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题名飞秒激光调控的石墨烯异质结薄膜晶体管
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作者
郝彦雪
陈耿旭
郭太良
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机构
福州大学物理与信息工程学院
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出处
《光电子技术》
CAS
2023年第4期293-297,共5页
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基金
国家自然科学基金(62274035、U21A20497、61974029、11604051)
国家重点研究发展项目(2022YFB3603803、2022YFB3603802)
福建省自然科学基金(2020J05104、2020J06012)。
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文摘
介绍了一种利用飞秒激光技术制备的石墨烯异质结薄膜晶体管(GHTFT)。基于还原氧化石墨烯制备石墨烯的原理,该晶体管利用飞秒激光直接在硅基底上制备石墨烯,最终获得了3.05×102的电流开关比。相较于以前报道的石墨烯晶体管,该值提升了102。同时还研究了不同还原程度的氧化石墨烯对GHTFT电流开关比的影响,结果表明氧化石墨烯的还原程度越高,GHTFT的电流开关比越大,这说明飞秒激光能够有效调节GHTFT的电学性能。除此之外,鉴于当前石墨烯制备的困难,提出的方法能够有效避免转移过程和化学过程,同时飞秒激光的高效率提高了石墨烯晶体管的制备效率。
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关键词
石墨烯异质结薄膜晶体管
还原氧化石墨烯
飞秒激光
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Keywords
thin film transistor based on graphene hetero-junction
reduced graphene oxide
fem-tosecond laser
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分类号
TN386.4
[电子电信—物理电子学]
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