直流电弧等离子体制备TiN纳米粉末的研究

采用直流电弧等离子体蒸发冷凝法制备出了粒径可控的高纯氮化钛（ＴｉＮ）纳米粉末。探讨了等离子体条件下氮化反应过程和影响ＴｉＮ粉末粒度的关键工艺参数。研究表明，高温氮等离子体条件下存在着大量的高活性基团，它们参与了氮化反应，提高了氮化反应活性。反应气体Ｎ２的压力和粉末的冷却温度是影响ＴｉＮ纳米粉末粒度的关键工艺参数。通过控制这些参数可以制备出纯度大于９８％（以质量计，下同）。