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微型磁器件纳米孔薄膜铁芯的制备与分析
1
作者
吕辉
李根
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第9期19-22,50,共5页
对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确...
对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确定制备方案和提高性能指标提供了支持。
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关键词
纳米孔
薄膜铁芯
微型磁器件
制备工艺
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职称材料
题名
微型磁器件纳米孔薄膜铁芯的制备与分析
1
作者
吕辉
李根
机构
河南理工大学电气工程与自动化学院
河南工业和信息化职业学院信息工程系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第9期19-22,50,共5页
基金
河南省自然科学基金资助项目(162300410123)
河南理工大学博士基金资助项目(B2017-22)。
文摘
对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确定制备方案和提高性能指标提供了支持。
关键词
纳米孔
薄膜铁芯
微型磁器件
制备工艺
Keywords
nanoporous
thin film iron core
micro magnetic device
preparation technology
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
微型磁器件纳米孔薄膜铁芯的制备与分析
吕辉
李根
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
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