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Optical response of Al/Ti bilayer transition edge sensors 被引量:2
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作者 张青雅 王天顺 +5 位作者 刘建设 董文慧 何根芳 李铁夫 周幸祥 陈炜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期606-611,共6页
We report the optical response characteristics of A1/Ti bilayer transition edge sensors (TESs), which are mainly comprised of A1/Ti bilayer thermometers and suspended SiN membranes for thermal isolation. The measure... We report the optical response characteristics of A1/Ti bilayer transition edge sensors (TESs), which are mainly comprised of A1/Ti bilayer thermometers and suspended SiN membranes for thermal isolation. The measurement was performed in a 3He sorption refrigerator and the device's response to optical pulses was investigated using a pulsed laser source. Based on these measurements, we obtained the effective recovery time (τeff) of the devices at different biases and discussed the dependence of Veff on the bias. The device with a 940 μm × 940 μm continuous suspended SiN membrane demonstrated a fast response speed with τeff = 3.9 μs, which indicates a high temperature sensitivity (a = T/R·dR/dT = 326). The results also showed that the TES exhibits good linearity under optical pulses of variable widths. 展开更多
关键词 transition edge sensors superconducting detectors
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Transition edge sensor-based detector:from X-ray to γ-ray 被引量:1
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作者 Shuo Zhang Jing-Kai Xia +15 位作者 Tao Sun Wen-Tao Wu Bing-Jun Wu Yong-Liang Wang Robin Cantor Ke Han Xiao-Peng Zhou Hao-Ran Liu Fu-You Fan Si-Ming Guo Jun-Cheng Liang De-Hong Li Yan-Ru Song Xu-Dong Ju Qiang Fu Zhi Liu 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第7期61-72,共12页
A transition edge sensor(TES)is extremely sensitive to changes in temperature,and combined with a high-Z metal of a certain thickness,it can realize high-energy resolution measurements of particles such as X-rays.X-ra... A transition edge sensor(TES)is extremely sensitive to changes in temperature,and combined with a high-Z metal of a certain thickness,it can realize high-energy resolution measurements of particles such as X-rays.X-rays with energies below 10 keV have a weak penetrating ability,hence,only gold or bismuth of a few micrometers in thickness can guarantee a quantum efficiency higher than 70%.Therefore,the entire structure of the TES X-ray detector in this energy range can be realized using a microfabrication process.However,for X-rays or γ-rays from 10 keV to 200 keV,submillimeter absorber layers are required,which cannot be realized using the microfabrication process.This paper first briefly introduces a set of TES X-ray detectors and their auxiliary systems,and then focuses on the introduction of the TES γ-ray detector with an absorber based on a submillimeter lead-tin alloy sphere.The detector achieved a quantum efficiency above 70% near 100 keV and an energy resolution of approximately 161.5 eV at 59.5 keV. 展开更多
关键词 Synchrotron radiation INSTRUMENTATION X-ray spectrometers Cryogenic detectors transition edge sensor
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柔性超导电路制备工艺技术研究
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作者 朱承峰 李万 +6 位作者 陈建 孙潇莹 曾九孙 蔡晋辉 王振宇 李劲劲 王雪深 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第7期929-934,共6页
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺... 超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100 nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度T_(c)为8.91~9.02 K,剩余电阻比r_(RR)为5.83~6.96。温度为8 K时,38根传输线临界电流I_(c)超过1 mA;温度为4.2 K时,所有样品I_(c)均超过1 mA,其中有25根传输线I_(c)超过10 mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。 展开更多
关键词 电学计量 超导转变边沿探测器 聚酰亚胺 柔性超导电路 超导转变温度 临界电流
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Fabrication and characterization of Al–Mn superconducting films for applications in TES bolometers
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作者 余晴 张翼飞 +6 位作者 赵昌昊 何楷泳 黄汝田 何永成 吴歆宇 刘建设 陈炜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第7期503-506,共4页
Superconducting transition edge sensor(TES)bolometers require superconducting films to have controllable transition temperatures T_(c)in different practical applications.The value of T_(c)strongly affects thermal cond... Superconducting transition edge sensor(TES)bolometers require superconducting films to have controllable transition temperatures T_(c)in different practical applications.The value of T_(c)strongly affects thermal conductivity and thermal noise performance of TES detectors.Al films doped with Mn(Al-Mn)of different concentrations can accomplish tunable T_(c)A magnetron sputtering machine is used to deposit the Al-Mn films in this study.Fabrication parameters including sputtering pressure and annealing process are studied and their influences on T_(c)and superconducting transition widthΔT_(c)are optimized.The Al-Mn films withΔT_(c)below 1.0 mK for T_(c)in a range of 520 mK-580 mK are successfully fabricated. 展开更多
关键词 Al–Mn superconducting films deposition process annealing process superconducting transition edge sensor
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基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术 被引量:1
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作者 周品嘉 常相辉 +1 位作者 韦联福 于扬 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2010年第4期371-386,共16页
单光子探测是实现光量子信息处理的关键技术之一。基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术以其独有的极低的暗计数率、极高的量子探测效率和极强的光子数分辨能力而倍受关注。对比于其他的几种单光子探测技术,如光电倍增管、工作于... 单光子探测是实现光量子信息处理的关键技术之一。基于热敏超导边界转变传感的单光子探测技术以其独有的极低的暗计数率、极高的量子探测效率和极强的光子数分辨能力而倍受关注。对比于其他的几种单光子探测技术,如光电倍增管、工作于盖革模式的雪崩二极管和超导纳米线等,本文将从其探测原理、实验样品制备和信号采集处理方法等方面出发,对基于热敏超导边界转变传感单光子探测技术研究的历史、现状进行综述,进而展望其未来可能的发展。 展开更多
关键词 单光子探测 热敏超导边界转变传感 计数率 暗计数 量子效率
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Mo/Cu TES超导性能表征
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作者 张宏俊 文继 +3 位作者 莫钊洪 王新明 熊忠华 帅茂兵 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2020年第1期33-38,共6页
为了制备满足超高分辨率射线探测要求的超导转变边界探测器,对制备的Mo薄膜和Mo/Cu薄膜表征了其超导电学特性.结果表明,制备的Mo薄膜具有较好的超导性能,Mo/Cu薄膜的△T达到了2.1 mK@352 mK,α值达到了335.在1 mA的电流下,该α值可以满... 为了制备满足超高分辨率射线探测要求的超导转变边界探测器,对制备的Mo薄膜和Mo/Cu薄膜表征了其超导电学特性.结果表明,制备的Mo薄膜具有较好的超导性能,Mo/Cu薄膜的△T达到了2.1 mK@352 mK,α值达到了335.在1 mA的电流下,该α值可以满足超高分辨射线探测的要求. 展开更多
关键词 超高分辨率 γ射线探测 超导薄膜 转变边界探测器
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超导单光子探测技术 被引量:7
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作者 张忠祥 韩正甫 +1 位作者 刘云 郭光灿 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2007年第1期1-8,共8页
单光子探测是弱光测量技术的核心,在量子信息、物理、生物、化学和天文学领域具有关键性的作用。传统以光电倍增管或雪崩二极管为基础的单光子探测器的低灵敏度和高暗计数限制了信噪比的提高,低计数率限制了测量速度和动态范围。本文综... 单光子探测是弱光测量技术的核心,在量子信息、物理、生物、化学和天文学领域具有关键性的作用。传统以光电倍增管或雪崩二极管为基础的单光子探测器的低灵敏度和高暗计数限制了信噪比的提高,低计数率限制了测量速度和动态范围。本文综述了以超导材料作为光敏感器件的单光子探测技术,其量子效率、暗计数率和计数率远高于传统的单光子探测器,它们的出现势必给单光子测量相关学科带来巨大影响。 展开更多
关键词 单光子探测 转换边界传感器(TES) 超导单光子探测器(SSPD)
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二阶梯度交叉耦合超导量子干涉仪电流传感器研制 被引量:2
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作者 徐达 钟青 +5 位作者 曹文会 王雪深 王仕建 李劲劲 刘建设 陈炜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期371-378,共8页
超导量子干涉仪(superconducting quantum interference device,SQUID)具有极低的噪声水平,极高的磁场灵敏度和电流灵敏度,可探测低噪声传感器的微弱电流信号.SQUID电流传感器已成为超导转变边缘探测器(transition-edge sensor,TES)等... 超导量子干涉仪(superconducting quantum interference device,SQUID)具有极低的噪声水平,极高的磁场灵敏度和电流灵敏度,可探测低噪声传感器的微弱电流信号.SQUID电流传感器已成为超导转变边缘探测器(transition-edge sensor,TES)等低噪声探测信号读出的唯一选择.本文研制了一种针对TES信号读出应用的二阶梯度交叉耦合SQUID电流传感器.根据TES的信号读出需求,设计了SQUID电流传感器的结构和各项参数.其中,SQUID环路、输入线圈和反馈线圈均采用二阶梯度结构.SQUID环路与输入线圈、反馈线圈均采用不同平面交叉耦合方式,可有效地减弱寄生电容.通过优化工艺,成功地研制出基于Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结的二阶梯度交叉藕合SQUID电流传感器.液氦温区测试结果显示,输入线圈电流灵敏度为17μA/φ0,磁通白噪声为2μΦ0/Hz1/2,电流白噪声为34 pA/Hz1/2.在无磁屏蔽条件下的噪声测试结果显示,二阶梯度交叉耦合SQUID电流传感器具有良好的抵抗环境电磁干扰能力. 展开更多
关键词 超导量子干涉仪 超导转变边缘探测器 磁通噪声 电流噪声 电流灵敏度
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基于钛相变边缘传感器的超导单光子探测器特性 被引量:2
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作者 耿悦 钟家强 +7 位作者 李佩展 张文 王争 周康敏 任远 缪巍 姚骑均 史生才 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期678-684,共7页
研究了基于钛TES的超导单光子探测器的特性,器件尺寸范围为5μm×5μm到20μm×20μm,集成光学腔体后在1550 nm波长实测的系统探测效率最高达到72%,最佳能量分辨率为0.26 eV。在此基础上,采用二流体模型提取了基于钛TES的超导... 研究了基于钛TES的超导单光子探测器的特性,器件尺寸范围为5μm×5μm到20μm×20μm,集成光学腔体后在1550 nm波长实测的系统探测效率最高达到72%,最佳能量分辨率为0.26 eV。在此基础上,采用二流体模型提取了基于钛TES的超导单光子探测器的特性参数(包括温度灵敏度、电流灵敏度、热容等),并模拟计算了基于钛TES的超导单光子探测器的响应时间和能量分辨率,与实验结果完全吻合。结果表明优化探测器尺寸和临界温度,可以同时达到高探测效率和高能量分辨率,实现光子数可分辨的高性能单光子探测器。 展开更多
关键词 相变边缘传感器(transition-edge Sensor TES) 单光子探测器 二流体模型 能量分辨率
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超导转变边沿探测器梁架尺寸估算方法
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作者 高冠华 徐郁 +1 位作者 廖国福 卢方军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期288-298,共11页
由于具有极低的噪声等效功率,超导转变边沿探测器(transition edge sensor,TES)近年来被广泛地应用于国际各个宇宙微波背景辐射(cosmic microwave background,CMB)极化观测项目中.为保证探测器工作在性能最佳区间,探测器饱和功率值需根... 由于具有极低的噪声等效功率,超导转变边沿探测器(transition edge sensor,TES)近年来被广泛地应用于国际各个宇宙微波背景辐射(cosmic microwave background,CMB)极化观测项目中.为保证探测器工作在性能最佳区间,探测器饱和功率值需根据观测地点气象条件及观测波段进行调整,而探测器梁架结构尺寸直接决定了饱和功率大小.因工艺差异等原因,不同加工方案下得到的梁架尺寸参数往往不能直接用于横向比对.在之前的观测项目中,一般先加工出一系列不同尺寸器件并逐一测量,然后通过拟合实测饱和功率与梁架尺寸的关系推测实际需要尺寸.为了与目标值匹配,往往需要多次加工迭代过程.本文使用边界限制的声子输运模型,成功整合了之前观测项目中的器件参数,对TES梁架尺寸进行预估.并按照预估值首次在国内制备了用于探测CMB极化信号的TES探测器芯片.测量表明参数与目标值相差较小.该方法可以很好地对同类TES探测器尺寸进行估计,对之后TES探测器的设计有指导性意义. 展开更多
关键词 超导转变边沿探测器 宇宙微波背景辐射 声子输运 声子有效平均自由程
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Modulation depth of series SQUIDs modified by Josephson junction area
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作者 刘杰 高鹤 +5 位作者 李刚 李正伟 Kamal Ahmada 张颖珊 刘建设 陈炜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第9期496-501,共6页
The superconducting quantum interference device(SQUID) amplifier is widely used in the field of weak signal detection for its low input impedance, low noise, and low power consumption. In this paper, the SQUIDs with... The superconducting quantum interference device(SQUID) amplifier is widely used in the field of weak signal detection for its low input impedance, low noise, and low power consumption. In this paper, the SQUIDs with identical junctions and the series SQUIDs with different junctions were successfully fabricated. The Nb/Al-AlOx/Nb trilayer and input Nb coils were prepared by asputtering equipment. The SQUID devices were prepared by a sputtering and the lift-off method.Investigations by AFM, OM and SEM revealed the morphology and roughness of the Nb films and Nb/Al-AlOx/Nb trilayer.In addition, the current–voltage characteristics of the SQUID devices with identical junction and different junction areas were measured at 2.5 K in the He^3 refrigerator. The results show that the SQUID modulation depth is obviously affected by the junction area. The modulation depth obviously increases with the increase of the junction area in a certain range. It is found that the series SQUID with identical junction area has a transimpedance gain of 58 Ω approximately. 展开更多
关键词 superconducting quantum interference device(SQUID) Josephson junction transition edge sensor
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Development of superconducting microcalorimeters for the HUBS mission 被引量:3
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作者 Sifan Wang Guole Wang +7 位作者 Naihui Chen Yanling Chen Wei Cui Jiao Ding Fajun Li Yajie Liang Qian Wang Yeru Wang 《Superconductivity》 2022年第4期29-40,共12页
Hot Universe Baryon Surveyor(HUBS)is a proposed space‐borne observatory for X‐ray astronomy.The primary scientific objectives of the mission are to fill a void in probing the ecosystem of galaxies and thus to advanc... Hot Universe Baryon Surveyor(HUBS)is a proposed space‐borne observatory for X‐ray astronomy.The primary scientific objectives of the mission are to fill a void in probing the ecosystem of galaxies and thus to advance our understanding of galaxy formation and evolution,which is of fundamental importance in cosmology.More specifically,HUBS aims at directly detecting soft X‐ray emission from diffuse gas of temperature exceeding 106 K,which is theoretically postulated to permeate the large structures in the cosmic web and also fill the extended halo of galaxies.However,although some indirect evidence exists,the presence of such hot gas has yet to be well established observationally,due to the lack of effective tools to probe it.In this paper,we describe the design of HUBS,focusing on its scientific payload,which employs superconducting technologies in the detector system,and particularly on progress in the development of superconducting microcalorimeters. 展开更多
关键词 transitionedge sensor(TES) MICROCALORIMETER Non‐dispersive X‐ray spectrometer X‐ray detector
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超导转变边沿单光子探测器原理与研究进展 被引量:11
13
作者 张青雅 董文慧 +3 位作者 何根芳 李铁夫 刘建设 陈炜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第20期1-14,共14页
量子信息技术近十多年来的快速发展对单光子探测器的性能提出了更高的要求,高性能单光子探测器也因此受到了更多的关注.与传统的单光子探测器相比,超导转变边沿(TES)单光子探测器在探测效率、能量分辨、光子数分辨和暗计数等方面具有突... 量子信息技术近十多年来的快速发展对单光子探测器的性能提出了更高的要求,高性能单光子探测器也因此受到了更多的关注.与传统的单光子探测器相比,超导转变边沿(TES)单光子探测器在探测效率、能量分辨、光子数分辨和暗计数等方面具有突出优势.目前,超导TES单光子探测器已经被成功地应用在量子光学实验和量子密钥分配系统中,未来在量子信息技术等研究领域具有更广泛的应用.本文从超导TES单光子探测器的工作原理、制备流程、测试系统、主要性能指标以及研究现状和进展等方面对该探测器技术进行简要综述. 展开更多
关键词 量子信息 超导探测器 单光子探测器 超导转变边沿传感器
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高性能单光子探测技术研究进展 被引量:4
14
作者 尤立星 张腊宝 +1 位作者 史生才 张军 《中国基础科学》 2020年第1期25-29,共5页
"高性能单光子探测技术"项目针对光量子信息和量子调控,特别是广域量子通信网络对高性能单光子探测器(SPD)的需求,开展超导纳米线单光子探测器(SNSPD)、超导相变边缘单光子探测器(TES)、InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)以及上... "高性能单光子探测技术"项目针对光量子信息和量子调控,特别是广域量子通信网络对高性能单光子探测器(SPD)的需求,开展超导纳米线单光子探测器(SNSPD)、超导相变边缘单光子探测器(TES)、InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)以及上转换单光子探测器(UCD)研究。项目于2017年7月立项,项目执行期为5年,共包括4个课题。项目各课题研究工作正在按照计划有序推进,已顺利完成中期既定的任务和目标。SNSPD器件和APD及UCD等单光子探测器件性能已取得部分突破;特别是高效率SNSPD和小型化InGaAs/InP APD方面成果已经达到了国际领先水平。通过和专项其他项目承担单位合作,在应用演示方面取得了量子通信、光量子模拟、量子随机数和贝尔不等式验证等多项重大应用成果。部分器件指标及应用演示成果提前达到了项目结题考核指标。 展开更多
关键词 单光子探测器 超导纳米线单光子探测器 超导相变边缘单光子探测器 上转换单光子探测器 InGaAs/InP雪崩光电二极管 探测效率 暗计数
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具有Washer型输入线圈的超导量子干涉放大器的制备与表征 被引量:1
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作者 陈钊 何根芳 +3 位作者 张青雅 刘建设 李铁夫 陈炜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期412-418,共7页
超导量子干涉仪(SQUID)放大器具有低输入阻抗、低噪声、低功耗等优点,目前被广泛用于微弱信号的检测领域.与其他工艺相比,Nb/Al-Al Ox/Nb结构的约瑟夫森结具有相对较高的转变温度(Tc)、高的磁通电压调制系数以及良好的热循环能力、较宽... 超导量子干涉仪(SQUID)放大器具有低输入阻抗、低噪声、低功耗等优点,目前被广泛用于微弱信号的检测领域.与其他工艺相比,Nb/Al-Al Ox/Nb结构的约瑟夫森结具有相对较高的转变温度(Tc)、高的磁通电压调制系数以及良好的热循环能力、较宽的临界电流范围,因此是制备SQUID放大器的很好选择.设计并制作了欠阻尼、过阻尼约瑟夫森结以及具有Washer型输入线圈的单SQUID放大器,通过在He3制冷机3 K温区下对器件电流-电压特性进行测量,得到良好的结I-V特性曲线、SQUID调制特性,初步实现利用SQUID进行放大作用,并计算了SQUID的电流分辨率.此项工作对于超导转变边沿传感器读出电路的实现具有重要的意义. 展开更多
关键词 超导量子干涉放大器 超导量子干涉仪 约瑟夫森结 超导转变边沿传感器
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