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Deposition of organosilicone thin film from hexamethyldisiloxane(HMDSO)with 50kHz/33MHz dual-frequency atmospheric-pressure plasma jet 被引量:1
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作者 李娇娇 袁强华 +3 位作者 常小伟 王勇 殷桂琴 董晨钟 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期92-98,共7页
The deposition of organosilicone thin films from hexamethyldisiloxane(HMDSO) by using a dual-frequency (50 kHz/33 MHz) atmospheric-pressure micro-plasma jet with an admixture of a small volume of HMDSO and Ar was ... The deposition of organosilicone thin films from hexamethyldisiloxane(HMDSO) by using a dual-frequency (50 kHz/33 MHz) atmospheric-pressure micro-plasma jet with an admixture of a small volume of HMDSO and Ar was investigated.The topography was measured by using scanning electron microscopy.The chemical bond and composition of these films were analyzed by Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) and x-ray photoelectron spectroscopy.The results indicated that the as-deposited film was constituted by silicon,carbon,and oxygen elements,and FTIR suggested the films are organosilicon with the organic component (-CHx) and hydroxyl functional group(-OH) connected to the Si-O-Si backbone.Thin-film hardness was recorded by an MH-5-VM Digital Micro-Hardness Tester.Radio frequency power had a strong impact on film hardness and the hardness increased with increasing power. 展开更多
关键词 organosilicone thin film HEXAMETHYLDISILOXANE dual-frequency atmospheric-pressureplasma jet
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高空高马赫数侧向喷流数值模拟
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作者 高椿宇 王学德 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期147-153,共7页
高空环境下,侧向喷流在飞行器的姿态转换及热防护方面起到关键作用,同时也由于来流稀薄,直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC)对侧向喷流干扰流场的模拟具有很好的适用性。在非结构网格计算的DSMC数值算法的基础上,针对喷流的高密度区及激波区提... 高空环境下,侧向喷流在飞行器的姿态转换及热防护方面起到关键作用,同时也由于来流稀薄,直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC)对侧向喷流干扰流场的模拟具有很好的适用性。在非结构网格计算的DSMC数值算法的基础上,针对喷流的高密度区及激波区提出了一种自适应网格技术,可以用于对高空稀薄区的大气来流与侧向喷流的干扰流场进行模拟预测。通过模拟二维平板侧向喷流,对编制的算法可靠性进行验证,研究了时间步长对流场模拟结果的影响及其数值的选取原则,并模拟计算了不同喷流/来流压力比下的复杂干扰流场结构和气动力的变化规律。 展开更多
关键词 稀薄大气 自适应 侧向喷流 干扰流场
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薄环-紊动射流小孔挤压油膜阻尼器压力特性 被引量:1
3
作者 杨小民 杨海生 +3 位作者 崔永存 李彦 蒋炳珍 邓四二 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期151-160,共10页
为研究单层弹性环式挤压油膜阻尼器(elastic ring squeeze film damper,ERSFD)的油膜压力特性,建立薄环-紊动射流小孔模型。通过平面薄环弯曲理论和普朗特边界层理论分别计算弹性环变形和阻尼孔出口净流速;分析弹性环柔度、阻尼孔直径... 为研究单层弹性环式挤压油膜阻尼器(elastic ring squeeze film damper,ERSFD)的油膜压力特性,建立薄环-紊动射流小孔模型。通过平面薄环弯曲理论和普朗特边界层理论分别计算弹性环变形和阻尼孔出口净流速;分析弹性环柔度、阻尼孔直径及进动角变化对油膜压力特性的影响,并开展外腔油膜压力多转速测量试验。结果表明:外腔油膜压力随弹性环柔度的减小而下降,但随阻尼孔直径的减小而增加;对于内腔油膜压力,阻尼孔直径的影响与外腔相似,但减小弹性环柔度导致压力增加。试验表明,外腔油膜压力在不同转速下均同步方位角周期变化,而高转速时,压力幅值略有增加。 展开更多
关键词 弹性环挤压油膜阻尼器(ERSFD) 薄环 小孔 紊动射流 航空发动机
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电解双喷制备多组元合金的TEM薄膜 被引量:1
4
作者 姜贝贝 董勇 +2 位作者 钟紫珊 吴焱学 林微甜 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期338-351,共14页
电解双喷减薄/抛光技术是制备金属类TEM薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁,中心穿孔,绕穿孔边缘有较大薄区的优质TEM薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的TEM薄片,包括FeCrNi系奥氏体不锈钢,模具钢,AlFe... 电解双喷减薄/抛光技术是制备金属类TEM薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁,中心穿孔,绕穿孔边缘有较大薄区的优质TEM薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的TEM薄片,包括FeCrNi系奥氏体不锈钢,模具钢,AlFeCrNi(Co/W/V/Cu)系的高熵合金,并通过光学和透射电镜观察穿孔情况和材料内部析出相、成分分布、相界面原子分布、位错等信息,探讨电解双喷过程中电解液的成分、温度,电解双喷的参数(电压/电流、流速)和样品厚度等对双喷效果的影响。总结了各种材料最佳的电解双喷参数,对于具有复杂析出相的钢,需采用不同的电解液来实现TEM薄片的制备。而新型高熵合金则需要调试温度、电压/电流等参数,来获得清晰的两相共格界面,并避免腐蚀产物的干扰。 展开更多
关键词 电解双喷 TEM薄膜 高熵合金
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沿空掘巷煤柱合理宽度及薄喷密闭技术研究
5
作者 李慧 石昆 《中国矿业》 2023年第11期144-151,共8页
针对综放开采煤柱护巷效果不佳、围岩变形量大、采空区侧瓦斯溢出等问题,以建新煤矿4209工作面回风巷为工程背景,根据极限平衡理论计算出煤柱的合理宽度为7.8~9.0 m,并利用FLAC3D软件探究不同煤柱宽度下的巷道围岩塑性区发育规律、应力... 针对综放开采煤柱护巷效果不佳、围岩变形量大、采空区侧瓦斯溢出等问题,以建新煤矿4209工作面回风巷为工程背景,根据极限平衡理论计算出煤柱的合理宽度为7.8~9.0 m,并利用FLAC3D软件探究不同煤柱宽度下的巷道围岩塑性区发育规律、应力分布特征、变形情况,综合分析得出煤柱最佳宽度为9 m。基于模拟结果及薄喷密闭原理,结合现场实际条件,设计了巷道支护及薄喷密闭方案。实践结果表明:采用9 m煤柱和薄喷密闭技术后,4209工作面回风巷整体围岩变形量较小,且瓦斯浓度明显降低,满足工作面安全高效生产的需求。 展开更多
关键词 综放开采 沿空掘巷 煤柱宽度 围岩控制 薄喷密闭技术
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大气压等离子体射流放电参数对沉积氧化钛薄膜特性的影响 被引量:1
6
作者 邓成志 韩若愚 +4 位作者 连秀云 冯娟 张天亮 李琛 欧阳吉庭 《石油学报(石油加工)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1070-1081,共12页
大气压等离子体增强化学气相沉积(AP-PECVD)功能薄膜技术受到广泛的关注,但等离子体的作用机理仍有待进一步探讨。利用针-板电极大气压电晕Ar等离子体射流,在不同放电频率条件下,对单、双脉冲的放电参数及沉积TiO_(2)薄膜的性质进行比较... 大气压等离子体增强化学气相沉积(AP-PECVD)功能薄膜技术受到广泛的关注,但等离子体的作用机理仍有待进一步探讨。利用针-板电极大气压电晕Ar等离子体射流,在不同放电频率条件下,对单、双脉冲的放电参数及沉积TiO_(2)薄膜的性质进行比较,阐明了脉冲放电特性对等离子体参数和TiO_(2)薄膜生长的影响,进而推断AP-PECVD中等离子体的作用机理。结果表明:单个电压周期内,放电电流呈稳定的单脉冲或双脉冲,电晕等离子体射流区域呈均匀弥散分布,沉积的氧化钛薄膜均匀致密;其他条件相同的情况下,双脉冲放电极间平均耗散功率、等离子体气体温度大于单脉冲放电,并且等离子体区域发光显著增强,发射光谱计算得到大气压等离子体射流电子激发温度约8000 K,双脉冲等离子体射流电子温度略高于单脉冲等离子体射流。对于薄膜生长,双脉冲放电薄膜沉积速率比单脉冲放电大,沉积的薄膜更加致密,亲水性更强。由于等离子体参数上的差异,在钛酸异丙酯解离过程和TiO_(2)薄膜形成时的表面扩散过程中,双脉冲等离子体射流比单脉冲射流贡献更大,有利于快速沉积更致密、亲水性更高的氧化钛薄膜。 展开更多
关键词 大气压等离子体射流 多脉冲放电 TiO_(2)薄膜沉积 发射光谱法 电晕放电
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真空喷射射流流场的Fluent模拟分析 被引量:12
7
作者 李建昌 李宏宇 +1 位作者 韩宇 巴德纯 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期422-425,共4页
为了对真空射流流场进行研究,应用Fluent软件并基于VOF(volume of fluid)方法、k-ε标准湍模型及PISO算法,对不同喷口直径及入射压力的直射式锥型流道喷嘴的射流流场速度和湍流运动分布进行了数值模拟分析.结果表明:1)入口压力相同... 为了对真空射流流场进行研究,应用Fluent软件并基于VOF(volume of fluid)方法、k-ε标准湍模型及PISO算法,对不同喷口直径及入射压力的直射式锥型流道喷嘴的射流流场速度和湍流运动分布进行了数值模拟分析.结果表明:1)入口压力相同,喷嘴直径越大,射流与周围介质间的速度梯度越大,可促进射流的扩散和液滴破碎后的尺寸均匀分布;2)喷嘴直径一定,入口压力在10~15 MPa内,射流湍流强度分布达到最佳状态,射流流场较好;3)如果不考虑材料的溶解性,相对于三氯甲烷和四氯化碳,丙酮作为溶剂时的液体喷射雾化效果较好,适于制备质量较好的高分子薄膜. 展开更多
关键词 真空喷射 喷嘴 高分子薄膜 喷射射流流场 Fluent模拟
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聚能射流侵彻引爆薄壁弹试验研究 被引量:3
8
作者 宋桂飞 李成国 +2 位作者 夏福君 肖东胜 王韶光 《爆破》 CSCD 北大核心 2010年第1期76-77,103,共3页
针对废旧弹药炸毁处理特点和当前炸毁方法不足,利用聚能效应原理,设计1种用于废旧危险弹药销毁的轴对称射流聚能引爆器,该装置呈圆柱体结构,主要由聚能体、起爆组件和壳体组成,一端开口,用于聚能射流形成与侵彻并在圆柱体前端设计了有... 针对废旧弹药炸毁处理特点和当前炸毁方法不足,利用聚能效应原理,设计1种用于废旧危险弹药销毁的轴对称射流聚能引爆器,该装置呈圆柱体结构,主要由聚能体、起爆组件和壳体组成,一端开口,用于聚能射流形成与侵彻并在圆柱体前端设计了有利炸高,另一端用于固定起爆组件。聚能体由截锥形药型罩、高能炸药组成;起爆组件由雷管、导爆管组成;壳体材质为工程塑料。根据废旧弹药炸毁要求,介绍了聚能引爆器操作使用方法,利用该装置开展了某小口径薄壁弹丸销毁试验。销毁试验证明,该聚能引爆器可以有效销毁废旧危险弹药。 展开更多
关键词 聚能射流 薄壁弹 销毁
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射流在薄钢板上的穿孔规律研究 被引量:4
9
作者 孙建 王利霞 +1 位作者 刘丰旺 刘谦 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2006年第2期57-60,共4页
为了研究反应装甲对射流的切割和干扰作用,开展了射流对薄钢板穿孔规律的研究。借用半无限靶的开坑模型,应用流体力学的方法加以修正,通过实验验证,可以用来计算薄钢板刚被穿透时的孔径,分析高速射流对薄板的扩孔过程,计算结果在射流高... 为了研究反应装甲对射流的切割和干扰作用,开展了射流对薄钢板穿孔规律的研究。借用半无限靶的开坑模型,应用流体力学的方法加以修正,通过实验验证,可以用来计算薄钢板刚被穿透时的孔径,分析高速射流对薄板的扩孔过程,计算结果在射流高速段和成孔的初期阶段与实验结果吻合较好。 展开更多
关键词 射流 薄钢板 开坑 反应装甲
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石灰华沉积机制的实验研究 被引量:23
10
作者 张英骏 程星 祝安 《中国岩溶》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期197-205,共9页
文章提出了高速水流所产生的气泡效应和射流效应对石灰华沉积的影响,并分别对掺气气泡及射流水沫对石灰华沉积的影响进行了实验研究。有关薄水效应对掺气水流中石灰华沉积所起的作用也加以简述。
关键词 石灰华 掺气气泡 薄水效应 沉积
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低温等离子体射流制备二氧化钛薄膜及其光催化活性的研究 被引量:12
11
作者 刘忠伟 李森 +2 位作者 陈强 王正铎 杨丽珍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期1-5,共5页
利用大气压低温等离子体射流技术,以空气为放电气体,四氯化钛为钛源,在玻璃载玻片基底上制备了二氧化钛薄膜。利用扫描电镜及椭圆偏振仪分析测量了薄膜的表面形貌与沉积速率。利用紫外光照射硬脂酸分解速率评价所制备薄膜的光催化活性,... 利用大气压低温等离子体射流技术,以空气为放电气体,四氯化钛为钛源,在玻璃载玻片基底上制备了二氧化钛薄膜。利用扫描电镜及椭圆偏振仪分析测量了薄膜的表面形貌与沉积速率。利用紫外光照射硬脂酸分解速率评价所制备薄膜的光催化活性,结果显示在同一放电输入功率及气体流量条件下,四氯化钛前驱体引入位置距射流枪枪口越近,所制备的二氧化钛薄膜光催化性能越高。在同一反应位置时,放电输入功率的增加有助于提高二氧化钛薄膜的光催化活性。 展开更多
关键词 等离子体射流 二氧化钛 光催化 薄膜
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喷流冷却复合陶瓷薄片激光器的热特性仿真分析及实验研究 被引量:1
12
作者 郭嘉伟 贾凯 +8 位作者 杨峰 彭春 汪晓聪 刘晓旭 韩聚洪 荣克鹏 安国斐 蔡和 王浟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期1-9,共9页
为分析喷流冷却复合陶瓷薄片激光器的热特性,设计用于冷却复合陶瓷薄片的喷流冷却系统.利用湍流换热理论和计算流体动力学仿真方法建立喷流冷却复合陶瓷薄片激光器的流固耦合热仿真模型,定义评价其冷却能力和冷却均匀性的定量参数.根据... 为分析喷流冷却复合陶瓷薄片激光器的热特性,设计用于冷却复合陶瓷薄片的喷流冷却系统.利用湍流换热理论和计算流体动力学仿真方法建立喷流冷却复合陶瓷薄片激光器的流固耦合热仿真模型,定义评价其冷却能力和冷却均匀性的定量参数.根据该仿真模型得到喷流冷却系统的最优设计参数,并进行实验验证.使用163孔喷板,流量为0.2kg/s,入口温度为20℃,在1200 W泵浦时获得359 W激光输出功率,并测得复合陶瓷薄片上表面的最高温度为92℃.激光输出功率与复合陶瓷薄片上表面温度均与泵浦功率呈近似正线性关系,且温度的实验值与仿真值相符度较高. 展开更多
关键词 激光器 薄片 喷流冷却 Nd∶YAG 复合陶瓷 计算流体动力学
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超声速主流中逆向喷流流场的数值模拟 被引量:10
13
作者 刘君 张涵信 高树椿 《空气动力学学报》 CSCD 北大核心 1994年第4期383-390,共8页
本文在差分格式NND-2基础上 ̄[1],提出了一个修正格式,形式简单,应用方便。从薄层近似的NS方程出发,用该格式计算了超声速主流中存在逆向喷流的钝体绕流的粘性流场,成功地捕捉到流场内的各种波系和涡系结构。计算的结果... 本文在差分格式NND-2基础上 ̄[1],提出了一个修正格式,形式简单,应用方便。从薄层近似的NS方程出发,用该格式计算了超声速主流中存在逆向喷流的钝体绕流的粘性流场,成功地捕捉到流场内的各种波系和涡系结构。计算的结果与文献[2]中的实验结果比较表明二者符合很好。 展开更多
关键词 空气动力学 超声速流动 喷流 粘性流场
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薄层色谱法检验喷墨打印机墨水的种类 被引量:10
14
作者 寇瑾 《光谱实验室》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期689-691,共3页
用薄层色谱法对88种国内外不同品牌的喷墨打印机墨水进行了种类的鉴定。根据色谱中所得斑点个数及比移值Rf的不同,可将88种不同品牌的墨水分为11类。
关键词 薄层色谱 喷墨打印机 墨水
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采用新颖喷墨打印技术制备的薄膜LiCoO_2电极及其电化学性能 被引量:2
15
作者 赵尧敏 许娟 +2 位作者 刘玲 杨洁 江志裕 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1122-1125,共4页
采用喷墨打印技术制备了LiCoO2薄膜电极.用X射线衍射、扫描电镜(SEM)、循环伏安和恒电流充放电试验对薄膜电极进行结构表征和电化学性能测试.SEM结果表明,所制备的薄膜电极表面粒子分布均匀,厚度约为1·27μm.经过轻微热处理(450℃,... 采用喷墨打印技术制备了LiCoO2薄膜电极.用X射线衍射、扫描电镜(SEM)、循环伏安和恒电流充放电试验对薄膜电极进行结构表征和电化学性能测试.SEM结果表明,所制备的薄膜电极表面粒子分布均匀,厚度约为1·27μm.经过轻微热处理(450℃,30min)的薄膜LiCoO2电极呈现出稳定的充放电循环性能.当以20μA/cm2进行充放电时,第50次循环容量保持率约为首次放电容量(81mA·h/g)的87%,10次循环后的充放电过程的充放电效率均接近100%. 展开更多
关键词 计算机喷墨打印 薄膜电极 锂离子电池 LICOO2
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防蠕动多级水力喷射压裂工艺管柱的研制与应用 被引量:3
16
作者 彭元东 汤程辉 +4 位作者 宋秉忠 赵娜 尹向东 尹绍波 苗玉礼 《钻采工艺》 CAS 北大核心 2014年第3期75-77,10,共3页
水力喷射压裂改造技术是集射孔、压裂、隔离一体化的改造技术,具有起裂位置准确、起裂压力低、无需封隔器封隔、压出裂缝长、不受完井方式限制等特点,特别适用于低渗透、薄夹层地层的改造。同时为降低施工成本,缩短施工时间,对单趟钻多... 水力喷射压裂改造技术是集射孔、压裂、隔离一体化的改造技术,具有起裂位置准确、起裂压力低、无需封隔器封隔、压出裂缝长、不受完井方式限制等特点,特别适用于低渗透、薄夹层地层的改造。同时为降低施工成本,缩短施工时间,对单趟钻多级改造技术需求很高,而目前的多级水力喷射压裂技术存在需带封隔器、需动管柱、喷枪寿命短,施工管柱易转动和蠕动的问题。通过研制极差滑套式耐磨喷枪、导流式高压安全锚定器及刚性扶正器,形成了不动管柱多级水力喷射压裂工艺技术。该工艺可不带封隔器、不动管柱实现连续分段改造,克服了常规多级水力喷射压裂技术的不足。 展开更多
关键词 水力喷射 水平井 薄夹层 压裂技术
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航空薄壁件加工动态特性及控制 被引量:7
17
作者 周勇 《工具技术》 北大核心 2016年第1期82-86,共5页
薄壁件广泛应用在航空航天领域,然而由于薄壁件刚度较低,加工过程中容易产生振动,因此加工质量很难保证。本文建立薄壁件加工过程的力学模型,并得出刚度是影响其质量的主要原因;针对薄壁件刚度较低的特性,提出一种应用水射流辅助支撑薄... 薄壁件广泛应用在航空航天领域,然而由于薄壁件刚度较低,加工过程中容易产生振动,因此加工质量很难保证。本文建立薄壁件加工过程的力学模型,并得出刚度是影响其质量的主要原因;针对薄壁件刚度较低的特性,提出一种应用水射流辅助支撑薄壁件切削加工的新型方法,该方法可以有效提高薄壁件的加工刚度,减小薄壁件加工过程中产生的振动变形误差。 展开更多
关键词 薄壁件 振动 刚度 射流
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偶联型阳离子固色剂的制备及在彩色喷墨打印纸中的应用 被引量:4
18
作者 陈均志 武丹聘 单世群 《中华纸业》 CAS 北大核心 2006年第11期53-56,共4页
选取N,N-二羟乙基甘氨酸,十二烷基二甲基甜菜碱,月桂酰基丙基甜菜碱,椰油酰基丙基甜菜碱四种不同的有机羧酸配位基合成了一系列可用于彩色喷墨涂布打印纸涂层的新型偶联型阳离子助剂,并对其进行了表征及性能检测。而且采用薄层色谱法(T... 选取N,N-二羟乙基甘氨酸,十二烷基二甲基甜菜碱,月桂酰基丙基甜菜碱,椰油酰基丙基甜菜碱四种不同的有机羧酸配位基合成了一系列可用于彩色喷墨涂布打印纸涂层的新型偶联型阳离子助剂,并对其进行了表征及性能检测。而且采用薄层色谱法(TCL)研究了其对喷墨墨水的固色作用。结果表明:当有机羧酸配位基为月桂酰基丙基甜菜碱,加入量为4%时,固色效果最佳。 展开更多
关键词 偶联 阳离子固色剂 彩色喷墨打印纸 薄层色谱法
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喷墨打印制备的SnO_2薄膜的气敏特性 被引量:3
19
作者 沈文锋 赵岩 张彩碚 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期5-8,共4页
简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件。利用XRD分析了SnO2薄膜的晶体结构。通过控制喷打墨水的次数,方便地控制了最终薄... 简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件。利用XRD分析了SnO2薄膜的晶体结构。通过控制喷打墨水的次数,方便地控制了最终薄膜的厚度。并初步探讨了喷墨打印次数对最终薄膜元件性能的影响。当薄膜只喷打一次时,具有极高的电阻值,而且灵敏度比较低。而随着喷打次数的增加,即薄膜厚度的提高,薄膜电阻也随之降低,并对乙醇具有较好的气敏性能。 展开更多
关键词 喷墨打印 制备 SNO2薄膜 气敏特性 二氧化锡 气敏薄膜
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不同基底对等离子体射流放电及薄膜特性的影响 被引量:7
20
作者 王瑞雪 张鹏浩 +3 位作者 徐晖 章程 李挺 邵涛 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1360-1366,共7页
等离子体材料表面处理包括等离子体–基底相互作用过程,绝缘或金属基底的存在会改变等离子体放电和化学气相沉积过程,进而影响沉积薄膜特性。为此重点研究大气压等离子体射流薄膜沉积体系中,等离子体射流激发态粒子和基态OH浓度发展规律... 等离子体材料表面处理包括等离子体–基底相互作用过程,绝缘或金属基底的存在会改变等离子体放电和化学气相沉积过程,进而影响沉积薄膜特性。为此重点研究大气压等离子体射流薄膜沉积体系中,等离子体射流激发态粒子和基态OH浓度发展规律,并进一步将等离子体射流放电过程与薄膜特性建立联系。结果表明:薄膜沉积过程中,检测到Ar、N2以及OH相关谱线,有机玻璃(PMMA)基底时谱线强度略高;对于OH自由基的相对密度分布,当基底为PMMA时主要分布在管口附近,而当基底为铜(Cu)时分布在管口与基底间的整个空间区域,并且TEOS的含量增加使得其分解形成的中间产物增加,进而增加薄膜沉积速率。此外,不同的材料会造成靠近基底处的场强有较大差异,如PMMA基底处场强基本维持不变,而Cu基底处场强有所增加。通过对薄膜成分分析和对比,发现PMMA表面沉积的薄膜氧化程度更高且所含的杂质较少。通过对不同基底上沉积薄膜以及沉积过程的对比和诊断,对于理解并解决在应用中的相关问题具有重大意义。 展开更多
关键词 等离子体射流 不同基底 射流发展过程 OH分布 薄膜特性
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