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EFFECT OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON Y-Ba-Cu-O THIN FILMS IN SITU GROWTH BY MOCVD
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作者 W. Tao. X. K. Zhang, R. Wang, G. R. Bai Shanghai Institute of Metallurgy, Academia Sinica, Shanghai 200050, China 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1992年第Z1期179-182,共4页
Superconducting thin films of YBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7-x</sub>(Y-Ba-Cu-O) with Tc more than 85K have been deposited in situ by metalorganic chemical vapor deposition ... Superconducting thin films of YBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7-x</sub>(Y-Ba-Cu-O) with Tc more than 85K have been deposited in situ by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) on yttria stabilized zirconia(YSZ) substrates. The relationship of film orientation on substrate temperature and the lowest formation temperature region of superconducting phase have been obtained after changing the substrate temperature. The epitaxial relation between Y-Ba-Cu-O films and the YSZ su bstrates were discussed. 展开更多
关键词 EFFECT OF SUBSTRATE temPERATURE ON Y-Ba-Cu-O thin filmS IN SITU GROWTH BY MOCVD tem In FIGURE Ba Cu
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Influence of Annealing Temperature on the Properties of TiO_2 Films Annealed by ex situ and in situ TEM
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作者 彭堂超 XIAO Xiangheng +4 位作者 REN Feng XU Jinxia ZHOU Xiaodong MEI Fei 蒋昌忠 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第6期1014-1019,共6页
TiO2 thin films were deposited on quartz substrates by DC reactive magnetron sputtering of a pure Ti target in Ar/O2 plasma at room temperature. The TiO2 films were annealed at different temperatures ranging from 300 ... TiO2 thin films were deposited on quartz substrates by DC reactive magnetron sputtering of a pure Ti target in Ar/O2 plasma at room temperature. The TiO2 films were annealed at different temperatures ranging from 300 to 800 ℃ in a tube furnace under flowing oxygen gas for half an hour each. The effect of annealing temperatures on the structure, optical properties, and morphologies were presented and discussed by using X-ray diffraction, optical absorption spectrura, and atomic force microscope. The films show the presence of diffraction peaks from the (101), (004), (200) and (105) lattice planes of the anatase TiO2 lattice. The direct band gap of the annealed films decreases with the increase of annealing temperature. While, the roughness of the films increases with the increases of annealing temperature, and some significant roughness changes of the TiO2 film surfaces were observed after the annealing temperature reached 800 ℃. Moreover, the influences of annealing on the microstructures of the TiO2 film were investigated also by in situ observation in transmission electron microscope. 展开更多
关键词 TiO2 films DC reactive magnetron sputtering ANATASE in situ tem ANNEALING
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基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
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作者 殷智伟 张学林 +2 位作者 姚镭 于海涛 李昕欣 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第8期1288-1294,共7页
传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技... 传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技术。该技术通过磁性TEM芯片和配套的样品杆,在TEM内形成一个密闭空间。将磁性样品上载到磁性TEM芯片上,从而实现在TEM下对磁性样品的安全观测。该芯片的核心结构是可以透射电子束的超薄氮化硅窗口,该窗口采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备,具有极高的机械强度,最高可以承受接近400 kPa的气压差。实验结果表明,利用该TEM表征技术可以在TEM下成功观测铁包硅和NiO两种磁性材料,分辨率可以达到原子级。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 透射电子显微镜(tem) 磁性tem芯片 磁性材料 氮化硅薄膜
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Metal-Organic Deposition of Epitaxial La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>CoO<sub>3</sub>Thin Films on LaAlO<sub>3</sub>Substrates
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作者 Kais Daoudi Zied Othmen +2 位作者 Saoussen El Helali Meherzi Oueslati Tetsuo Tsuchiya 《Crystal Structure Theory and Applications》 2015年第1期1-8,共8页
La0.7Sr0.3CoO3 (LSCO) thin films were epitaxially grown on (001)-single crystalline LaAlO3 substrates by metal organic deposition. The evolution of the crystallinity of the films having various thicknesses and obtaine... La0.7Sr0.3CoO3 (LSCO) thin films were epitaxially grown on (001)-single crystalline LaAlO3 substrates by metal organic deposition. The evolution of the crystallinity of the films having various thicknesses and obtained at various annealing temperatures is investigated using Raman spectroscopy. The Raman mode associated to the Jahn-Teller distortions in the LSCO films is found to be dependent on the annealing temperature and sensitive to the strain state evolution with film thickness. The microstructure and morphology of the obtained films were investigated using transmission electron microscopy observations on cross-sections and atomic force microscopy. The obtained films are characterized by nanocrystalline morphology, with an average roughness around 5 nm. By increasing the annealing temperature to 1000℃ and the film thickness to 100 nm, the electrical resistivity was decreased by several orders of magnitude. The film resistivity reaches approximately 2.7 × 10–4 Ω&bull;cm in a wide interval of temperature of 77 - 320 K, making this material a promising candidate for a variety of applications. 展开更多
关键词 La0.7Sr0.3CoO3 thin films MOD tem Raman Spectroscopy RESISTIVITY
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电解双喷制备多组元合金的TEM薄膜 被引量:1
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作者 姜贝贝 董勇 +2 位作者 钟紫珊 吴焱学 林微甜 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期338-351,共14页
电解双喷减薄/抛光技术是制备金属类TEM薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁,中心穿孔,绕穿孔边缘有较大薄区的优质TEM薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的TEM薄片,包括FeCrNi系奥氏体不锈钢,模具钢,AlFe... 电解双喷减薄/抛光技术是制备金属类TEM薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁,中心穿孔,绕穿孔边缘有较大薄区的优质TEM薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的TEM薄片,包括FeCrNi系奥氏体不锈钢,模具钢,AlFeCrNi(Co/W/V/Cu)系的高熵合金,并通过光学和透射电镜观察穿孔情况和材料内部析出相、成分分布、相界面原子分布、位错等信息,探讨电解双喷过程中电解液的成分、温度,电解双喷的参数(电压/电流、流速)和样品厚度等对双喷效果的影响。总结了各种材料最佳的电解双喷参数,对于具有复杂析出相的钢,需采用不同的电解液来实现TEM薄片的制备。而新型高熵合金则需要调试温度、电压/电流等参数,来获得清晰的两相共格界面,并避免腐蚀产物的干扰。 展开更多
关键词 电解双喷 tem薄膜 高熵合金
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双联碳膜解决纳米晶体在TEM中碳污染的研究
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作者 暴丽霞 常晓雪 +1 位作者 曲双全 邵瑞文 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期223-229,共7页
在透射电子显微镜(TEM)中,电子束会引起碳污染,为了研究纳米晶体在TEM表征过程中碳污染问题的解决方案,选取油胺中合成的Au2Bi纳米晶体,分别用超薄碳膜和超薄双联碳膜制备样品,并用TEM进行表征。研究结果表明,利用超薄双联碳膜制备样品... 在透射电子显微镜(TEM)中,电子束会引起碳污染,为了研究纳米晶体在TEM表征过程中碳污染问题的解决方案,选取油胺中合成的Au2Bi纳米晶体,分别用超薄碳膜和超薄双联碳膜制备样品,并用TEM进行表征。研究结果表明,利用超薄双联碳膜制备样品,明显降低了纳米晶体的碳污染现象,大大提高了电子显微镜图像的质量。同时,从碳污染形成的原理方面,分析了超薄双联碳膜能够缓解碳污染产生的原因,是因为两层碳膜将样品固定在一起,可以有效阻止有机配体的扩散。这种有效且简便的方法有助于TEM研究受配体诱导污染的纳米晶体材料。 展开更多
关键词 碳污染 透射电子显微镜 超薄双联碳膜
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n-nc-Si:H低温制备工艺及其在柔性钙钛矿太阳电池中的应用
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作者 靳果 王记昌 闫奇 《河南科技》 2024年第9期83-87,共5页
【目的】为在低温工艺下制备出适用于柔性钙钛矿太阳电池的高性能电子传输层,需要对电子传输层材料及制备条件进行研究。【方法】将n型氢化纳米晶硅薄膜作为柔性钙钛矿太阳电池电子传输层,研究衬底温度对薄膜性能的影响,并优化电子传输... 【目的】为在低温工艺下制备出适用于柔性钙钛矿太阳电池的高性能电子传输层,需要对电子传输层材料及制备条件进行研究。【方法】将n型氢化纳米晶硅薄膜作为柔性钙钛矿太阳电池电子传输层,研究衬底温度对薄膜性能的影响,并优化电子传输层与钙钛矿层界面处理工艺和结构。【结果】得到暗电导率、光透过率、表面形貌适用于柔性钙钛矿太阳电池电子传输层的n型氢化纳米晶硅薄膜低温制备条件,经过界面优化处理的柔性钙钛矿太阳电池转换效率达到14.66%。【结论】在低温工艺下制备出了高性能的电子传输层及柔性钙钛矿太阳电池,对进一步开展叠层钙钛矿太阳电池的研究具有指导意义。 展开更多
关键词 柔性钙钛矿太阳电池 n-nc-Si:H 衬底温度 薄膜性能 界面优化
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一种高成功率的薄膜截面TEM样品制备方法 被引量:5
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作者 尚海龙 戴嘉维 +4 位作者 马冰洋 张安明 廉政 李荣斌 李戈扬 《理化检验(物理分册)》 CAS 2015年第4期256-258 266,266,共4页
截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样... 截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样品制备方法,该方法不仅操作简便,而且可大大提高制样成功率。 展开更多
关键词 薄膜 tem 截面样品 样品制备
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Co薄膜中CoSi化合物相转变过程观察
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作者 张灶利 肖治纲 杜国维 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期B179-B182,共4页
Si衬底上生长的Co薄膜,经250,450,500℃退火后.用电子显微镜对Co/Si界面处CoSi化合物的相转变进行了观察结果发现CoSi为多晶颗粒.
关键词 薄膜 钴硅化合物 集成电路 电子显微镜
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薄膜截面的TEM样品制备 被引量:5
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作者 戴嘉维 孔明 《理化检验(物理分册)》 CAS 2006年第5期239-241,共3页
针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程。
关键词 薄膜 截面tem样品制备 超晶格
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材料空蚀表面TEM试样的制备及组织观察 被引量:2
11
作者 孙淑华 《物理测试》 CAS 2004年第4期6-8,共3页
采用单侧电解减薄方法制备了组织稳定和不稳定的两种材料原始空蚀表面的TEM薄膜试样,并对相应的材料空蚀表面组织特征进行了研究.结果表明:单侧电解减薄方法不但适于金属材料空蚀表面TEM试样的制备,也适于磨损、冲蚀情况下材料损伤表面... 采用单侧电解减薄方法制备了组织稳定和不稳定的两种材料原始空蚀表面的TEM薄膜试样,并对相应的材料空蚀表面组织特征进行了研究.结果表明:单侧电解减薄方法不但适于金属材料空蚀表面TEM试样的制备,也适于磨损、冲蚀情况下材料损伤表面TEM试样的制备,特别是在材料组织不稳定的时候;空蚀使材料表面位错密度大大增加;在奥氏体稳定情况下,空蚀会诱发出宽约10 nm的精细形变孪晶,在奥氏体不稳定情况下,空蚀会诱发γ/ε以及γ/α′转变. 展开更多
关键词 空蚀 薄膜试样 显微组织 tem 单侧电解减薄 金属材料
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Au-MgF_2团簇薄膜TEM图像二值化阈值选取的研究
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作者 吕建国 戴结林 +1 位作者 宋学萍 孙兆奇 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第3期189-194,共6页
用透射电镜(TEM)观察磁控溅射制备Au-MgF2团簇薄膜的形貌,对团簇薄膜TEM图像采用灰度平均值法和Boltzmann拟合参数法进行二值化处理,并用分形理论表征薄膜中Au团簇的分布规律。结果显示:随着Au体积分数从6.0%增加到49.0%,用灰度平均值... 用透射电镜(TEM)观察磁控溅射制备Au-MgF2团簇薄膜的形貌,对团簇薄膜TEM图像采用灰度平均值法和Boltzmann拟合参数法进行二值化处理,并用分形理论表征薄膜中Au团簇的分布规律。结果显示:随着Au体积分数从6.0%增加到49.0%,用灰度平均值法所得分形维数由1.851增大到1.869,而由Boltzmann拟合参数法所得分形维数从1.669逐渐增大到1.941。两种方法所得分形参数均能表征Au团簇的尺寸和分布复杂程度随体积分数的变化规律,而由Boltzmann拟合参数法所得结果还能很好地表征不同体积分数薄膜Au团簇分布的差异性。 展开更多
关键词 Au-MgF2团簇薄膜 tem 二值化阈值 分形表征
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层状钙钛矿型Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜在LaNiO_3/Si上取向生长的TEM研究
13
作者 叶万能 王立华 +2 位作者 祁亚军 李金华 卢朝靖 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第2期92-96,共5页
用溶胶-凝胶工艺在披覆了LaNiO3底电极的(100)Si衬底上制备了Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)铁电薄膜。X射线衍射结果显示,LaNiO3层呈(110)择优取向,BNdT薄膜呈c轴和a/b轴混合择优取向。透射电镜观察表明,LaNiO3电极层和BNdT薄膜厚度分别约为... 用溶胶-凝胶工艺在披覆了LaNiO3底电极的(100)Si衬底上制备了Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)铁电薄膜。X射线衍射结果显示,LaNiO3层呈(110)择优取向,BNdT薄膜呈c轴和a/b轴混合择优取向。透射电镜观察表明,LaNiO3电极层和BNdT薄膜厚度分别约为180nm和320nm。BNdT薄膜分为上下两层,厚约100nm的底层以薄片状c轴择优取向晶粒为主,在顶层许多柱状晶粒为a/b轴择优取向。讨论了BNdT薄膜在(110)LaNiO3电极上的择优取向生长机制。 展开更多
关键词 BI3.15ND0.85TI3O12 铁电薄膜 取向生长 透射电镜
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GaN薄膜材料TEM样品的制备
14
作者 陈雷英 陈贵锋 +3 位作者 赵勇明 白云娜 马晓薇 李养贤 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期161-163,共3页
研究了采用机械研磨和离子减薄技术制备透射电镜用薄膜样品的方法,介绍了GaN截面TEM样品的制备,发展了供透射电子显微镜(TEM)分析用的"三明治"半导体样品制样技术,并利用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜进行观测,获得了... 研究了采用机械研磨和离子减薄技术制备透射电镜用薄膜样品的方法,介绍了GaN截面TEM样品的制备,发展了供透射电子显微镜(TEM)分析用的"三明治"半导体样品制样技术,并利用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜进行观测,获得了有关半导体GaN材料横截面的薄区图像,加以分析整理从而寻求到了一种透射电镜截面样品的最佳制备工艺。 展开更多
关键词 氮化镓 透射电子显微镜 样品制备 薄膜材料
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一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术——改进的可溶盐基片法
15
作者 杨铎 董玉军 +1 位作者 沈洁 李戈扬 《电子显微学报》 CAS CSCD 2012年第1期70-73,共4页
本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进。改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品。
关键词 tem 样品制备 薄膜
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利用TEM对Si基片与MgO基片上生长的薄膜特性的研究
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作者 昌路 康琳 +2 位作者 刘希 赵少奇 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期231-233,241,共4页
对生长在Si和MgO单晶基片上的不同厚度的单层NbN薄膜、双层薄膜AlN/NbN以及三层薄膜NbN/AlN/NbN应用透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)技术进行了分析研究,对这几种薄膜样品的微观结构、薄膜厚度以及各个边界的一... 对生长在Si和MgO单晶基片上的不同厚度的单层NbN薄膜、双层薄膜AlN/NbN以及三层薄膜NbN/AlN/NbN应用透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)技术进行了分析研究,对这几种薄膜样品的微观结构、薄膜厚度以及各个边界的一些直观细节给出了较为清晰的图像。由透射电子显微镜的电子衍射图案计算了薄膜和单晶衬底的晶格常数,并与我们以前采用X射线衍射技术分析的结果进行了比较,结果有很好的吻合。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 薄膜 电子衍射图案 SIS结
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制备参数对磁控溅射CoSi_2薄膜织构的影响
17
作者 常继 姜传海 +1 位作者 程凡雄 吴建生 《理化检验(物理分册)》 CAS 2005年第4期163-165,190,共4页
采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响。结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构。织构的形成受溅射参数的影响。溅射功率越大,溅射气压越低,(111)织构越强烈。当基底温度增加时,织构... 采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响。结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构。织构的形成受溅射参数的影响。溅射功率越大,溅射气压越低,(111)织构越强烈。当基底温度增加时,织构经历了先增强后减弱的过程。 展开更多
关键词 织构 cosi2薄膜 X射线衍射 磁控溅射
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Characterization and Application of Diamond-like Carbon Films
18
作者 侯清润 高炬 +1 位作者 杨晔 迟宁 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第3期48-53,共6页
Diamond like carbon films were synthesized by the pulsed laser deposition method under a magnetic filed. The magnetic field was used to enhance the hardness of the films. Analysis with transmission electron microscop... Diamond like carbon films were synthesized by the pulsed laser deposition method under a magnetic filed. The magnetic field was used to enhance the hardness of the films. Analysis with transmission electron microscopy and atomic force microscopy were carried out to characterize the films. As a protective coating, the film was deposited on porous silicon. The influence of the coating on the photoluminescence properties of porous silicon was studied. 展开更多
关键词 Diamond like carbon films tem AFM porous silicon PHOTOLUMINESCENCE
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Microstructural Characteristics of Epitaxial BaSrNb_(0.3)Ti_(0.7)O_3 Film
19
作者 Li'na CHENG Xiuliang MA 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第4期517-520,共4页
Microstructural characteristics in the BaSrNb0.3Ti0.7O3 thin film, grown on SrTiO3 substrate by computercontrolled laser molecular beam epitaxy, were characterized by means of transmission electron microscopy (TEM).... Microstructural characteristics in the BaSrNb0.3Ti0.7O3 thin film, grown on SrTiO3 substrate by computercontrolled laser molecular beam epitaxy, were characterized by means of transmission electron microscopy (TEM). It is found that the film is single-crystallized and epitaxially grown on the SrTiO3 substrate forming a flat and distinct interface. Anti-phase domains were identified, and the crystallographic features of mismatch dislocations at the interface between film and substrate were clarified. The high conductivity of the present film was discussed from the viewpoint of Nb dopant and the nitrogen atmosphere. 展开更多
关键词 BaSrNb0.3Ti0.7O3 thin film Epitaxial growth Transmission electron microscopy tem
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CoSi(001)∥MgO(001)薄膜电子结构和铁磁性的第一性原理计算
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作者 邹江 汪鑫海 +3 位作者 王立峰 贺娟 吴波 谢泉 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期5173-5177,5192,共6页
使用了基于密度泛函理论的第一性原理的方法,计算了外延关系为CoSi(001)∥MgO(001)的薄膜生长体系的电子结构和磁矩,以及分析了其电荷密度与差分电荷密度。结果发现当CoSi晶体的晶格常数a,b设定为0.84224 nm,c=0.28135 nm时,体系的能量... 使用了基于密度泛函理论的第一性原理的方法,计算了外延关系为CoSi(001)∥MgO(001)的薄膜生长体系的电子结构和磁矩,以及分析了其电荷密度与差分电荷密度。结果发现当CoSi晶体的晶格常数a,b设定为0.84224 nm,c=0.28135 nm时,体系的能量最低,达到最稳定的平衡态。由自旋极化能带图、总电子态密度以及分态密度可知,该CoSi外延薄膜的导带底与价带顶发生明显的交叠从而表现出金属性同时在费米能级附近产生了明显的自旋裂化现象;价带顶主要是由Co的3d^(7)态电子构成,而导带底主要由Si的3p态电子构成,同时由态密度可知其产生了赝能隙现象,Co-3d态电子不仅主要贡献了态密度,也是薄膜产生磁性的主要因素。由计算结果的密里根电荷以及电荷密度可知,电子由Si转移到Co,Co作为电子受主,Co之间形成反键态,Co、Si之间形成共价键结构。经计算该外延关系下的CoSi具有铁磁性,总磁矩为0.52μB。 展开更多
关键词 cosi薄膜 第一性原理 电子结构 电荷密度 磁性
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