呋喃水合物(THF)是典形的笼形水合物,目前有关其热导率的报道较少,且都存在测量样品不是单一相、测量过程水合物发生分解等问题。采用基于飞秒脉冲激光的时域热反射法(TDTR)测量THF热导率。根据样品常温下是流体的特点,设计了可同时适用样品制备及TDTR测量的温控台,实现THF热导率非接触原位测量。获得THF热导率为0.6W/(m·K),Al/THF界面热导为90.3MW/(m^2·K)。该实验结果有助于理解并完善固体水合物微观导热机理,明晰水分子笼子和客体分子的耦合关系。 展开更多
关键词 水合物 tdtr 热传导 界面 原位测量
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Thermal characterization of GaN heteroepitaxies using ultraviolet transient thermoreflectance 被引量:2
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作者 刘康 赵继文 +3 位作者 孙华锐 郭怀新 代兵 朱嘉琦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第6期105-109,共5页
Thermal transport properties of GaN heteroepitaxial structures are of critical importance for the thermal management of high-power GaN electronic and optoelectronic devices. Ultraviolet(UV) lasers are employed to dire... Thermal transport properties of GaN heteroepitaxial structures are of critical importance for the thermal management of high-power GaN electronic and optoelectronic devices. Ultraviolet(UV) lasers are employed to directly heat and sense the GaN epilayers in the transient thermoreflectance(TTR) measurement, obtaining important thermal transport properties in different GaN heterostructures, which include a diamond thin film heat spreader grown on GaN. The UV TTR technique enables rapid and non-contact thermal characterization for GaN wafers. 展开更多
关键词 GAN HETEROEPITAXY thermal CONDUCTIVITY TRANSIENT thermoreflectance ULTRAVIOLET laser
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Measurements of electron-phonon coupling factor and interfacial thermal resistance of metallic nano-films using a transient thermoreflectance technique 被引量:3
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作者 王海东 马维刚 +2 位作者 过增元 张兴 王玮 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第4期209-216,共8页
Using a transient thermoreflectance (TTR) technique, several Au films with different thicknesses on glass and SiC substrates are measured for thermal characterization of metMlic nano-films, including the electron ph... Using a transient thermoreflectance (TTR) technique, several Au films with different thicknesses on glass and SiC substrates are measured for thermal characterization of metMlic nano-films, including the electron phonon coupling factor G, interfazial thermal resistance R, and thermal conductivity Ks of the substrate. The rear heating-front detecting (RF) method is used to ensure the femtosecond temporal resolution. An intense laser beam is focused on the rear surface to heat the film, and another weak laser beam is focused on the very spot of the front surface to detect the change in the electron temperature. By varying the optical path delay between the two beams, a complete electron temperature profile can be scanned. Different from the normally used single-layer model, the double-layer model involving interfaciM thermal resistance is studied here. The electron temperature cooling profile can be affected by the electron energy transfer into the substrate or the electron-phonon interactions in the metallic films. For multiple-target optimization, the genetic algorithm (GA) is used to obtain both G and R. The experimental result gives a deep understanding of the mechanism of ultra-fast heat transfer in metals. 展开更多
关键词 transient thermoreflectance technique electron-phonon coupling factor interracial thermal resistance genetic algorithms
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Probing thermal properties of vanadium dioxide thin films by time-domain thermoreflectance without metal film
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作者 陆青鑑 高敏 +3 位作者 路畅 龙飞 潘泰松 林媛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期419-423,共5页
Vanadium dioxide(VO_(2))is a strongly correlated material,and it has become known due to its sharp metal-insulator transition(MIT)near room temperature.Understanding the thermal properties and their change across MIT ... Vanadium dioxide(VO_(2))is a strongly correlated material,and it has become known due to its sharp metal-insulator transition(MIT)near room temperature.Understanding the thermal properties and their change across MIT of VO_(2)thin film is important for the applications of this material in various devices.Here,the changes in thermal conductivity of epitaxial and polycrystalline VO_(2)thin film across MIT are probed by the time-domain thermoreflectance(TDTR)method.The measurements are performed in a direct way devoid of deposition of any metal thermoreflectance layer on the VO_(2)film to attenuate the impact from extra thermal interfaces.It is demonstrated that the method is feasible for the VO_(2)films with thickness values larger than 100 nm and beyond the phase transition region.The observed reasonable thermal conductivity change rates across MIT of VO_(2)thin films with different crystal qualities are found to be correlated with the electrical conductivity change rate,which is different from the reported behavior of single crystal VO_(2)nanowires.The recovery of the relationship between thermal conductivity and electrical conductivity in VO_(2)film may be attributed to the increasing elastic electron scattering weight,caused by the defects in the film.This work demonstrates the possibility and limitation of investigating the thermal properties of VO_(2)thin films by the TDTR method without depositing any metal thermoreflectance layer. 展开更多
关键词 vanadium dioxide thin film thermal conductivity time-domain thermoreflectance
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热反射率校准系数与温度的相关性研究
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作者 翟玉卫 丁晨 +3 位作者 李灏 荆晓冬 刘岩 吴爱华 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第8期21-27,共7页
为验证热反射热成像测温中温度对热反射率校准系数(CTR)的影响,采用一套热反射热成像测温装置在较宽的温度范围内对由硅衬底和金组成的被测件进行两种空气热对流条件下的测试。热反射热成像测温装置采用530 nm波长LED作为光源;在20~90... 为验证热反射热成像测温中温度对热反射率校准系数(CTR)的影响,采用一套热反射热成像测温装置在较宽的温度范围内对由硅衬底和金组成的被测件进行两种空气热对流条件下的测试。热反射热成像测温装置采用530 nm波长LED作为光源;在20~90℃范围内以10℃为间隔分别测量被测件表面金和硅的CTR;采用一个小风扇改变空气热对流。发现空气热对流较强时,CTR在高温段快速减小;空气热对流较弱时,CTR在高温段减小速度放缓,认为主要原因是较强的空气热对流会导致测温装置镜头受热而引起测温装置读数降低。试验结果证明,来自测温装置控温平台的较高温度会引起CTR测量结果偏低。 展开更多
关键词 光热反射热成像 环境温度 热反射率校准系数 非线性
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用光热反射热成像测量GaN HEMT稳态温度 被引量:6
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作者 翟玉卫 刘岩 +3 位作者 李灏 丁晨 丁立强 吴爱华 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第10期41-45,共5页
为测量GaN HEMT表面GaN微小结构稳态条件下的温度分布,研发光热反射热成像实验装置并对典型的GaN HEMT进行温度测试。该实验装置以365 nm紫外LED作为光源,具备405 nm的空间分辨率。测试结果显示:实验装置能有效分辨被测件栅极与漏极之间... 为测量GaN HEMT表面GaN微小结构稳态条件下的温度分布,研发光热反射热成像实验装置并对典型的GaN HEMT进行温度测试。该实验装置以365 nm紫外LED作为光源,具备405 nm的空间分辨率。测试结果显示:实验装置能有效分辨被测件栅极与漏极之间GaN材料的温度分布,以热成像的方式测得被测件GaN材料区域的表面温度分布。在滤除噪声影响后,在14 W直流功耗下对GaN材料测温结果与国外商用仪器相比误差约为2℃。该光热反射实验装置可实现对GaN HEMT进行亚微米量级高空间分辨率稳态温度分布测试。 展开更多
关键词 光热反射热成像 GaN HEMT 温度分布 稳态
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热反射测温中基于随机共振的微小信号测量 被引量:8
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作者 翟玉卫 郑世棋 +2 位作者 刘岩 李盈慧 梁法国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第4期618-624,共7页
提出了利用随机共振技术提高基于CCD探测器的热反射测温装置温度分辨力的方法。设定了CCD探测器量化效应的规则,分析了随机共振在非线性的CCD探测器测量过程中的作用机理,从理论上计算出了应用随机共振后CCD探测器测量微小信号的结果。... 提出了利用随机共振技术提高基于CCD探测器的热反射测温装置温度分辨力的方法。设定了CCD探测器量化效应的规则,分析了随机共振在非线性的CCD探测器测量过程中的作用机理,从理论上计算出了应用随机共振后CCD探测器测量微小信号的结果。利用Lab VIEW编写仿真程序,对不同噪声强度对微小信号的测量效果进行了仿真,仿真结果与计算结果一致。仿真结果还显示:噪声强度越低误差越大,噪声强度大于1时,仿真结果与真实值基本一致。搭建了一套理论分辨力1.035℃的可见光热反射测温实验装置,测量0.5℃的微小温度变化,测得结果在0.455~0.673℃的范围内,结果证明了随机共振能够提高CCD探测器小信号测量能力。 展开更多
关键词 计量学 热反射测温 随机共振 CCD探测器 微小信号
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用热反射测温技术测量GaNHEMT的瞬态温度 被引量:13
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作者 翟玉卫 梁法国 +2 位作者 郑世棋 刘岩 李盈慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期76-80,共5页
利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。... 利用具备亚微米量级空间分辨率和纳秒级时间分辨率的热反射测温技术对工作在脉冲偏置条件下的CGH4006P型Ga N HEMT进行了瞬态温度检测。测量了Ga N器件表面栅极、漏极和源极金属各部位在20μs内的瞬态温度幅度、分布及变化速度等数据。栅极、漏极和源极的温度幅度有着非常明显的差距,器件表面以栅为中心呈现较大的温度分布梯度。器件表面栅金属温度变化幅度最高、变化速度最快,其主要温度变化发生在5μs之内。经过仔细分析,器件各部位温度差异的主要原因是器件的传热方向、不同区域与发热点的距离。 展开更多
关键词 热反射测温 氮化镓(GaN) 高电子迁移率晶体管(HEMT) 瞬态温度 脉冲条件
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基于相机的光反射热成像误差分析 被引量:1
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作者 刘岩 翟玉卫 +3 位作者 李灏 韩伟 荆晓冬 梁法国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第5期558-562,共5页
光反射测温过程主要包括CTR校准和温度测量两大步骤,涉及诸多测量量和影响因素。针对基于相机的光反射显微热成像系统,对CTR校准过程和温度测量过程中的各测量量对测温结果的误差贡献进行分析,同时还分析了相机读数的固定偏置项以及光... 光反射测温过程主要包括CTR校准和温度测量两大步骤,涉及诸多测量量和影响因素。针对基于相机的光反射显微热成像系统,对CTR校准过程和温度测量过程中的各测量量对测温结果的误差贡献进行分析,同时还分析了相机读数的固定偏置项以及光源和相机响应度漂移对测温结果的误差贡献。基于分析结果,结合典型参数开展了估算和讨论,可为基于相机光反射测温系统的设计、组建和应用提供有益参考。 展开更多
关键词 计量学 光反射测温 误差分析 显微 热成像
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可见光热反射成像测温中图像配准技术研究 被引量:1
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作者 翟玉卫 刘岩 +1 位作者 李灏 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第3期355-359,共5页
为了消除被测件与测温仪器相对位移对光热反射成像测温结果的影响,研究了亚像素量级的图像配准算法,配合以基于压电陶瓷的三轴纳米位移台,实现了对位移的实时修正。采用傅里叶变换、频域卷积及sinc函数近似等方法完成了能够实现亚像素... 为了消除被测件与测温仪器相对位移对光热反射成像测温结果的影响,研究了亚像素量级的图像配准算法,配合以基于压电陶瓷的三轴纳米位移台,实现了对位移的实时修正。采用傅里叶变换、频域卷积及sinc函数近似等方法完成了能够实现亚像素级图像配准的算法,实时计算被测件与测温仪器的相对位移;搭建了一套光热反射成像测温实验装置,采用了三轴压电平台实时调节被测件的位置;试验结果显示,当被测件温度从20℃升高至50℃时,被测件在水平方向上发生了明显的位移,采用实验装置能有效修正该位置偏移。对典型的GaN HEMTs器件进行了测试,测试结果与国外检测机构的结果基本一致,证明了图像配准方法的有效性。 展开更多
关键词 计量学 图像配准 光热反射 成像测温 三轴压电平台
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光热反射技术测量表面下微尺度热结构 被引量:1
12
作者 布文峰 郑兴华 +1 位作者 唐大伟 章琪 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期118-120,共3页
采用周期半导体激光为加热源,连续半导体激光为探测光,光学显微镜物镜聚光,应用稳态的光热反射探测技术得到相应于表面温度响应的周期反射信号,建立一套5~10微米分辨率的实验室用测试系统。利用光刻的形式,制作了掩埋在金属表面下Si基... 采用周期半导体激光为加热源,连续半导体激光为探测光,光学显微镜物镜聚光,应用稳态的光热反射探测技术得到相应于表面温度响应的周期反射信号,建立一套5~10微米分辨率的实验室用测试系统。利用光刻的形式,制作了掩埋在金属表面下Si基体中的SiO_2的图形,分别使用不同频率对其进行一维扫描,在合适的频率下得到被埋藏物的信息,实现微米量级简单结构复合试样的热结构测量。 展开更多
关键词 光热反射技术 微尺度热结构 表面下
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光热反射实验中微弱信号的测量
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作者 布文峰 郑兴华 +2 位作者 唐大伟 王照亮 程光华 《上海理工大学学报》 EI CAS 北大核心 2008年第1期71-74,共4页
介绍了用激光光热反射方法测量表面下物体热物性的实验原理.分析了实验中噪声的主要来源,运用带通滤光片结合差分探测的方式降低激光器产生的噪声.锁相放大技术对被测信号进行窄带放大,锁相放大器结合示波器输出了被测信号的周期变化部... 介绍了用激光光热反射方法测量表面下物体热物性的实验原理.分析了实验中噪声的主要来源,运用带通滤光片结合差分探测的方式降低激光器产生的噪声.锁相放大技术对被测信号进行窄带放大,锁相放大器结合示波器输出了被测信号的周期变化部分,实现了光热法测量中微弱信号的测量. 展开更多
关键词 热物性 光热反射技术 噪声 滤波 锁相放大
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用于光热反射显微热成像的位置漂移修正方法
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作者 刘岩 翟玉卫 +3 位作者 丁晨 乔玉娥 荆晓冬 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第9期1142-1146,共5页
光热反射显微热成像测试过程中需要采集若干被测图像,整个过程中图像各像素与被测表面位置的对应关系应保持不变,但是被测表面不可避免地会发生位置漂移,从而引起测量误差。结合光热反射显微热成像的具体应用场景和位置漂移的特性,设计... 光热反射显微热成像测试过程中需要采集若干被测图像,整个过程中图像各像素与被测表面位置的对应关系应保持不变,但是被测表面不可避免地会发生位置漂移,从而引起测量误差。结合光热反射显微热成像的具体应用场景和位置漂移的特性,设计了有针对性的亚像素图像配准算法,结合PID控制驱动三轴纳米位移台实现实时的位置漂移修正。实验验证了算法性能以及漂移修正效果,位移修正残差在5 nm以内,与未补偿测量相比,位置漂移引入的误差得到了较好的抑制,提高了光热反射显微热成像测试的准确性。 展开更多
关键词 计量学 亚像素图像配准 光热反射显微热成像 位置漂移 PID
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用紫外热反射热成像测量GaN HEMT的峰值温度
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作者 翟玉卫 刘岩 +2 位作者 荆晓冬 丁晨 吴爱华 《电子器件》 CAS 北大核心 2022年第6期1348-1353,共6页
通过搭建一套以紫外LED作为光源的热反射热成像测温装置,对SiC衬底上的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的沟道GaN材料的峰值温度进行了测量。搭建了一套以365 nm浅紫外LED为光源的热反射成像测温装置。采用清晰度算法和纳米量级三轴... 通过搭建一套以紫外LED作为光源的热反射热成像测温装置,对SiC衬底上的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的沟道GaN材料的峰值温度进行了测量。搭建了一套以365 nm浅紫外LED为光源的热反射成像测温装置。采用清晰度算法和纳米量级三轴压电位移台实现对被测件的实时重聚焦。该装置具备400 nm的空间分辨率,被用于测量被测件GaN材料的峰值温度。测量过程中被测件漏源电压固定在28 V,漏源电流以100 mA为步进从200 mA变化至500 mA。利用具备2.8μm空间分辨率的显微红外热像仪进行了对比试验。随着漏源电流的上升,紫外热反射热成像测温结果比显微红外热成像测温结果高10.0℃至31.5℃。紫外热反射热成像技术较优的空间分辨率和景深指标使其能够更准确地测量GaN HEMT器件的峰值温度。 展开更多
关键词 GaN HEMT 峰值温度 空间分辨率 热反射 红外
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基于双延迟工作台的泵浦-探测光测量技术的改进(英文)
16
作者 张春伟 赵伟玮 +4 位作者 毕可东 雍国清 高雪松 王建立 陈云飞 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2013年第4期414-418,共5页
为了提高飞秒激光瞬态热反射测量技术的测量精度并增加测试的可靠性,延长了泵浦光和探测光的相对光程差,以提高实验数据与理论模型间的拟合精度.通过在泵浦光路中放置一个和探测光路中同样的机械位移平台,搭建了一个新的测试实验台,将... 为了提高飞秒激光瞬态热反射测量技术的测量精度并增加测试的可靠性,延长了泵浦光和探测光的相对光程差,以提高实验数据与理论模型间的拟合精度.通过在泵浦光路中放置一个和探测光路中同样的机械位移平台,搭建了一个新的测试实验台,将两光束的光程差由4 ns提高到8 ns.测量结果表明,当后4ns的测量数据与前4 ns的数据平滑连接后,泵浦光和探测光束间由于发散和飘移所引起的测量误差可忽略不计.对Al/Si和Cr/Si样品界面热导的测量结果表明,实验测得值和现有文献报道数据非常吻合,证实了改进系统的可靠性. 展开更多
关键词 飞秒激光 瞬态热反射 双位移平台 界面热导
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高时间分辨力瞬态热反射显微热成像装置
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作者 刘岩 翟玉卫 +3 位作者 荆晓冬 丁立强 任宇龙 吴爱华 《宇航计测技术》 CSCD 2022年第5期73-78,共6页
瞬态热反射显微热成像能够测量电子器件表面温度分布,兼具高时间分辨力和高空间分辨力,在GaN HEMT等大功率器件热测试中应用日益广泛。研发了瞬态热反射显微热成像装置,利用窄脉冲照明,捕捉特定短时间内被测器件表面的图像,实现瞬态热... 瞬态热反射显微热成像能够测量电子器件表面温度分布,兼具高时间分辨力和高空间分辨力,在GaN HEMT等大功率器件热测试中应用日益广泛。研发了瞬态热反射显微热成像装置,利用窄脉冲照明,捕捉特定短时间内被测器件表面的图像,实现瞬态热反射热成像,时间分辨力达到1μs。以微带电阻作为被测器件开展了瞬态测温实验,激励脉宽10μs,测试得到了不同时刻微带电阻上温度分布,可以观察到升温和降温过程的细节,温度上升和下降时间在(2~3)μs,有效验证了装置的时间分辨力性能。 展开更多
关键词 热反射显微热成像 温度分布 瞬态 高时间分辨力
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多晶金薄膜电子-声子耦合
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作者 马维刚 王海东 +1 位作者 张兴 王玮 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S1期48-53,共6页
随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测... 随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测热反射方法,对不同厚度金薄膜中的电子-声子耦合过程进行了实验研究。研究结果表明薄膜中的电子-声子耦合和体材料基本相同,并且不随薄膜厚度及晶粒尺寸发生变化。通过对表面和晶界对电子-声子耦合的机理分析发现,在多晶薄膜中电子弛豫通过电子-声子、电子-晶界及电子-表面耦合实现,但是电子与晶界及表面的耦合作用远比和声子的耦合弱,因此多晶薄膜的电子-声子耦合过程和体材料相近,且不随薄膜厚度发生变化。 展开更多
关键词 电子-声子耦合 金薄膜 泵浦-探测热反射 飞秒激光
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In_(0.2)Ga_(0.8)As/GaAs应变多量子阱结构的光调制反射和热调制反射谱的研究
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作者 陈辰嘉 高蔚 +2 位作者 米立志 黄德平 瞿明 《红外与毫米波学报》 CSCD 北大核心 1995年第4期305-309,共5页
对In(0.2)Ga(0.8)As/GaAs应变多量子阱在77K下的光调制反射谱(PR)和热调制反射谱(TR)进行了实验研究.对PR结果的线形拟合指认了应变多量子阱中子能级的跃迁,并与理论计算结果作了比较.实验对比确... 对In(0.2)Ga(0.8)As/GaAs应变多量子阱在77K下的光调制反射谱(PR)和热调制反射谱(TR)进行了实验研究.对PR结果的线形拟合指认了应变多量子阱中子能级的跃迁,并与理论计算结果作了比较.实验对比确认PR中11H、13H等跃迁结构为非耦合态、具有电场调制机构的一阶微商性质.而11L、31H、22H等跃迁结构为阶间耦合态,对这些隧穿耦合的低场调制产生三阶微商特性. 展开更多
关键词 应变多量子阱 光调制反射谱 热调制反射谱
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用热反射热成像技术测量封装GaN/AlGaN HEMT芯片热阻
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作者 翟玉卫 张亚民 +3 位作者 刘岩 韩志国 丁晨 吴爱华 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第11期921-925,共5页
为解决封装GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的芯片热阻难以测量的问题,提出了采用热反射热成像测温装置测量芯片热阻的方法。采用365 nm波长紫外发光二极管(LED)作为测温装置的光源测量芯片沟道区域GaN材料的温度,以近似峰值结温;采... 为解决封装GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的芯片热阻难以测量的问题,提出了采用热反射热成像测温装置测量芯片热阻的方法。采用365 nm波长紫外发光二极管(LED)作为测温装置的光源测量芯片沟道区域GaN材料的温度,以近似峰值结温;采用530 nm波长可见光LED作为光源测量芯片底面金属的温度。测温过程中,采用图像配准技术和自动重聚焦技术调整由于热膨胀引起的位置偏移和离焦。对芯片底面金属测温结果进行了误差分析。最后,在4个加热功率下测量了芯片热阻,测量结果显示芯片热阻与总热阻之比超过52%。 展开更多
关键词 GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT) 热反射 沟道 结温 热阻
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