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Integration of a field-effect-transistor terahertz detector with a diagonal horn antenna 被引量:1
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作者 Xiang Li Jian-dong Sun +2 位作者 Zhi-peng Zhang V V Popov Hua Qin 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第6期539-542,共4页
Efficient coupling of terahertz electromagnetic wave with the active region in a terahertz detector is required to enhance the optical sensitivity. In this work, we demonstrate direct integration of a field-effect-tra... Efficient coupling of terahertz electromagnetic wave with the active region in a terahertz detector is required to enhance the optical sensitivity. In this work, we demonstrate direct integration of a field-effect-transistor(FET) terahertz detector chip at the waveguide port of a horn antenna. Although the integration without a proper backshot is rather preliminary, the noise-equivalent power is greatly reduced from 2.7 nW/Hz^(1/2) for the bare detector chip to 76 pW/Hz^(1/2) at340 GHz. The enhancement factor of about 30 is confirmed by simulations revealing the effective increase in the energy flux density seen by the detector. The simulation further confirms the frequency response of the horn antenna and the onchip antennas. A design with the detector chip fully embedded within a waveguide cavity could be made to further enhance the coupling efficiency. 展开更多
关键词 terahertz detector high electron mobility transistor diagonal horn
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Two-dimensional electron gas characteristics of InP-based high electron mobility transistor terahertz detector 被引量:2
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作者 Jin-Lun Li Shao-Hui Cui +5 位作者 Jian-Xing Xu Xiao-Ran Cui Chun-Yan Guo Ben Ma Hai-Qiao Ni Zhi-Chuan Niu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期363-368,共6页
The samples of InxGa(1-x)As/In(0.52)Al(0.48)As two-dimensional electron gas(2DEG)are grown by molecular beam epitaxy(MBE).In the sample preparation process,the In content and spacer layer thickness are chang... The samples of InxGa(1-x)As/In(0.52)Al(0.48)As two-dimensional electron gas(2DEG)are grown by molecular beam epitaxy(MBE).In the sample preparation process,the In content and spacer layer thickness are changed and two kinds of methods,i.e.,contrast body doping andδ-doping are used.The samples are analyzed by the Hall measurements at 300 Kand 77 K.The InxGa1-xAs/In0.52Al0.48As 2DEG channel structures with mobilities as high as 10289 cm^2/V·s(300 K)and42040 cm^2/V·s(77 K)are obtained,and the values of carrier concentration(Nc)are 3.465×10^12/cm^2 and 2.502×10^12/cm^2,respectively.The THz response rates of In P-based high electron mobility transistor(HEMT)structures with different gate lengths at 300 K and 77 K temperatures are calculated based on the shallow water wave instability theory.The results provide a reference for the research and preparation of In P-based HEMT THz detectors. 展开更多
关键词 THz detector high electron mobility transistor two-dimensional electron gas INP
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Resonant cavity-enhanced quantum dot field-effect transistor as a single-photon detector
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作者 董宇 王广龙 +6 位作者 王红培 倪海桥 陈建辉 高凤岐 乔中涛 杨晓红 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第10期162-167,共6页
A resonant cavity-enhanced (RCE) quantum dot (QD) field-effect transistor (RCEQDFET) is designed for single- photon detection in this paper. Adding distributed Bragg reflection (DBR) mirrors to the single-phot... A resonant cavity-enhanced (RCE) quantum dot (QD) field-effect transistor (RCEQDFET) is designed for single- photon detection in this paper. Adding distributed Bragg reflection (DBR) mirrors to the single-photon detector (SPD), we improve the light absorption efficiency of the SPD. The effects of the reflectivity of the mirrors, the thickness and light absorption coefficient of the absorbing layer on the detector's light absorption efficiency are investigated, and the resonant cavity is determined by using the air/semiconductor interface as the mirror on the top. Through analyzing the relationship between the refractive index of AlxGal_xAs and A1 component, we choose A1As/Alo.15Gao.85As as the material of the mirror on the bottom. The pairs of A1As/Alo.15Gao.85As film are further determined to be 21 by calculating the reflectivity of the mirror. The detector is fabricated from semiconductor heterostructures grown by molecular beam epitaxy. The reflection spectrum, photoluminescence (PL) spectrum, photocurrent response, and channel current of the detector are tested and the results show that the RCEQDFET-SPD designed in this paper has better performances in photonic response and wavelength selection. 展开更多
关键词 single-photon detector quantum dot field-effect transistor resonant cavity enhanced
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The origin of distorted intensity pattern sensed by a lens and antenna coupled AlGaN/GaN-HEMT terahertz detector 被引量:1
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作者 Xiang Li Jian-Dong Sun +5 位作者 Hong-Juan Huang Zhi-Peng Zhang Lin Jin Yun-Fei Sun V V Popov Hua Qin 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第11期388-393,共6页
Antenna-coupled field-effect-transistors(FETs) offer high sensitivity for terahertz detection. Both the magnitude and the polarity of the response signal are sensitive to the localized terahertz field under the gate. ... Antenna-coupled field-effect-transistors(FETs) offer high sensitivity for terahertz detection. Both the magnitude and the polarity of the response signal are sensitive to the localized terahertz field under the gate. The ability of accurate sensing the intensity pattern is required for terahertz imaging systems. Here, we report artefacts in the intensity pattern of a focused terahertz beam around 1 THz by scanning a silicon-lens and antenna coupled AlGaN/GaN high-electron-mobility-transistor(HEMT) detector. The origin of the image distortion is found to be connected with one of the antenna blocks by probing the localized photocurrents as a function of the beam location and the frequency. Although the exact distortion is found with our specific antenna design, we believe similar artefacts could be commonplace in antenna-coupled FET terahertz detectors when the beam spot becomes comparable with the antenna size. To eliminate such artefacts, new antenna designs are welcomed to achieve strong asymmetry in the terahertz field distribution under the gate while maintaining a more symmetric radiation pattern for the whole antenna. 展开更多
关键词 TERAHERTZ detector SELF-MIXING high electron mobility transistor local electrical field
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Mapping an on-chip terahertz antenna by a scanning near-field probe and a fixed field-effect transistor
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作者 吕利 孙建东 +4 位作者 Roger A.Lewis 孙云飞 吴东岷 蔡勇 秦华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期485-489,共5页
In the terahertz(THz) regime,the active region for a solid-state detector usually needs to be implemented accurately in the near-field region of an on-chip antenna.Mapping of the near-field strength could allow for ... In the terahertz(THz) regime,the active region for a solid-state detector usually needs to be implemented accurately in the near-field region of an on-chip antenna.Mapping of the near-field strength could allow for rapid verification and optimization of new antenna/detector designs.Here,we report a proof-of-concept experiment in which the field mapping is realized by a scanning metallic probe and a fixed AlGaN/GaN field-effect transistor.Experiment results agree well with the electromagnetic-wave simulations.The results also suggest a field-effect THz detector combined with a probe tip could serve as a high sensitivity THz near-field sensor. 展开更多
关键词 terahertz detector terahertz antenna near-field probe high electron mobility transistor
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场效应晶体管太赫兹探测器在太赫兹成像领域的研究进展(下)
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作者 靳晨阳 康亚茹 +5 位作者 黄镇 赵永梅 颜伟 李兆峰 王晓东 杨富华 《红外》 CAS 2024年第8期1-12,共12页
太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于... 太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于具备可室温工作、易大面积集成、响应速度快等特性,场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET)THz探测器在成像应用中潜力巨大。综述了近年来FET THz探测器在THz成像领域的研究进展(包括成像阵列、材料选择等方面),分析了设计和制造中存在的问题;指出天线和像素间距是限制大规模阵列化的重要因素,并在此基础上对未来的研究方向进行了展望;指出新的材料和结构设计将进一步改善器件性能,从而实现更快速、更清晰的THz成像。 展开更多
关键词 太赫兹成像 场效应晶体管 太赫兹探测器 HEMT CMOS 低维材料
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场效应晶体管太赫兹探测器在太赫兹成像领域的研究进展(上)
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作者 靳晨阳 康亚茹 +5 位作者 黄镇 赵永梅 颜伟 李兆峰 王晓东 杨富华 《红外》 CAS 2024年第7期1-8,共8页
太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于... 太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于具备可室温工作、易大面积集成、响应速度快等特性,场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET)THz探测器在成像应用中潜力巨大。综述了近年来FET THz探测器在THz成像领域的研究进展(包括成像阵列、材料选择等方面),分析了设计和制造中存在的问题;指出天线和像素间距是限制大规模阵列化的重要因素,并在此基础上对未来的研究方向进行了展望;指出新的材料和结构设计将进一步改善器件性能,从而实现更快速、更清晰的THz成像。 展开更多
关键词 太赫兹成像 场效应晶体管 太赫兹探测器 HEMT CMOS 低维材料
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侧栅晶体管太赫兹探测器的物理模型、结构制备与直流测试
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作者 康亚茹 董慧 +4 位作者 刘晶 黄镇 李兆峰 颜伟 王晓东 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期526-532,共7页
针对侧栅结构高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistors,HEMTs)太赫兹探测器,构建了器件的直流输运和太赫兹探测的物理模型。运用自对准工艺,成功制备了形态良好、接触可靠的侧栅结构,有效地解决了器件双侧栅与台面间的... 针对侧栅结构高电子迁移率晶体管(High Electron Mobility Transistors,HEMTs)太赫兹探测器,构建了器件的直流输运和太赫兹探测的物理模型。运用自对准工艺,成功制备了形态良好、接触可靠的侧栅结构,有效地解决了器件双侧栅与台面间的接触问题,最终获得了不同栅宽(200 nm、800 nm和1400 nm)的侧栅GaN/AlGaN HEMT太赫兹探测器。通过直流测试表征发现,不同器件的栅宽与其阈值电压之间呈现出明显的线性关系,验证了侧栅结构HEMT太赫兹探测器的直流输运模型。上述结果为完整的侧栅HEMT太赫兹探测器的理论模型提供了实验验证和指导,为侧栅HEMT太赫兹探测器的发展提供了重要支持。 展开更多
关键词 氮化镓 太赫兹探测器 侧栅 高电子迁移率晶体管
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太赫兹CMOS场效应管模型及实验分析 被引量:2
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作者 张镜水 孔令琴 +1 位作者 董立泉 赵跃进 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3128-3136,共9页
针对商业CMOS(互补金属氧化物半导体)场效应管模型在高频下易失效的问题,运用ADS软件构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型,并结合实测数据说明了本文模型的精准性及太赫兹波段场效应管的工作原理。构建了基于经典动力学理论... 针对商业CMOS(互补金属氧化物半导体)场效应管模型在高频下易失效的问题,运用ADS软件构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型,并结合实测数据说明了本文模型的精准性及太赫兹波段场效应管的工作原理。构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型仿真系统,并将其与商业模型仿真结果进行对比,分析了在太赫兹波段本文模型与商业模型的区别。测试了现有场效应管探测器的频率响应,并对实测数据与两种模型仿真数据进行对比,说明本文模型提高了预测精度。最后,结合3σ原则分析了场效应管沟道尺寸对载流子散射效应的影响,以及场效应管进入弹道工作模式的条件。实验结果表明:本文模型与商业模型的区别主要在于模型中是否存在电感部分,该部分可作为场效应管沟道中载流子动量是否守恒及散射效应是否可以忽略的表征参数。相较于商业模型,本文模型对探测器最佳频率工作点的预测精准度可提高0.3%,对探测器带宽的预测精准度可提高约10%。该项研究为CMOS场效应管模型的精确建立及仿真分析提供了良好基础。 展开更多
关键词 太赫兹CMOS场效应管 场效应管探测器 场效应管模型 散射效应
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硅双极型高速工艺和与其相容的硅PIN探测器 被引量:3
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作者 余宽豪 刘毓成 陈学良 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期265-268,共4页
文章描述硅双极高速工艺,和一种能与双极工艺相容的硅PIN探测器的结构及设计,从而提出一套易于实现两者集成的相容工艺。研制的单片集成光接收机,其中硅PIN探测器的光电响应为0.43A/W,整机的响应度为4.4×10... 文章描述硅双极高速工艺,和一种能与双极工艺相容的硅PIN探测器的结构及设计,从而提出一套易于实现两者集成的相容工艺。研制的单片集成光接收机,其中硅PIN探测器的光电响应为0.43A/W,整机的响应度为4.4×103V/W,工作频率250MHz。 展开更多
关键词 光电子集成电路 双极晶体管 探测器
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等效中子注量在线测量系统的研制工艺 被引量:1
11
作者 荣茹 邹德慧 +2 位作者 鲁艺 邱东 范晓强 《现代应用物理》 2016年第4期7-11,共5页
分析了等效中子注量在线测量系统研制的要素,确定了探测器制作、连接、退火、数据采集等关键工艺,研制了等效中子注量在线测量系统,实现了探测器的小型化以及多路测量。经实验验证,该系统的中子注量测量结果与用活化箔法测量的结果吻合。
关键词 等效中子注量 探测器 双极晶体管
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基于AlGaN/GaN场效应晶体管的太赫兹焦平面成像传感器 被引量:12
12
作者 罗木昌 孙建东 +9 位作者 张志鹏 李想 申志辉 王颖 陈红兵 董绪丰 张金峰 陈扬 周建勇 秦华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第3期234-239,共6页
太赫兹波成像技术在人体安检、医学成像、无损检测等领域具有广泛的应用前景。文中面向高速、高灵敏度和便携式太赫兹成像应用需求,设计实现了一种基于AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管自混频检测机制的太赫兹焦平面成像传感器。该焦平面成... 太赫兹波成像技术在人体安检、医学成像、无损检测等领域具有广泛的应用前景。文中面向高速、高灵敏度和便携式太赫兹成像应用需求,设计实现了一种基于AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管自混频检测机制的太赫兹焦平面成像传感器。该焦平面成像传感器由探测器阵列芯片和CMOS读出电路通过倒装互连实现,阵列规模达到32×32。探测器阵列中具有对管差分功能的像元设计通过提高探测器的电压响应度和抑制共模电压噪声,提高了焦平面成像的灵敏度。焦平面成像传感器的输出模拟信号通过片外的模数转换(ADC)芯片转化为数字信号,由现场可编程门阵列(FPGA)采集后通过Camera Link图像数据与通信接口发送到计算机。利用该焦平面成像传感器,演示实现了太赫兹光斑、太赫兹干涉环和太赫兹光照下的旋转塑料叶片的视频成像,帧频达到30 Hz。 展开更多
关键词 太赫兹自混频探测器 高电子迁移率晶体管 CMOS读出电路 焦平面成像
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超巨磁电阻薄膜物理及应用 被引量:10
13
作者 张鹏翔 陈雪梅 +1 位作者 王茺 常雷 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第3期53-62,共10页
由于在外界温度变化和磁场作用下表现出巨大的磁电阻效应(CMR),超巨磁电阻材料成为一个热点研究课题。CMR材料在硬盘读出磁头,随机存储器上极具潜力,在磁传感器、光热辐射探测器、场效应晶体管及磁制冷等方面的应用也崭露头角。首先介绍... 由于在外界温度变化和磁场作用下表现出巨大的磁电阻效应(CMR),超巨磁电阻材料成为一个热点研究课题。CMR材料在硬盘读出磁头,随机存储器上极具潜力,在磁传感器、光热辐射探测器、场效应晶体管及磁制冷等方面的应用也崭露头角。首先介绍了CMR薄膜材料的结构和机理,接着详细讨论了它们在器件应用上,尤其是在激光感生电压热电电压效应(LITV)、Bolometer、传感器等有关方面的应用进展。最后展望了CMR薄膜未来的应用前景。 展开更多
关键词 超巨磁电阻材料 激光感生热电势效应 探测器 磁制冷 场效应晶体管 晶体结构
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量子点场效应单光子探测器二维电子气载流子浓度研究 被引量:1
14
作者 李勇 刘锋 +2 位作者 钟文忠 李亮 李刚 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期122-125,129,共5页
设计了一种基于场效应晶体管的量子点场效应单光子探测器(quantum dot field effect transistor,QDFET),建立了二维电子气(two-dimensional electron gas,2DEG)的薛定谔方程和泊松方程,通过对薛定谔方程和泊松方程的自洽求解,对2DEG的... 设计了一种基于场效应晶体管的量子点场效应单光子探测器(quantum dot field effect transistor,QDFET),建立了二维电子气(two-dimensional electron gas,2DEG)的薛定谔方程和泊松方程,通过对薛定谔方程和泊松方程的自洽求解,对2DEG的载流子浓度进行了模拟。模拟结果显示,AlGaAs的Al组分、δ掺杂层的掺杂浓度以及隔离层的厚度对于2DEG的载流子浓度均有影响。为了使2DEG具有较高的载流子浓度,AlGaAs的Al组分应为0.2~0.4,δ掺杂浓度应为6~8×10^(13)/cm^2,隔离层厚度应在50nm以下。通过对2DEG的载流子浓度进行研究,可以掌握2DEG载流子浓度的影响因素,从而通过优化QDFET结构,可提高2DEG的载流子浓度。这对于高灵敏度QDFET的制备具有重要的意义和应用价值。 展开更多
关键词 单光子探测器 场效应晶体管 二维电子气
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基于硅透镜集成的高灵敏度室温太赫兹探测器 被引量:4
15
作者 孙云飞 孙建东 +5 位作者 秦华 班建民 罗恒 陶重犇 胡伏原 田学农 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第11期729-733,共5页
提出了一种基于硅透镜集成的高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的太赫兹模组探测器。在太赫兹波辐照下,超半球硅透镜可以有效提高太赫兹波收集效率和消除被测器件的衬底干涉效应,进而提高探测器的灵敏度。对集成有直径为6 mm... 提出了一种基于硅透镜集成的高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的太赫兹模组探测器。在太赫兹波辐照下,超半球硅透镜可以有效提高太赫兹波收集效率和消除被测器件的衬底干涉效应,进而提高探测器的灵敏度。对集成有直径为6 mm超半球硅透镜的太赫兹探测器件进行了仿真和测试。研究发现在频率为600和900 GHz的太赫兹波辐照下,硅透镜中心区域的太赫兹电场分别增加到原来的5.9倍和6.8倍。在300 K下器件的响应度和噪声等效功率分别为4.5 kV/W和30 pW/Hz0.5,在77 K下器件的响应度达到100 kV/W,噪声等效功率降至1 pW/Hz0.5。 展开更多
关键词 探测器 太赫兹 高电子迁移率晶体管(HEMT) 硅透镜 灵敏度
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太赫兹互补金属氧化物半导体场效应管探测器理论模型中扩散效应研究
16
作者 张镜水 孔令琴 +4 位作者 董立泉 刘明 左剑 张存林 赵跃进 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期259-265,共7页
针对基于经典动力学理论传统模型中忽略扩散效应的问题,通过对基于玻尔兹曼理论的场效应管传输线模型的理论分析,建立了包含扩散效应的太赫兹互补金属氧化物半导体(CMOS)场效应管探测器理论模型,研究扩散效应对场效应管电导及响应度的影... 针对基于经典动力学理论传统模型中忽略扩散效应的问题,通过对基于玻尔兹曼理论的场效应管传输线模型的理论分析,建立了包含扩散效应的太赫兹互补金属氧化物半导体(CMOS)场效应管探测器理论模型,研究扩散效应对场效应管电导及响应度的影响.同时,将此模型与忽略了扩散效应的传统模型进行了对比仿真模拟,给出了两种模型下的电流响应度随温度及频率变化的差别.依据仿真结果,并结合3σ原则明确了场效应管传输线模型中扩散部分省略的依据和条件.研究结果表明:扩散部分引起的响应度差异大小主要由场效应管的工作温度及工作频率决定.其中工作频率起主要作用,温度变化对差异大小影响较为微弱;而对于工作频率而言,当场效应管工作频率小于1 THz时,模型中的扩散部分可以忽略不计;而当工作频率大于1 THz时,扩散部分不可省略,此时场效应管模型需同时包含漂移、散射及扩散三个物理过程.本文的研究结果为太赫兹CMOS场效应管理论模型的精确建立及模拟提供了理论支持. 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体场效应管探测器 太赫兹 模型模拟 玻尔兹曼理论
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用于高分辨率Si-PIN探测器的低噪声电荷灵敏前置放大器的设计 被引量:4
17
作者 刘洋 田华阳 +3 位作者 何高魁 黄小健 郝晓勇 继世梁 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期317-321,共5页
介绍了一种用于高分辨率Si-PIN探测器的低噪声晶体管反馈电荷灵敏前置放大器的设计。在场效应管制冷到-20℃,成形时间为6μs条件下,前放的零电容电子学噪声(对Si探测器)为150 eV。与平面工艺技术制备的厚度500μm,灵敏面积5 mm2的Si-PI... 介绍了一种用于高分辨率Si-PIN探测器的低噪声晶体管反馈电荷灵敏前置放大器的设计。在场效应管制冷到-20℃,成形时间为6μs条件下,前放的零电容电子学噪声(对Si探测器)为150 eV。与平面工艺技术制备的厚度500μm,灵敏面积5 mm2的Si-PIN探测器配用,采用小型温差电制器制冷至-20℃,对5.9 keV X射线的能量分辨率(FWHM)最好可以达到195 eV。 展开更多
关键词 电荷灵敏 晶体管反馈 低噪声 高分辨率 SI-PIN探测器
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基于AlGaN/GaN HEMT结构的ZnO纳米线感光栅极光电探测器
18
作者 朱彦旭 李建伟 +4 位作者 李锜轩 宋潇萌 谭张杨 李晋恒 王晓冬 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期188-196,共9页
在传统的采用ZnO薄膜的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)光电探测器件中,存在光吸收、光电转换效率低,光电流小等诸多局限.为改善上述问题,基于AlGaN/GaN HEMT结构,提出并成功制备了一种ZnO纳米线... 在传统的采用ZnO薄膜的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)光电探测器件中,存在光吸收、光电转换效率低,光电流小等诸多局限.为改善上述问题,基于AlGaN/GaN HEMT结构,提出并成功制备了一种ZnO纳米线感光栅极光电探测器.实验中首先通过水热法将ZnO纳米线成功制备到Si衬底材料及AlGaN/GaN HEMT衬底材料上,并利用X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)仪、扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)、光致发光(photo luminescence,PL)光谱仪等仪器进行了一系列测试.结果表明,生长在AlGaN/GaN HEMT衬底材料上的ZnO纳米线具有更低的缺陷密度、更好的结晶度和更优异的光电特性.然后,将ZnO纳米线成功集成到AlGaN/GaN HEMT器件的栅极上,制备出具有ZnO纳米线感光栅极的AlGaN/GaN HEMT紫外光电探测器.将实验中制备出的具有ZnO纳米线感光栅极的AlGaN/GaN HEMT器件与常规的AlGaN/GaN HEMT器件进行对比,发现具有ZnO纳米线的器件在紫外波段能达到1.15×104A/W的峰值响应度,相比常规结构的AlGaN/GaN HEMT,峰值响应度提升约2.85倍,并且制备的ZnO纳米线器件的响应时间和恢复时间缩短为τr=10 ms和τf=250 ms,提高了探测器的性能. 展开更多
关键词 水热法 紫外 ZNO纳米线 高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor HEMT) 探测器 响应度
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基于天线优化的GaN/AlGaN HEMT太赫兹探测器 被引量:1
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作者 孙云飞 班建民 +3 位作者 陶重犇 胡伏原 孙建东 田学农 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第10期653-657,683,共6页
介绍了一种基于天线优化的GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的高灵敏度室温太赫兹探测器。在太赫兹波辐射下,太赫兹天线可以高效收集太赫兹波的能量进而提高探测器的性能指标。利用有限时域差分(FDTD)法对太赫兹天线的特征尺寸(源、... 介绍了一种基于天线优化的GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的高灵敏度室温太赫兹探测器。在太赫兹波辐射下,太赫兹天线可以高效收集太赫兹波的能量进而提高探测器的性能指标。利用有限时域差分(FDTD)法对太赫兹天线的特征尺寸(源、漏极天线之间的间距Lw以及栅极天线的栅长Lg)进行了优化研究。研究结果表明当Lg一定时,探测器的响应度随着Lw的减小而增大,并从实验上制备出了响应度为9.45×102 V/W的室温GaN/AlGaN HEMT太赫兹探测器。对优化后的器件进行了1×9线阵列探测器的制备和测试,探测器的电学特性一致性较好,响应度仅有约10%的误差。 展开更多
关键词 探测器 太赫兹 高电子迁移率晶体管(HEMT) 自混频 有限时域差分 (FDTD)法
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非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的优化设计
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作者 刘兴明 方华军 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期219-221,共3页
介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率。为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了... 介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率。为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了一种新的热绝缘材料,并将该材料应用到了非制冷红外探测器中,实际制备了探测器单元,对该材料的热绝缘能力进行了验证。 展开更多
关键词 非晶硅薄膜晶体管 非制冷红外探测器 电流温度系数 插指结构
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