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微型磁器件纳米孔薄膜铁芯的制备与分析
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作者 吕辉 李根 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第9期19-22,50,共5页
对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确... 对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确定制备方案和提高性能指标提供了支持。 展开更多
关键词 纳米孔 薄膜铁芯 微型磁器件 制备工艺
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