薄施密特校正板的加工方法研究(英文)

针对薄板玻璃的刚度差,在研磨中容易产生变形这一特点,提出了一种新的加工方法。以加工薄施密特校正板(厚径比小于1/40)为例,用传统的上盘粘接固定工件进行加工,工件在下盘前的面形精度较好,但下盘后产生的变形使其面形精度下降,不能满足要求。采用真空模具法,吸附工件从而使工件固定产生预期的变形,面形精度易于控制,使加工非球面转变为加工平面,降低了加工难度,消除了工件在粘接过程中温度所引起的变形,降低了加工时的不均匀压应力,从而减少了变形,使得加工后的面形与加工过程中的面形接近,最终保证了工件的面形精度。