灰度掩模制作系统掩模图形的生成及工艺研究

灰度掩模法是目前正在积极探索的一种二元光学器件制作方法。从基于空间光调制器的灰度掩模制作方法出发 ,就“掩模图形的生成”和“工艺”这两个难点问题进行了深入的研究 ,并具体地制作了几种常用的二元光学器件的灰度掩模 。

基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅

介绍了基于空间光调制器的灰度掩模系统制作环形光栅.将二元光学方法与环形光栅的概念结合起来,为制作可以集成到光电系统的环形光栅以及其他光学元件提供了一条较好的思路.

基于深度信号分离的航空发动机可解释智能诊断方法

针对现有时频分析和信号分解等谐波提取方法在进行旋转机械无键相阶次跟踪应用时,存在无法自适应提取具有明确物理意义的转速谐波分量的问题,提出一种基于时频空间深度二值掩蔽模型的可解释性转速谐波信号自适应分离方法。首先构造一系列具有明确物理意义的转速谐波瞬时频率变化的仿真模板信号作为深度二值掩蔽模型的训练样本,然后利用构建的仿真模板信号转速基础谐波和高阶谐波的时频表征生成基础谐波时频空间二值掩蔽模型训练目标,建立起仿真模板信号时频空间和转速基础谐波时频图像之间的深度非线性映射关系,以实现转速基础谐波分量的准确分离提取和高阶谐波分量的可信掩蔽抑制,确保经深度二值掩蔽模型所得到的谐波分量具备明确的物理意义。再将深度分离所得的基础谐波分量经希尔伯特变换得到与转速信号深度非线性映射相关的瞬时相位信息,并将其应用于原始信号等角度重采样中以完成精确的阶次跟踪。综上所述,所提方法克服了传统无键相阶次跟踪方法严重依赖专家经验的问题,可为传动系统的无键相阶次跟踪提供具有明确物理意义的瞬时相位支撑。

基于空间光调制器的灰度掩模制作系统

提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法。分析了该方法的基本原理 ,构造了相应的实验系统。同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以及Dammann光栅等二元光学器件的灰度掩模。该方法采用逐个图形曝光的方式使其具有内在的并行特性 ,可大大提高灰度掩模的制作速度和精度 。