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Preparation of PZT Thin Films by Magnetron Sputtering With Metal and Metal Oxide Composite Target
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作者 Zhou Zhengguo Tang Xianmin +1 位作者 Li Jiangpeng Zhang Yu (Department of Physics, Wuhan University,Wuhan 430072,China) 《Wuhan University Journal of Natural Sciences》 CAS 1996年第1期49-52,共4页
This article mainly deals with the preparation and properties of PZTthin films. A new type of Metal-Me tal Oxide composite target was developed. Relating factors have been discussed. The electrical and optical propert... This article mainly deals with the preparation and properties of PZTthin films. A new type of Metal-Me tal Oxide composite target was developed. Relating factors have been discussed. The electrical and optical properties of PZT thin films have also been studied. 展开更多
关键词 composite target PZT thin film magnetron sputtering
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模压成型压力对氧化铟锡(ITO)靶材性能影响研究
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作者 姜峰 谭泽旦 +5 位作者 黄誓成 方志杰 陆映东 覃立仁 王永清 曾纪术 《矿冶工程》 CAS 北大核心 2024年第1期134-137,142,共5页
以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对... 以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对密度为99.81%、电阻率为1.707×10^(-4)Ω·cm、平均晶粒尺寸为7.62μm。研究结果可为ITO靶材的致密化与大型化生产提供借鉴。 展开更多
关键词 模压成型 氧化铟锡 导电薄膜 靶材 常压烧结 电阻率 致密化
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液态靶材磁控溅射技术研究进展
3
作者 王浪平 孙田玮 《真空与低温》 2024年第5期496-503,共8页
随着先进制造业的迅猛发展,对高性能涂层的需求日益增长。以经济高效的方式沉积高性能涂层成为了科学界研究的热点。液态靶材磁控溅射技术因兼备磁控溅射与蒸镀的优点,受到了研究者的广泛关注。从液态靶材磁控溅射技术的基本原理出发,... 随着先进制造业的迅猛发展,对高性能涂层的需求日益增长。以经济高效的方式沉积高性能涂层成为了科学界研究的热点。液态靶材磁控溅射技术因兼备磁控溅射与蒸镀的优点,受到了研究者的广泛关注。从液态靶材磁控溅射技术的基本原理出发,深入分析了放电过程中的特点与等离子体特性,总结了其特点与优势以及在涂层沉积领域的具体应用,最后指出了该技术当前存在的不足之处,并对其未来的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 磁控溅射 液态靶材 薄膜制备 等离子体特性 放电特性 蒸发 高沉积速率
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纯银溅射靶材的制备、微观结构及溅射成膜研究
4
作者 宁哲达 唐可 +1 位作者 施晨琦 闻明 《贵金属》 CAS 北大核心 2024年第2期1-10,共10页
银薄膜作为高新技术领域极具潜力的新材料,在现代工业中得到了广泛的应用。以银靶为源材料的磁控溅射已成为制备银薄膜的常用方法。本研究比较了冷轧状态和退火状态下Ag靶的溅射性能,探讨了Ag靶与Ag薄膜之间的关系。结果表明:冷轧变形量... 银薄膜作为高新技术领域极具潜力的新材料,在现代工业中得到了广泛的应用。以银靶为源材料的磁控溅射已成为制备银薄膜的常用方法。本研究比较了冷轧状态和退火状态下Ag靶的溅射性能,探讨了Ag靶与Ag薄膜之间的关系。结果表明:冷轧变形量为83.33%后进行600℃退火可以有效提高Ag{110}的织构密度。冷轧态和退火态Ag靶具有相似的沉积速率。两种Ag薄膜的电阻率均随溅射时间的延长而降低。在溅射时间相同的情况下,退火态Ag靶溅射的Ag薄膜电阻率低于冷轧态Ag靶溅射的Ag薄膜。退火态Ag靶组织均匀,溅射后溅射跑道较浅。 展开更多
关键词 Ag溅射靶材 冷轧 再结晶退火 Ag薄膜 微观结构
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氧化锌共掺杂薄膜的光电性能研究
5
作者 李粮任 朱刘 《广东化工》 CAS 2024年第14期1-4,42,共5页
为研究不同掺杂氧化锌靶材制备薄膜的光电性能,采用了AZO和AGZO靶材制备薄膜样品,研究不同靶基距下制备AZO薄膜的均匀性,同时研究了不同溅射工艺参数下的AZO、AGZO薄膜的光电性能,此外,通过对比分析AZO、AGZO薄膜之间的性能差异,探究靶... 为研究不同掺杂氧化锌靶材制备薄膜的光电性能,采用了AZO和AGZO靶材制备薄膜样品,研究不同靶基距下制备AZO薄膜的均匀性,同时研究了不同溅射工艺参数下的AZO、AGZO薄膜的光电性能,此外,通过对比分析AZO、AGZO薄膜之间的性能差异,探究靶材组分改进对薄膜性能的影响和机理。实验结果表明,靶基距为9 cm沉积薄膜的厚度均匀性较好;在纯氩条件制备的AZO和AGZO薄膜的方阻最低,此外,AZO和AGZO薄膜在300nm~1300 nm的较宽区域均展现了良好的光学透射性能,在200℃/0%O2的参数条件下,AZO和AGZO薄膜的电阻率在10^(-3)Ω·cm量级,载流子浓度在10^(20)cm^(-3)量级,其中Ⅲ族元素的掺杂量增大的AGZO(2.6wt%Al_(2)O_(3)+Ga_(2)O_(3))在最佳工艺参数条件制备的薄膜的光电性能更为优越。 展开更多
关键词 磁控溅射 靶基距 薄膜 铝掺杂氧化锌 铝镓掺杂氧化锌 光电性能
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组合靶共溅射沉积Cu-W复合薄膜的结构与性能
6
作者 郭中正 闫万珺 +3 位作者 张殿喜 杨秀凡 蒋宪邦 周丹彤 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2024年第4期38-45,共8页
用嵌入组合型靶材,采用磁控共溅射方法,在单晶硅和聚酰亚胺衬底上制备Cu-W复合薄膜。分别运用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和原子力显微镜对Cu-W复合薄膜的成份、结构及表面形貌进行分析表征。选用微小力测试系统、纳米压痕仪及四探... 用嵌入组合型靶材,采用磁控共溅射方法,在单晶硅和聚酰亚胺衬底上制备Cu-W复合薄膜。分别运用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和原子力显微镜对Cu-W复合薄膜的成份、结构及表面形貌进行分析表征。选用微小力测试系统、纳米压痕仪及四探针仪分别测试复合薄膜的屈服强度σ_(0.2)和裂纹萌生临界应变ε_(c)、显微硬度H及电阻率ρ。结果表明:可通过调整组合型靶材环状溅射刻蚀区内W靶所占的面积比,有效地调控复合薄膜的W含量。随W靶的面积占比从6%增至30%,Cu-W复合薄膜的W含量从2.6 at.%增至16.9 at.%。W在Cu中的固溶度延展,复合膜内存在面心立方(fcc)Cu(W)亚稳固溶体,随复合膜中W含量增加,W在Cu中的固溶度从1.7 at.%W增至10 at.%W,复合膜的平均晶粒从32 nm减小至16 nm,表面光洁度提高。W含量增加时,复合膜的屈服强度σ_(0.2)、显微硬度H及电阻率ρ增加,而裂纹萌生临界应变ε_(c)减小。 展开更多
关键词 组合靶 共溅射 Cu-W复合薄膜
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生理通气辅助下HRCT靶扫描与薄层CT靶重建在肺磨玻璃样小结节诊断中的价值对比 被引量:9
7
作者 陈琦 朱全新 +4 位作者 顾佳伟 王庆荣 王勋 王辉 杨文广 《中国医学计算机成像杂志》 CSCD 北大核心 2023年第1期26-31,共6页
目的:探讨生理通气辅助下高分辨率CT(HRCT)靶扫描与薄层CT靶重建在肺磨玻璃样小结节(sGGN)定性诊断中的价值比较.方法:回顾性分析经手术病理证实为肺腺癌的98例孤立性sGGN患者的临床及影像资料,其中不典型腺瘤样增生(AAH)+原位腺癌(AIS)... 目的:探讨生理通气辅助下高分辨率CT(HRCT)靶扫描与薄层CT靶重建在肺磨玻璃样小结节(sGGN)定性诊断中的价值比较.方法:回顾性分析经手术病理证实为肺腺癌的98例孤立性sGGN患者的临床及影像资料,其中不典型腺瘤样增生(AAH)+原位腺癌(AIS)组45例、微浸润性腺癌(MIA)组38例、浸润性腺癌(IAC)组15例.对所有结节均分别按薄层CT靶重建(A方案)及生理通气辅助下HRCT靶扫描(B方案)进行处理,评价图像质量、判断结节类型及统计结节征象、评估诊断信心并给出诊断结果,对阅片结果进行统计学分析.结果:2种方案在AAH+AIS组中的sGGN检出率相仿,但生理通气辅助下HRCT靶扫描在MIA组(P<0.001)和IAC组(P=0.017)中的sGGN检出率均显著高于薄层CT靶重建.生理通气辅助下HRCT靶扫描相较于薄层CT靶重建在密度征(P<0.001)、充气支气管征(P<0.001)、空泡征(P<0.005)及微血管征(P<0.001)等征象判断上有显著差异.生理通气辅助下HRCT靶扫描相较于薄层CT靶重建在肿瘤微血管征分型及与小支气管关系分型的级别上差异具有统计学意义(P<0.005).另外,生理通气辅助下HRCT靶扫描相较于薄层CT靶重建能够显著提升诊断信心及图像质量.结论:生理通气辅助下HRCT靶扫描能提供更好的图像质量和诊断可信度,并能更准确地判断sGGN的征象. 展开更多
关键词 磨玻璃结节 肺腺癌 高分辨率CT靶扫描 生理通气 薄层CT靶重建
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Effect of Foil Target Thickness in Proton Acceleration Driven by an Ultra-Short Laser
8
作者 路建新 兰小飞 +5 位作者 席晓峰 张海峰 张骥 王雷剑 汤秀章 王乃彦 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期458-460,共3页
Proton acceleration experiments were carried out by a 1.2× 1018 W/cm2 ultra-short laser interaction with solid foil targets. The peak proton energy observed from an optimum target thickness of 7 μm in our experi... Proton acceleration experiments were carried out by a 1.2× 1018 W/cm2 ultra-short laser interaction with solid foil targets. The peak proton energy observed from an optimum target thickness of 7 μm in our experiments was 2.1 MeV. Peak proton energy and proton yield were investigated for different foil target thicknesses. It was shown that proton energy and conversion efficiency increased as the target became thinner, on one condition that the preplasma generated by the laser prepulse did not have enough shock energy and time to influence or destroy the target rear-surface. The existence of optimum foil thickness is due to the effect of the prepulse and hot electron transportation behavior on the foil target. 展开更多
关键词 ultra-short laser PROTON thin foil target target normal sheath acceleration
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3μm铜箔CO_(2)激光直接烧靶工艺研究
9
作者 汤龙洲 赵伟 王继纬 《印制电路信息》 2024年第3期32-35,共4页
为满足印制电路板(PCB)线路等级需求,需要采用改进型半加成工艺(mSAP)并使用3μm及以下的附载体极薄铜箔。采用3μmmSAP工艺时,激光钻孔加工使用开窗流程。为保证对位精度,高精度曝光时抓取内层靶标来对位。利用CO_(2)激光加工的积热效... 为满足印制电路板(PCB)线路等级需求,需要采用改进型半加成工艺(mSAP)并使用3μm及以下的附载体极薄铜箔。采用3μmmSAP工艺时,激光钻孔加工使用开窗流程。为保证对位精度,高精度曝光时抓取内层靶标来对位。利用CO_(2)激光加工的积热效应,验证了3μm铜箔CO_(2)激光直接烧靶的可行性,其中烧蚀靶标的激光叠孔设计和激光加工参数是影响烧靶效果的关键因子。通过研究输出了最优的叠孔设计方案和最适合的激光加工参数。结果表明,采用CO_(2)激光直接烧靶加工,凹点靶标和凸点靶标都可以100%满足高精度曝光抓取靶标的需求。 展开更多
关键词 高密度互连印制电路板 改进型半加成法 超薄铜箔 CO_(2)激光 直接烧靶 积热效应
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非圆截面弹体斜侵彻薄靶的动态载荷特性研究 被引量:2
10
作者 王景琛 张晓伟 +1 位作者 张庆明 马晓荷 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期127-135,共9页
为研究非圆截面弹体斜侵彻薄靶的动态载荷特征,利用有限元软件LS-DYNA开展了圆、椭圆和非对称椭圆截面弹体在800 m/s速度下侵彻钢板的数值模拟研究,分析了着角、攻角和弹靶结构参数对弹体所受动态载荷的影响规律。结果表明:正侵彻时,3... 为研究非圆截面弹体斜侵彻薄靶的动态载荷特征,利用有限元软件LS-DYNA开展了圆、椭圆和非对称椭圆截面弹体在800 m/s速度下侵彻钢板的数值模拟研究,分析了着角、攻角和弹靶结构参数对弹体所受动态载荷的影响规律。结果表明:正侵彻时,3种截面弹体受到的轴向冲击载荷基本相似,但非对称椭圆弹体还会在头部和尾部过靶时分别受到横向冲击载荷作用;仅存在着角时,3种弹体的侵彻过程均可分为弹头触靶、弹头穿靶和弹身过靶3个阶段,其中弹身过靶阶段会受到持续载荷作用,弹头和弹尾过靶时也会出现两次横向载荷峰值;正着角条件下,攻角越大轴向载荷越大。攻角为正时,横向载荷首先减小然后反向增大,且缩短了侵彻持续时间;负攻角则加强了着角对载荷的影响,并增加了侵彻时间;截面不对称度大于1时,正着角的影响得到强化。此外,弹体载荷随靶厚的增大而增大,而弹体不对称度和长径比对其动态载荷的影响相对较小。 展开更多
关键词 非圆截面弹体 斜侵彻 薄靶 载荷特性
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远程靶基距Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结薄膜溅射制备技术研究 被引量:1
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作者 王振宇 曾九孙 +5 位作者 高鹤 王仕建 徐达 钟青 李劲劲 王雪深 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第9期1333-1338,共6页
高质量Nb/Al-AlO x/Nb三层膜制备是基于超导-绝缘-超导型(SIS)约瑟夫森结的量子电压标准芯片和超导量子干涉器件的关键工艺。针对远程靶基距直流磁控溅射工艺条件,研究溅射气氛和溅射功率对Nb、Nb/Al薄膜结构、形貌和电学性质的影响。A... 高质量Nb/Al-AlO x/Nb三层膜制备是基于超导-绝缘-超导型(SIS)约瑟夫森结的量子电压标准芯片和超导量子干涉器件的关键工艺。针对远程靶基距直流磁控溅射工艺条件,研究溅射气氛和溅射功率对Nb、Nb/Al薄膜结构、形貌和电学性质的影响。Ar气流量20 mL/min,0.53 Pa,600 W制备的Nb膜的应力接近零压力,粗糙度仅为1.05 nm,超导转变温度9.2 K,剩余电阻比达到5.33。0.53 Pa,450 W制备的150 nm Nb上10 nm Al膜粗糙度仅为1.51 nm,完全覆盖底层Nb膜。以此条件制备的Nb/Al-AlO x/Nb SIS结能隙电压达到2.6 mV,表明远程溅射可以实现SIS结工艺所需高质量三层膜。 展开更多
关键词 计量学 Nb/Al-AlO x/Nb约瑟夫森结 磁控溅射 靶基距 薄膜沉积
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CT增强薄层靶扫描与MRCP在IPMN良恶性鉴别诊断中的对比研究 被引量:3
12
作者 秦鑫 冯志慧 +1 位作者 纪小珍 王进 《中国CT和MRI杂志》 2023年第4期106-109,共4页
目的 比较CT增强薄层靶扫描和MRCP在胰腺导管内乳头状粘液性肿瘤(IPMN)良恶性鉴别诊断中应用价值的差异。方法 收集45例经手术切除病理证实、同时行CT增强薄层靶扫描和MRCP检查的IPMN患者影像资料,按2017福冈指南专家共识标准,分别分析... 目的 比较CT增强薄层靶扫描和MRCP在胰腺导管内乳头状粘液性肿瘤(IPMN)良恶性鉴别诊断中应用价值的差异。方法 收集45例经手术切除病理证实、同时行CT增强薄层靶扫描和MRCP检查的IPMN患者影像资料,按2017福冈指南专家共识标准,分别分析并计算CT增强薄层靶扫描和MRCP检查病灶出现的征象中,肿瘤强化壁结节≥5mm、主胰管扩张≥10mm、胆管扩张、厚分隔、胰腺萎缩、分支胰管型最大囊肿≥3cm在鉴别诊断IPMN良恶性的准确性、曲线下面积(AUC)、敏感性及特异性,统计比较两组间的差异。结果 各影像征象诊断恶性IPMN两种检查方法间差异均无统计学意义(P>0.05)。综合以上四个影像征象,CT增强薄层靶扫描诊断恶性IPMN中的总准确性、敏感性、特异性及分别为:86.67%、87.10%、85.71%,阳性预测值及阴性预测值为93.10%、75.00%;而MRCP在诊断恶性IPMN的总准确性、敏感性、特异性及分别为80.00%、80.64%、78.50%,阳性预测值及阴性预测值为89.28%、64.70%,且各征象总的诊断效能,两种检查方法组间差异均无统计学意义(P>0.05)。结论 CT增强薄层靶扫描,可以作为缺乏MRCP设备的基层医院诊断恶性IPMN的一种有效的替代检查方法。 展开更多
关键词 胰腺导管内乳头状黏液性肿瘤 CT增强薄层靶扫描 MRCP 良恶性鉴别
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集成电路用高纯金属溅射靶材发展研究 被引量:7
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作者 何金江 吕保国 +4 位作者 贾倩 丁照崇 刘书芹 罗俊锋 王兴权 《中国工程科学》 CSCD 北大核心 2023年第1期79-87,共9页
高纯金属溅射靶材是集成电路用关键基础材料,对实现集成电路用靶材的全面自主可控,推动集成电路产业高质量发展具有基础性价值。本文分析了集成电路用高纯金属溅射靶材的应用需求,梳理了相应高纯金属溅射靶材的研制现状,涵盖高纯铝及铝... 高纯金属溅射靶材是集成电路用关键基础材料,对实现集成电路用靶材的全面自主可控,推动集成电路产业高质量发展具有基础性价值。本文分析了集成电路用高纯金属溅射靶材的应用需求,梳理了相应高纯金属溅射靶材的研制现状,涵盖高纯铝及铝合金、高纯铜及铜合金、高纯钛、高纯钽、高纯钴和镍铂、高纯钨及钨合金等细分类别。在凝练我国高端靶材制备关键技术及工程化方面存在问题的基础上,着眼领域2030年发展目标,提出了集成电路用高纯金属溅射靶材产业的重点发展方向:提升材料制备技术水平,攻克高性能靶材制备关键技术,把握前沿需求开发高端新材料,提升材料分析检测和应用评价能力。研究建议,开展“产学研用”体系建设,解决关键设备国产化问题,加强人才队伍建设力度,掌握自主知识产权体系,拓展国际合作交流,以此提升高纯金属溅射靶材的发展质量和水平。 展开更多
关键词 高纯金属 溅射靶材 集成电路 薄膜 金属化
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靶向超声微泡介导VEGF基因转染对薄型子宫ER的影响研究
14
作者 孙泉 杨洁 +3 位作者 许松 胡碧娟 刘敏 黄志平 《中国医学创新》 CAS 2023年第1期19-23,共5页
目的:研究靶向超声微泡介导血管内皮生长因子(VEGF)基因转染对薄型子宫内膜容受性(ER)的影响。方法:选择40只性成熟但未交配的具有动情周期的雌性SD大鼠进行研究。将其随机分为四组,包括正常组10只,模型组10只,阴性对照组10只,治疗组10... 目的:研究靶向超声微泡介导血管内皮生长因子(VEGF)基因转染对薄型子宫内膜容受性(ER)的影响。方法:选择40只性成熟但未交配的具有动情周期的雌性SD大鼠进行研究。将其随机分为四组,包括正常组10只,模型组10只,阴性对照组10只,治疗组10只。其中模型组、阴性对照组及治疗组大鼠均自宫角处注入95%无水乙醇贮留5 min制备薄型子宫模型,正常组自宫角处注入生理盐水,贮留5 min。模型组予以生理盐水注射治疗,阴性对照组予以超声微泡+抗体(不含基因)治疗,治疗组则以靶向超声微泡介导VEGF基因转染治疗。比较四组大鼠子宫内膜厚度及腺体数量,子宫内膜血流灌注,子宫内膜VEGF及白血病抑制因子(LIF)水平。结果:正常组子宫内膜厚度及腺体数量均高于模型组、阴性对照组及治疗组,治疗组子宫内膜厚度及腺体数量均高于模型组、阴性对照组(P<0.05)。正常组阻力指数(RI)、搏动指数(PI)、脐动脉收缩压与舒张压比值(S/D)均低于模型组、阴性对照组及治疗组,治疗组RI、PI、S/D均低于模型组、阴性对照组(P<0.05)。正常组子宫内膜VEGF、LIF水平均高于模型组、阴性对照组及治疗组,治疗组子宫内膜VEGF、LIF水平均高于模型组、阴性对照组(P<0.05)。结论:靶向超声微泡介导VEGF基因转染可有效修复子宫内膜,改善ER,值得临床重点关注。 展开更多
关键词 薄型子宫内膜 子宫内膜容受性 靶向超声微泡 血管内皮生长因子 基因转染
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氮含量对Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜的影响 被引量:1
15
作者 张毅勇 井致远 +1 位作者 张志彬 梁秀兵 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期21-28,共8页
目的探究氮含量对MoTaW多主元合金薄膜的微观组织和力学性能的影响,并提高Mo-Ta-W多主元合金薄膜的力学性能。方法采用反应多靶磁控溅射技术在单晶硅片上制备出了具有不同氮含量的Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜,通过X射线光电子能谱仪... 目的探究氮含量对MoTaW多主元合金薄膜的微观组织和力学性能的影响,并提高Mo-Ta-W多主元合金薄膜的力学性能。方法采用反应多靶磁控溅射技术在单晶硅片上制备出了具有不同氮含量的Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜,通过X射线光电子能谱仪、掠入射角X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜对薄膜的成分、组织结构、表面及截面微观形貌、厚度和粗糙度进行了表征分析,并采用纳米压痕仪对薄膜的硬度和弹性模量进行了测试。结果Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜中的氮含量随着溅射过程中氮气流量的增加而增加,当氮气流量达到50%时,薄膜中的氮含量升至49%,而钽含量则随之降低至12%。形成氮化物后,Mo-Ta-W多主元薄膜由BCC结构转变成了单相FCC固溶体结构,表面由层片状结构转变为花椰菜状团簇结构,随着氮含量的增加,表面的粗糙度先降低后升高,厚度则不断降低。与Mo-Ta-W多主元合金薄膜相比,Mo-Ta-W多主元合金氮化物薄膜的力学性能有所提高,但随着氮含量的增加而下降,当氮气流量为10%时,Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜的硬度和弹性模量分别为34.3 GPa和327.5 GPa。结论氮化物的形成对Mo-Ta-W多主元合金薄膜的相结构、表面形貌等有影响,可有效提高薄膜的力学性能。 展开更多
关键词 多主元合金 氮化物 薄膜 反应多靶磁控溅射 组织结构 力学性能
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超短半径钻井技术现状及发展趋势 被引量:7
16
作者 张勇 刘晓民 +3 位作者 华泽君 薛宪波 张文博 关皓纶 《钻采工艺》 CAS 北大核心 2023年第2期41-45,共5页
随着油气开发的不断深入,使用超短半径钻井技术重新激活老油田实现增产被广泛认为是有效的技术手段之一。目前国内外主流的超短半径钻井技术有两种:基于柔性钻具的超短半径钻井技术和基于高造斜率螺杆的超短半径钻井技术。文章对上述两... 随着油气开发的不断深入,使用超短半径钻井技术重新激活老油田实现增产被广泛认为是有效的技术手段之一。目前国内外主流的超短半径钻井技术有两种:基于柔性钻具的超短半径钻井技术和基于高造斜率螺杆的超短半径钻井技术。文章对上述两种超短半径钻井技术的工艺配套、优势弊端及应用情况进行了调研和分析。其中,基于柔性钻具的超短半径钻井技术曲率半径小,可以以钻水平井的模式开发厚度小于3 m的薄层油藏或井筒高部位的剩余油层,快速提高采收率;基于高造斜率螺杆的超短半径钻井技术水平位移较长,可实现井周储量定深度、定方位精准靶向挖潜。针对两项技术的应用效果,提出了两项技术未来的发展趋势,以期超短半径钻井技术的持续发展。 展开更多
关键词 超短半径 柔性钻具 高造斜率螺杆 薄层油藏 剩余油层 靶向挖潜
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截锥形弹体侵彻薄靶板实验研究 被引量:5
17
作者 陈刚 陈忠富 +2 位作者 张方举 徐艾民 何鹏 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第SD期888-890,共3页
运用25mm 口径火炮,开展了截锥形弹体撞击薄靶板的正穿甲和45°斜穿甲实验。在不同撞击速度下的正侵彻时,靶板表现出相似的变形破坏特征,而在45°斜穿甲时,高速与低速时分别表现出不同的失效模式,弹体也表现出不同的运动特征。
关键词 斜侵彻 薄靶 实验
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钨球侵彻薄靶板的实验研究 被引量:5
18
作者 贾光辉 张国伟 裴思行 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期185-188,共4页
通过钨球对薄装甲钢板垂直侵彻试验,发现在极限穿透条件下靶板的破坏模式为开坑和冲塞,且钨球变形程度较大。运用能量守恒原理,建立了极限穿透速度与钨球变形关系式,对钨球在侵彻过程中作刚性假设引起的极限穿透速度计算误差进行了... 通过钨球对薄装甲钢板垂直侵彻试验,发现在极限穿透条件下靶板的破坏模式为开坑和冲塞,且钨球变形程度较大。运用能量守恒原理,建立了极限穿透速度与钨球变形关系式,对钨球在侵彻过程中作刚性假设引起的极限穿透速度计算误差进行了估算,并对侵彻过程中开坑耗能与冲塞耗能也进行了估算。结果表明,开坑耗能与冲塞耗能比值并非常量,而随靶板相对厚度变化。 展开更多
关键词 钨球 薄靶板 极限穿透 装甲钢板 穿甲弹
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铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状 被引量:13
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作者 张冷 张维佳 +6 位作者 宋登元 张辉 张雷 马强 刘嘉 吴然嵩 马晓波 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第14期1990-1994,共5页
阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数。最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末... 阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数。最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 CIGS 真空 薄膜 溅射靶
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溅射法镀二氧化钛薄膜靶材及工艺研究进展 被引量:12
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作者 赵鑫 王星明 +3 位作者 黄松涛 储茂友 郭奋 王赞海 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期177-180,共4页
介绍了溅射法镀膜的基本原理,阐述了溅射法镀二氧化钛薄膜用靶材及相应溅射镀膜工艺的研究现状。溅射镀TiO2薄膜用靶材主要有金属钛、二氧化钛和“非化学计量”二氧化钛靶材3大类。由于钛的氧化态及靶材导电性不同,它们对溅射工艺(如溅... 介绍了溅射法镀膜的基本原理,阐述了溅射法镀二氧化钛薄膜用靶材及相应溅射镀膜工艺的研究现状。溅射镀TiO2薄膜用靶材主要有金属钛、二氧化钛和“非化学计量”二氧化钛靶材3大类。由于钛的氧化态及靶材导电性不同,它们对溅射工艺(如溅射气氛等)有一定具体的要求,通过对靶材和相应工艺进行分析比较,指出应用“非化学计量”靶材是溅射法制备二氧化钛薄膜技术发展的重要方向。 展开更多
关键词 溅射 靶材 二氧化钛薄膜
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