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The Study of Condensation Processes in the Low-Temperature Short Heat Pipes with a Nozzle-Shaped Vapour Channel 被引量:2
1
作者 Arkady V. Seryakov 《Engineering(科研)》 2017年第2期190-240,共51页
The results of researches of condensation processes in the vapour channel similar to the Laval nozzle of short linear heat pipes are presented. Capacitive sensors are additionally installed in cooled top covers of the... The results of researches of condensation processes in the vapour channel similar to the Laval nozzle of short linear heat pipes are presented. Capacitive sensors are additionally installed in cooled top covers of the heat pipes, and electromagnetic pulses were supplied to them from the external generator. At heating the heat pipe evaporator, starting from a certain thermal power threshold value, electromagnetic pulses became modulated. It is related with the formations of the boiling process in the capillary-porous evaporator and large amount of vapour over it. Boiling process results in rapid increase of the pressure under which the average temperature of the evaporator occurs to be less than the boiling temperature of the working fluid under increased pressure. Considering condensation of excess vapour, this leads to repeated initiation and extinction of the boiling process in the evaporator, which reflects in pressure pulsations in the vapour channel. Pressure pulsations cause modulating effect on electromagnetic impulses. Pulsations frequencies are measured as well as their dependence from overheating of the evaporator. Using the capacitive sensors and a special electronic equipment we measured the local thickness of the working fluid at the condensing surface inside the heat pipes. Time-averaged values of the condensate film thickness are measured, depending on the heat load on the capillary-porous evaporator. The measurement error does not exceed 2 × 10–3 mm. It is demonstrated that the condensate film thickness lessens sharply with the increase of the heat load on the evaporator of a Laval-like low-temperature heat pipe, while the heat resistance of the film on the condensing surface reaches 60% of the total heat resistance of heat pipe with the capillary-porous evaporator. 展开更多
关键词 heat Pipe Compact Open CAPACITANCE sensor Thickness of CONDENSATE film ROTATIONAL flow
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高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析
2
作者 张梅菊 郭怡雪 +3 位作者 黄漫国 杜子睿 康志鹏 张丛春 《测控技术》 2023年第11期1-5,39,共6页
航空、航天等领域的高速发展对精密热流测量技术提出了更严苛的挑战。ITO/In_(2)O_(3)陶瓷材料相比贵金属材料有着更高的塞贝克系数,并拥有低密度和优异的高温力学性能。基于有限元仿真方法,建立了ITO/In_(2)O_(3)热电堆型薄膜热流传感... 航空、航天等领域的高速发展对精密热流测量技术提出了更严苛的挑战。ITO/In_(2)O_(3)陶瓷材料相比贵金属材料有着更高的塞贝克系数,并拥有低密度和优异的高温力学性能。基于有限元仿真方法,建立了ITO/In_(2)O_(3)热电堆型薄膜热流传感器热电学仿真模型,设计了2种薄膜热流传感器结构,综合分析了热电堆在不同的热阻层分布、热阻层厚度和热流密度下的传热性能和输出动态响应变化,提出了ITO/In_(2)O_(3)薄膜热流传感器的优化设计方案。 展开更多
关键词 高温 薄膜热流传感器 ITO/In_(2)O_(3)热电堆 有限元分析 动态响应
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自加热非晶锗热电阻MEMS流速传感器的制造与测试 被引量:1
3
作者 赵韦良 崔峰 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第2期175-180,共6页
为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连... 为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连接以形成惠斯通电桥。给出了MEMS工艺流程,微加工制造了尺寸为8.9 mm×5.6 mm×0.4 mm的流速传感器芯片。搭建了低流速和高流速气流通道实验装置,对传感器的惠斯通电桥施加50μA的恒定电流(CCA),实现了0~50 m/s范围内的流速测量。结果表明,传感器在低流速(0~2 m/s)时的灵敏度约为81.6 mV/(m/s),在高流速(2~50 m/s)时的灵敏度约为51.9 mV/(m/s),最大功耗仅约为1.03 mW。 展开更多
关键词 MEMS 流速传感器 非晶锗薄膜热电阻 自加热 恒电流工作
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曲面结构上薄膜热流传感器的动态校准研究
4
作者 原敬彬 王高 +3 位作者 薛红新 李志玲 刘云东 黄漫国 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第11期46-49,共4页
搭建了以高功率半导体激光器作为热流源的动态测试系统,响应时间为3.5μs,热流上限为50 MW/m2,可以产生阶跃、脉冲、变频正弦等动态激励信号。分别使用脉冲激励法和变频正弦激励法对传感器进行时域和频域的动态校准。时域上以脉冲信号... 搭建了以高功率半导体激光器作为热流源的动态测试系统,响应时间为3.5μs,热流上限为50 MW/m2,可以产生阶跃、脉冲、变频正弦等动态激励信号。分别使用脉冲激励法和变频正弦激励法对传感器进行时域和频域的动态校准。时域上以脉冲信号作为激励信号,使用负阶跃测试法测量时间常数,用响应速率比表征热流传感器的动态响应特性;频域上以变频正弦信号作为激励信号,通过快速傅里叶变换绘制出频率特性曲线,得到传感器的频率响应为18.4 Hz。并对两种动态校准结果进行了分析。 展开更多
关键词 薄膜热流传感器 动态测试系统 时间常数 频率响应
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薄膜热电堆(Cu/Cu55Ni45)热流传感器的制备工艺及性能研究
5
作者 冯楠茗 代波 +1 位作者 王勇 李伟 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第8期1523-1531,共9页
本文首先通过磁控溅射技术在单晶Si和Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上分别依次沉积厚度为600 nm的Cu和Cu55Ni45薄膜,然后使用微加工技术在10 mm×10 mm的衬底区域内制备了200对串联的热电偶组成薄膜热电堆结构,最后采用反应溅射联合硬掩膜沉... 本文首先通过磁控溅射技术在单晶Si和Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上分别依次沉积厚度为600 nm的Cu和Cu55Ni45薄膜,然后使用微加工技术在10 mm×10 mm的衬底区域内制备了200对串联的热电偶组成薄膜热电堆结构,最后采用反应溅射联合硬掩膜沉积了不同厚度的氧化铝热阻层,使串联的热电偶分别产生冷端和热端。根据Seebeck效应,在热流的作用下薄膜热电堆冷热两端的温差使传感器输出热电信号,实现对热流密度的测量。通过对薄膜热电堆的表征与标定,结果表明:沉积在Si衬底与Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上的Cu/Cu55Ni45热电堆中,Cu膜粗糙度分别为20和60 nm,Cu55Ni45膜粗糙度分别为15和20 nm,电阻分别为38.2Ω和2.83 kΩ,灵敏度分别为0.06945和0.02697 mV/(kW·m^(-2))。具有不同表面粗糙度的单晶Si衬底与Al_(2)O_(3)陶瓷衬底会影响在其表面沉积的Cu/Cu55Ni45热电堆表面粗糙度,进而导致薄膜热电堆产生电阻大小差异,此外,Cu/Cu55Ni45热流传感器的输出热电势与热流密度呈现良好的线性关系。 展开更多
关键词 薄膜热电堆 磁控溅射 微加工 SEEBECK效应 热流传感器 灵敏度
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热流计的发展、国际领先技术与改进方向研究 被引量:16
6
作者 廖亚非 张青文 何容盛 《重庆建筑大学学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第2期84-87,共4页
热流计是热能转移过程的量化检测仪器,国外已经大量应用在发电、炼钢、化工产品的分解与合成、建筑采暖、空调等热力过程的能耗检测与热能设施的安全保护检测,而我国还处于推广初期。研究自有知识产权的热流计是基于国家经济的发展对节... 热流计是热能转移过程的量化检测仪器,国外已经大量应用在发电、炼钢、化工产品的分解与合成、建筑采暖、空调等热力过程的能耗检测与热能设施的安全保护检测,而我国还处于推广初期。研究自有知识产权的热流计是基于国家经济的发展对节能的迫切需要,创新研究要高于现有技术必须对国内、外现有的技术进行深入的研究,发扬其优势、改进其不足。广泛检索、消化国内、外专利成果与实用技术的基础上对热流计的发展历程进行了概括、对已有的热流计进行了分类、归纳热流计原理和制作方法,综合比较、分析提炼出性价比和通用性最高的绕线热阻式热流计测头及核心技术热电堆,指出其存在的问题和改进的方向。为下一步创新奠定坚实基础,最终使研究获授予中国发明专利权。 展开更多
关键词 热流计 传感器 热电堆 节能 检测
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一种薄膜热电堆热流传感器灵敏度系数的实验研究 被引量:6
7
作者 杨凯 杨庆涛 +3 位作者 朱新新 王辉 刘建华 朱涛 《宇航计测技术》 CSCD 2018年第3期67-72,共6页
为应对长时间、高频响、高热流密度条件下的热流密度测试要求,通过热沉体设计发展了一种新型热阻式薄膜热电堆热流传感器,并利用对比标定的方法、采用辐射标定方式确定各个此类型传感器的灵敏度系数。标定实验数据表明:该类型热流传感... 为应对长时间、高频响、高热流密度条件下的热流密度测试要求,通过热沉体设计发展了一种新型热阻式薄膜热电堆热流传感器,并利用对比标定的方法、采用辐射标定方式确定各个此类型传感器的灵敏度系数。标定实验数据表明:该类型热流传感器的灵敏度系数与感应面温度相关,且在高于一定温度之上校正关系式不同于以往的线性关系而呈现出二次非线性关系。通过分析可知:呈现出二次非线性校正关系式的原因主要是依赖于温度的热阻层导热系数以及薄膜热电偶Seebeck系数。实验数据以及分析结果为该类型热流传感器的标定和优化设计提供了参考,同时确保了该类型热流传感器在使用过程中获得准确、可靠的热流测试数据。 展开更多
关键词 薄膜热电堆热流传感器 标定 灵敏度系数 导热系数
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新型高温薄膜热流传感器的研制 被引量:6
8
作者 崔云先 黄金鹏 +2 位作者 曹凯迪 王浩宇 殷俊伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期78-87,共10页
航天飞行器在返回地球大气层时外表面会产生兆瓦级的热流,瞬时温升可达1 800℃,为了保证飞行器的稳定安全运行,准确实时测量飞行器热防护系统表面热流具有非常迫切和重要的意义。针对高温热流检测的技术难题,提出了一种引线与基底一体... 航天飞行器在返回地球大气层时外表面会产生兆瓦级的热流,瞬时温升可达1 800℃,为了保证飞行器的稳定安全运行,准确实时测量飞行器热防护系统表面热流具有非常迫切和重要的意义。针对高温热流检测的技术难题,提出了一种引线与基底一体化的新型热流传感器结构。结合陶瓷烧结静压成型和磁控溅射技术,通过在嵌入PtRh6引线的99氧化铝陶瓷基底端面依次沉积PtRh30-PtRh6热电堆薄膜、Al_(2)O_(3)薄膜、ZrO_(2)薄膜,研制了一款新型高温薄膜热流传感器,并对热流传感器进行了静态、动态性能、耐高温及重复性测试。结果表明,所研制的传感器灵敏度可达0.01μV/(W/m^(2))以上,传感器动态响应时间为3.97 s,对传感器进行1200℃高温实验,结果显示传感器经历高温前后输出信号无明显变化,传感器最大重复性误差为2.38%。所研制的高温薄膜热流传感器可为高温热流测量和热防护系统优化提供科学依据。 展开更多
关键词 热流传感器 薄膜热电堆 磁控溅射 陶瓷烧结 高温
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自有知识产权热流计的研究 被引量:2
9
作者 廖亚非 张清文 何容盛 《重庆建筑大学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期105-107,共3页
在广泛检索、消化国内、外专利成果与实用技术,指出其存在的问题和改进的方向的基础上进行的创新研究。研究成果是基于热电堆的原理用新型的平面布线取代三维的线圈布线。陈述了新型热流计的构造型式和制作方法———使制作工艺简化、... 在广泛检索、消化国内、外专利成果与实用技术,指出其存在的问题和改进的方向的基础上进行的创新研究。研究成果是基于热电堆的原理用新型的平面布线取代三维的线圈布线。陈述了新型热流计的构造型式和制作方法———使制作工艺简化、降低成本,使线长一致、电阻、电容、电感一致保证各个测头的一致性提高测头的精度,从而在较现有的绕线式热流计测头更高的检测精度范围内无需标定或降低标定的成本。为热能领域提供经济实用精度更高的热流、节能检测仪器。 展开更多
关键词 热流计 传感器 热电堆 节能 检测
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平面型薄膜热流传感器及其静态特性标定研究 被引量:1
10
作者 丁炯 王佳音 +2 位作者 许启跃 杨遂军 叶树亮 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期643-649,共7页
针对用于径向传热测量的热流传感器及其标定方法研究较少的问题,基于一维圆筒壁传热模型,设计并制备了一种具有自标定特征的平面型热电堆式薄膜热流传感器,提出了一种基于激光加热和温度外推原理的传感器静态特性标定方法,建立了有限元... 针对用于径向传热测量的热流传感器及其标定方法研究较少的问题,基于一维圆筒壁传热模型,设计并制备了一种具有自标定特征的平面型热电堆式薄膜热流传感器,提出了一种基于激光加热和温度外推原理的传感器静态特性标定方法,建立了有限元仿真模型,开展了传感器温度分布规律分析,设计了静态特性标定装置,完成了相应的标定实验。仿真结果显示,传感器沿径向温度分布符合圆筒壁稳态导热模型。实验结果表明,在40℃~100℃范围内,所制备的热流传感器塞贝克系数为5.6μV/℃~7.0μV/℃,数值和变化趋势与标准金铂热电偶接近。所标定的塞贝克系数可直接用于小范围内热流测量,同时在冷端温度已知条件下,该标定结果同样适用于大热流测量。研究结果将对于平面型薄膜热流传感器的制备和标定具有指导意义。 展开更多
关键词 热流传感器 标定 温度外推法 热电堆
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温差式热膜空气质量流量传感器 被引量:20
11
作者 吴克刚 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期86-88,共3页
论述了热膜式空气质量流量计的基本工作原理 ,通过对传感器单元的传热分析设计了一种温差式热膜空气质量流量传感器 ,试验结果表明 。
关键词 温差式热膜空气质量流量传感器 汽车 传热 工作原理 发动机 进气空气流量
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微型流量传感器研究
12
作者 姚爱琴 马忠亮 马铁华 《华北工学院测试技术学报》 2000年第1期25-28,共4页
目的 研究微型管道的流量测量技术 .方法 采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成 4个独立的铂电阻 ,并构成一基本的电桥 ,电桥通以一定的电流后产生热量 ,由于液体流动的作用会使 4个铂... 目的 研究微型管道的流量测量技术 .方法 采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成 4个独立的铂电阻 ,并构成一基本的电桥 ,电桥通以一定的电流后产生热量 ,由于液体流动的作用会使 4个铂电阻间产生一定的温差 ,从而导致电桥失衡 ,产生一定的输出电势 .结果 研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求 .结论 微型流量传感器与传统的传感器相比 ,在性能上有了较大的提高 。 展开更多
关键词 热膜 流量传感器 流量测量 微型管道
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基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制 被引量:4
13
作者 郭林琪 张梅菊 +4 位作者 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1167-1173,共7页
精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优... 精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优点。然而,目前能够应用于高温高热流环境中测量的薄膜热流传感器在灵敏度方面仍然存在较大的局限性。设计和制造了基于铂铑热电堆的新型高温薄膜热流传感器。该传感器由Pt/Pt-13Rh薄膜热电堆、底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层、顶层Al_(2)O_(3)保护层组成,底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层位于Al_(2)O_(3)陶瓷基底和热电堆之间。传感器分别在0~110 kW/m^(2)的热流和1 000℃的温度下进行了测试。测试结果显示,传感器的输出与施加的热流表现出良好的线性关系,灵敏度为8.04×10^(-6)V/(kW/m^(2)),实验数据与仿真结果相近。具有Al_(2)O_(3)保护层的传感器在1 000℃中保温3 h后电阻、灵敏度及响应特性基本上不受影响。设计的新型高温薄膜热流传感器具有较高的灵敏度和可靠性,将为高温环境中的热流测量提供一种新方法。 展开更多
关键词 薄膜热流传感器 Pt/Pt-13Rh热电堆 塞贝克效应 高温高热流
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薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究 被引量:2
14
作者 刘云东 王高 +1 位作者 张丛春 黄漫国 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期35-38,43,共5页
为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为... 为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为热流源,通过电压控制模块调制激光器输出频率,系统响应时间可达微秒(μs)级,可以产生50 MW/m^(2)的热流信号。通过Z-t变换求得传感器脉冲响应的时间常数τ,获得频率响应理论值723 Hz;通过快速傅里叶变换(FFT)求得无量纲频率响应曲线,测得频率响应约为510 Hz,完成薄膜热电堆热流传感器动态频率响应测试,并分析传感器动态性能和综合评价测试平台。 展开更多
关键词 频率调制 辐射热流测试系统 薄膜热电堆热流传感器 频率响应
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柔性基底上原子层热电堆热流敏感薄膜制备研究
15
作者 夏涛 赵睿鹏 +2 位作者 陈曦 李禛哲 陶伯万 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期9018-9024,共7页
针对航空航天高温异构件表面高频热流信号测量难题,提出了一种柔性原子层热电堆热流传感器的解决方案。以镍基合金柔性基带为衬底,通过倾斜基底沉积技术(ISD)生长出了具有倾斜织构的MgO薄膜,并在其上以金属有机物化学气相沉积技术(MOCVD... 针对航空航天高温异构件表面高频热流信号测量难题,提出了一种柔性原子层热电堆热流传感器的解决方案。以镍基合金柔性基带为衬底,通过倾斜基底沉积技术(ISD)生长出了具有倾斜织构的MgO薄膜,并在其上以金属有机物化学气相沉积技术(MOCVD)成功外延生长出了倾斜且织构良好的YBa_(2)Cu_(3)O_(7-δ)(YBCO)热电薄膜。利用脉冲激光对其热电性能进行了测试,其响应时间达到196 ns。 展开更多
关键词 柔性衬底 倾斜取向 原子层热电堆 热流传感器 YBCO薄膜
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双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路
16
作者 涂云婷 崔峰 赵韦良 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第4期341-347,共7页
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电... 为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研究。基于热温差和热损失的工作原理,使用Matlab/Simulink软件对热敏电阻进行数学建模,并使用Cadence/Pspice软件进行电路仿真分析,设计出了可适用于高速(10~30 m/s)、中速(1~10 m/s)和低速(0~1 m/s)的测控电路系统。风速测试实验实现了0~30 m/s的风速测量,结果表明,传感器的灵敏度最高为32.1 mV/(m/s),在低风速段灵敏度也可达到5.5 mV/(m/s)。该传感器可贴于曲面应用,测量范围广,环境温度适应力强。 展开更多
关键词 柔性微电子机械系统(MEMS) 流速传感器 柔性热膜 双加热电阻 测控电路
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