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电势对硅片摩擦电化学材料去除特性的影响 被引量:3
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作者 王金虎 翟文杰 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期20-24,31,共6页
为了提高硅片抛光效率,改善抛光表面质量,采用电化学交流阻抗谱法实验研究了极化电势对硅片表面钝化作用的影响规律,结合摩擦电化学实验探讨了极化电势对硅片表面摩擦系数及材料去除特性的影响.结果表明,在碱性CeO2抛光液中,对硅片施加... 为了提高硅片抛光效率,改善抛光表面质量,采用电化学交流阻抗谱法实验研究了极化电势对硅片表面钝化作用的影响规律,结合摩擦电化学实验探讨了极化电势对硅片表面摩擦系数及材料去除特性的影响.结果表明,在碱性CeO2抛光液中,对硅片施加1 V阳极极化电势能够促进其表面形成抑制腐蚀的钝化层,极化电势过高会破坏表面钝化层,过低则抑制钝化层形成.良好的硅片表面钝化层能够有效增大其摩擦系数,提高摩擦电化学实验过程中的材料去除率. 展开更多
关键词 硅片 极化电势 钝化 摩擦电化学 材料去除
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摩擦电化学与摩擦电化学研磨抛光研究进展 被引量:3
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作者 翟文杰 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期92-96,共5页
评述了水基介质和非水基介质中摩擦电化学的研究现状和进展,总结了摩擦电化学控制机理,进而在总结分析硬脆材料研抛机理的基础上提出摩擦电化学研抛原理,指出摩擦电化学研抛可望成为微电子基材高效研抛与平坦化的关键技术.
关键词 摩擦电化学 腐蚀磨损 摩擦控制 摩擦电化学研抛
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Effects of Electric Potentials on Tribological Properties of SiC/HT200 Pairs in NaOH Solutions
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作者 Pengfei Fan Wenjie Zhai Xiaoxu Zhang 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2016年第3期75-79,共5页
On a self-developed circular-translation polishing machine,the influence of different electric potentials on the friction coefficient and wear properties of SiC/HT200 friction pair,which contacted as one electrode,wer... On a self-developed circular-translation polishing machine,the influence of different electric potentials on the friction coefficient and wear properties of SiC/HT200 friction pair,which contacted as one electrode,were studied in NaOH solutions.The results show that the friction coefficient of SiC/HT200 pair is 0.25 under no externally applied potential;but it decreases to 0.23 while applying +3 V polarization potential on the pair;in contrast,it increases to 0.30 when applying-3 V polarization potential on the pair.And the polished SiC surface under + 3 V potential is much smoother,while there are clear ploughing marks and adhesive region on the polished SiC surface under zero and-3 V potential,respectively.The mixed triboelectrochemical friction model has been proposed and the mechanisms of the electric effects on the tribological properties of SiC/HT200 friction pair in NaOH electrolyte are addressed.Results and discussion show that the anodic passivation technique may be used for hastening the running-in process of SiC/Fe friction pairs,as well as for polishing SiC to increase its materials removal efficiency while maintaining good surface quality. 展开更多
关键词 Silicon CARBIDE tribo-electrochem ical friction and w EAR PASSIVATION
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钛合金表面微弧氧化涂层在模拟海洋环境下摩擦腐蚀规律研究 被引量:5
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作者 张玉林 庞雅洁 +1 位作者 海潮 杜翠薇 《装备环境工程》 CAS 2021年第6期42-50,共9页
目的研究TC17钛合金及其表面微弧氧化(Microarc Oxidation,MAO)涂层在模拟海洋大气环境下发生摩擦腐蚀行为的规律及特征。方法利用微弧氧化技术,在TC17钛合金表面原位生长MAO涂层,通过SEM、EDS以及XRD对MAO涂层微观结构、元素分布以及... 目的研究TC17钛合金及其表面微弧氧化(Microarc Oxidation,MAO)涂层在模拟海洋大气环境下发生摩擦腐蚀行为的规律及特征。方法利用微弧氧化技术,在TC17钛合金表面原位生长MAO涂层,通过SEM、EDS以及XRD对MAO涂层微观结构、元素分布以及相组成进行检测分析。采用电化学工作站和摩擦腐蚀设备研究试样在模拟海洋环境条件下的耐腐蚀及摩擦腐蚀的性能。结果在硅酸盐中制备的MAO涂层,表面微孔尺寸较小,且分布均匀,MAO涂层与基体结合良好,无明显微裂纹等缺陷的存在,其平均厚度约为15.8μm。MAO涂层主要有金红石相、锐钛矿相和SiO_(2)相组成。MAO涂层的自腐蚀电位较基体有所提高,而其钝化电流密度则显著降低。MAO涂层在腐蚀液中表现出较低的摩擦系数,开路电位缓慢降低。结论TC17基体表面氧化膜在摩擦开始瞬间发生破裂,难以起到有效的防护作用,而MAO涂层由硬度较高的金红石相和SiO_(2)相组成,在摩擦腐蚀过程中,能够起到优异的耐磨损腐蚀的作用。 展开更多
关键词 TC17钛合金 微弧氧化 电化学阻抗 耐蚀性 摩擦腐蚀
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