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溅射参量对SiC涂层Ti-6Al-4V显微组织的影响 被引量:7
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作者 王玉敏 符跃春 +2 位作者 石南林 张德志 杨锐 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期359-362,共4页
利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6Al-4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20-5... 利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6Al-4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20-50 nm,为α-Ti固溶体. 展开更多
关键词 钛基复合材料 磁控溅射 sic纤维 先驱丝 镀层 显微组织 TI-6A1-4V
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