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三维晶体管和后CMOS器件的进展 被引量:2
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期1-11,共11页
2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术... 2012年当量产的集成电路的特征尺寸进入22 nm时,三维晶体管新结构成为纳电子发展的主流,标志纳电子学的发展由应力Si时代进入三维晶体管时代。介绍了多栅晶体管的发展过程,包括双栅、鳍栅、Pi型栅、Ω型栅、三栅和环形栅等FET关键技术的突破和由于栅极控制沟道电子能力增加而导致的器件性能的改善。同时,还介绍了后CMOS器件的新进展,包含InGaAs n沟道鳍栅FET、环栅纳米线FET、Ge n/p沟道鳍栅FET、碳纳米管FET、石墨烯FET、隧穿FET、单电子晶体管和自旋电子学等,以及后CMOS器件的评定和终结CMOS器件模型。 展开更多
关键词 鳍栅FET 三栅FET InGaAs鳍栅FET 环栅纳米线FET Ge鳍栅FET 碳纳米管FET 石墨烯FET 隧穿FET 自旋器件
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一种新型隧穿场效应晶体管
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作者 卜建辉 许高博 +4 位作者 李多力 蔡小五 王林飞 韩郑生 罗家俊 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第3期185-188,共4页
提出了一种新型隧穿场效应晶体管(TFET)结构,该结构通过在常规TFET靠近器件栅氧化层一侧的漏-体结界面引入一薄层二氧化硅(隔离区),从而减小甚至阻断反向栅压情况下漏端到体端的带带隧穿(BTBT),减弱TFET的双极效应,实现大幅度降低器件... 提出了一种新型隧穿场效应晶体管(TFET)结构,该结构通过在常规TFET靠近器件栅氧化层一侧的漏-体结界面引入一薄层二氧化硅(隔离区),从而减小甚至阻断反向栅压情况下漏端到体端的带带隧穿(BTBT),减弱TFET的双极效应,实现大幅度降低器件泄漏电流的目的。利用TCAD仿真工具对基于部分耗尽绝缘体上硅(PDSOI)和全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)的TFET和新型TFET结构进行了仿真与对比。仿真结果表明,当隔离区宽度为2 nm,高度大于10 nm时,可阻断PDSOI TFET的BTBT,其泄漏电流下降了4个数量级;而基于FDSOI的TFET无法彻底消除BTBT和双极效应,其泄漏电流下降了2个数量级。因此新型结构更适合于PDSOI TFET。 展开更多
关键词 隧穿场效应晶体管(TFET) 绝缘体上硅(SOI) 泄漏电流 带带隧穿(BTBT) 双极效应
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First-principles Simulations of Tunneling FETs Based on van der Waals MoTe2/SnS2 Heterojunctions with Gate-to-drain Overlap Design
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作者 Kun Luo Kui Gong +4 位作者 Jiangchai Chen Shengli Zhang Yongliang Li Huaxiang Yin Zhenhua Wu 《Journal of Microelectronic Manufacturing》 2020年第4期32-39,共8页
The electronic properties and transport properties of MoTe2/SnS2 heterostructure Tunneling FETs are investigated by the density functional theory coupled with non-equilibrium Green’s function method.Two dimensional(2... The electronic properties and transport properties of MoTe2/SnS2 heterostructure Tunneling FETs are investigated by the density functional theory coupled with non-equilibrium Green’s function method.Two dimensional(2D)monolayer MoTe2 and SnS2 are combined to a vertical van der Waals heterojunction.A small staggered band gap is formed in the overlap region,while larger gaps remain in the underlap source and drain regions of monolayer MoTe2 and SnS2 respectively.Such a type-II heterojunction is favorable for tunneling FET.Furthermore,we suggest short stack length and large gate-to-drain overlap to enhance the on-state current suppress the leakage current respectively.The numerical results show that at a low drain to source voltage Vds=0.05V,On/Off current ratio can reach 108 and the On-state currents is over 20μA/μm for ntype devices.Our results present that van der Waals heterostructure TFETs can be potential candidate as next generation ultra-steep subthreshold and low-power electronic applications. 展开更多
关键词 2D materials heterojunction tunnel-fet gate-to-drain overlap DFT-NEGF.
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一种对高速脉冲边沿整形、调整的设计方案 被引量:2
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作者 张嘉岷 王厚军 付在明 《电子测量技术》 2007年第7期175-177,共3页
随着高速脉冲的广泛应用,作为决定脉冲质量的重要参数,脉冲上升、下降时间也越来越受到重视。针对高速脉冲发生中对脉冲边沿陡峭、可控的要求,本文提出了一种使用隧道二极管对脉冲边沿整形,利用场效应管开关和恒流源充放电电路控制脉冲... 随着高速脉冲的广泛应用,作为决定脉冲质量的重要参数,脉冲上升、下降时间也越来越受到重视。针对高速脉冲发生中对脉冲边沿陡峭、可控的要求,本文提出了一种使用隧道二极管对脉冲边沿整形,利用场效应管开关和恒流源充放电电路控制脉冲边沿时间的方案,并对其电路和隧道二极管的工作原理进行了具体分析。从试验结果看,该方案能将脉冲的边沿时间整形至800ps左右,同时实现边沿时间的可控调整。 展开更多
关键词 脉冲边沿整形 脉冲边沿调整 隧道二极管 场效应管开关
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隧穿晶体管研究进展 被引量:1
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作者 安宁 骆志炯 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期561-565,共5页
随着晶体管尺寸不断缩小,CMOS电路的功耗问题变得日益严重。隧穿晶体管是一种基于载流子的隧道效应工作的器件,可以在室温下实现小于60 mV/dec的亚阈值摆幅,具有很好的低功耗应用前景。但常规的隧穿晶体管导通电流比较小,而且具有双极... 随着晶体管尺寸不断缩小,CMOS电路的功耗问题变得日益严重。隧穿晶体管是一种基于载流子的隧道效应工作的器件,可以在室温下实现小于60 mV/dec的亚阈值摆幅,具有很好的低功耗应用前景。但常规的隧穿晶体管导通电流比较小,而且具有双极特性。首先介绍了隧穿晶体管的结构和工作原理。其次,针对常规隧穿晶体管问题,综述了国内外研究进展,包括Ge材料隧穿晶体管、纳米线隧穿晶体管等。最后介绍了一种基于隧穿介质层的新型隧穿晶体管,器件仿真结果表明这种新型器件可以有效抑制双极特性。 展开更多
关键词 隧穿晶体管 亚阈值摆幅 双极特性 导通电流 低功耗
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一种新型非对称栅隧穿场效应晶体管 被引量:1
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作者 王艳福 王红茹 王颖 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期362-365,377,共5页
研究了一种新型非对称栅隧穿场效应晶体管(AG-TFET),新型结构结合了隧穿场效应晶体管陡峭的亚阈值摆幅与无结器件较大的开态电流的优点,其总电流大小受控于底部沟道势垒和p+区与本征沟道区形成的反偏p-i隧穿结处的带隙宽度以及电场强度... 研究了一种新型非对称栅隧穿场效应晶体管(AG-TFET),新型结构结合了隧穿场效应晶体管陡峭的亚阈值摆幅与无结器件较大的开态电流的优点,其总电流大小受控于底部沟道势垒和p+区与本征沟道区形成的反偏p-i隧穿结处的带隙宽度以及电场强度。使用Silvaco TCAD软件对器件性能进行了仿真,并对p+区厚度以及底栅栅介质二氧化铪的长度进行了优化。仿真结果表明:新型AG-TFET具有良好的电学特性,在室温下开关电流比可以达到3.3×1010,开态电流为302μA/μm,陡峭的亚阈值摆幅即点亚阈值摆幅为35 m V/dec,平均亚阈值摆幅为54 m V/dec。因此,该新型AG-TFET有望被应用在未来低功耗电路中。 展开更多
关键词 非对称栅 无结场效应晶体管(JLFET) 隧穿场效应晶体管(TFET) 亚阈值摆幅 开态电流
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一种新型高速嵌入式动态随机存储器
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作者 臧松干 王鹏飞 +3 位作者 林曦 刘昕彦 丁士进 张卫 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期50-53,共4页
基于二维器件模拟工具,研究了一种采用栅控二极管作为写操作单元的新型平面无电容动态随机存储器。该器件由一个n型浮栅MOSFET和一个栅控二极管组成。MOSFET的p型掺杂多晶硅浮栅作为栅控二极管的p型掺杂区,同时也是电荷存储单元。写&quo... 基于二维器件模拟工具,研究了一种采用栅控二极管作为写操作单元的新型平面无电容动态随机存储器。该器件由一个n型浮栅MOSFET和一个栅控二极管组成。MOSFET的p型掺杂多晶硅浮栅作为栅控二极管的p型掺杂区,同时也是电荷存储单元。写"0"操作通过正向偏置二极管实现,而写"1"操作通过反向偏置二极管,同时在控制栅上加负电压使栅控二极管工作为隧穿场效应晶体管(Tunneling FET)来实现。由于正向偏置二极管和隧穿晶体管开启时接近1μA/μm的电流密度,实现了高速写操作过程,而且该器件的制造工艺与闪烁存储器和逻辑器件的制造兼容,因此适合在片上系统(SOC)中作为嵌入式动态随机存储器使用。 展开更多
关键词 嵌入式动态随机存储器 栅控二极管 隧穿场效应晶体管
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平面石墨烯纳米带隧穿场效应管理论设计
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作者 赵磊 吕亚威 +3 位作者 常胜 王豪 黄启俊 何进 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期227-230 240,240,共5页
不同于传统的立体结构隧穿器件,本文给出了一种新型平面石墨烯纳米带隧穿场效应管的理论设计。基于石墨烯纳米带几何宽度调控禁带宽度的思想,构建"双十字形"石墨烯纳米带超晶格作为沟道,设计了石墨烯纳米带超晶格场效应管。... 不同于传统的立体结构隧穿器件,本文给出了一种新型平面石墨烯纳米带隧穿场效应管的理论设计。基于石墨烯纳米带几何宽度调控禁带宽度的思想,构建"双十字形"石墨烯纳米带超晶格作为沟道,设计了石墨烯纳米带超晶格场效应管。从能带结构和传输谱上给出了该器件负微分电阻特性的理论解释,并由器件的输出特性得到了验证。在此基础上对器件的隧穿工作机理做出了探讨。该场效应管在一个器件上实现了多个负微分电阻区域,可应用于多值逻辑电路设计。 展开更多
关键词 石墨烯纳米带 场效应管 隧穿 能带结构
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基于环栅纳米线隧穿场效应晶体管的解析模型
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作者 何媛 王骏成 +1 位作者 魏康亮 刘晓彦 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期786-790,共5页
对环栅纳米线结构的隧穿场效应晶体管进行建模分析,给出电流解析模型,证明隧穿场效应管有良好的亚阈特性。研究发现,环栅纳米线隧穿场效应管的亚阈值斜率SS的大小与圆柱体硅直径dnw、环栅氧化层厚度tox以及漏电压Vdd的变化规律均成正比... 对环栅纳米线结构的隧穿场效应晶体管进行建模分析,给出电流解析模型,证明隧穿场效应管有良好的亚阈特性。研究发现,环栅纳米线隧穿场效应管的亚阈值斜率SS的大小与圆柱体硅直径dnw、环栅氧化层厚度tox以及漏电压Vdd的变化规律均成正比,即圆柱体硅直径dnw、环栅氧化层厚度tox和漏电压Vdd越小,亚阈区的性能越好。这一模型的研究为场效应晶体管在低功耗电路中的应用打下良好基础。 展开更多
关键词 隧穿晶体管 解析模型 低功耗 亚阈值斜率
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高低肖特基势垒无掺杂隧道场效应晶体管研究
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作者 李萌萌 刘溪 《微处理机》 2023年第3期39-41,共3页
基于高低肖特基势垒机理提出一种无掺杂的隧道场效应晶体管HLSB-TFET。该器件只需要一个具有独立电源的栅电极且无需掺杂。在源极与中间硅区导带之间形成高肖特基势垒,用来产生隧道效应作为正向导通机制;在漏极与中间硅区导带之间形成... 基于高低肖特基势垒机理提出一种无掺杂的隧道场效应晶体管HLSB-TFET。该器件只需要一个具有独立电源的栅电极且无需掺杂。在源极与中间硅区导带之间形成高肖特基势垒,用来产生隧道效应作为正向导通机制;在漏极与中间硅区导带之间形成低肖特基势垒,用于防止由热离子发射引起的空穴。所提出的HLSB-TFET对空穴具有自然的阻挡效应,不会随着漏极到源极电压的增加而显著降低。经过仿真验证,该器件的亚阈值摆幅较低,反向漏电与静态功耗均较小,体现出较高的应用优势。 展开更多
关键词 肖特基势垒 双向隧道场效应晶体管 带间隧道 无掺杂器件
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一种具有方筒型栅和浮栅的可编程静电场效应晶体管
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作者 尚经国 刘溪 刘传家 《微处理机》 2021年第5期5-8,共4页
为改进可编程式静电场效应晶体管,设计一款具有方筒型栅和控浮栅的新型器件。设计通过方筒型栅的环栅结构产生带带隧穿大电流作为正向导通电流,采用金属作为电极与硅体形成高肖特基势垒从而极大降低热激发电流。硅体上方的方筒型栅极向... 为改进可编程式静电场效应晶体管,设计一款具有方筒型栅和控浮栅的新型器件。设计通过方筒型栅的环栅结构产生带带隧穿大电流作为正向导通电流,采用金属作为电极与硅体形成高肖特基势垒从而极大降低热激发电流。硅体上方的方筒型栅极向浮栅传输电荷充电,在结构上减少一个电极。充入的浮栅电荷针对N型和P型工作态都有助于降低反向漏电流,实现更低的亚阈值摆幅和反向泄露电流,以及更高的正向导通电流和开关电流比,使器件功耗大为降低。结构具有源漏对称可互换性,能够更好兼容MOSFET。 展开更多
关键词 可编程静电场效应晶体管 浮栅 方筒栅 隧穿
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非硅微电子学:锗与锗锡场效应晶体管 被引量:1
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作者 韩根全 张春福 +2 位作者 张进成 成步文 郝跃 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2016年第10期19-35,共17页
本文讨论了非硅微电子学,即在硅衬底上利用非硅沟道材料实现互补型金属氧化物半导体(Complememaw Metal Oxide Semiconductor,CMOS)集成电路的微电子科学与技术.文章重点综述了高迁移率锗与锗锡沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal ... 本文讨论了非硅微电子学,即在硅衬底上利用非硅沟道材料实现互补型金属氧化物半导体(Complememaw Metal Oxide Semiconductor,CMOS)集成电路的微电子科学与技术.文章重点综述了高迁移率锗与锗锡沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,MOSFET)以及隧穿场效应晶体管(Tunneling Field Effect Transistor,TFET)的研究进展.锗与锗锡具有比硅(Si)材料高的空穴和电子迁移率且容易实现硅衬底集成,是实现高迁移率沟道CMOS器件的理想备选材料.通过调节锡组分,锗锡材料可实现直接带隙结构,从而获得较高的带间隧穿几率,理论和实验证明可用锗锡实现高性能TFET器件.本文具体分析了锗锡MOSFETs和TFETs器件在材料生长、表面钝化、栅叠层、源漏工程、应变工程及器件可靠性等关键问题. 展开更多
关键词 锗锡 场效应晶体管 迁移率 带间隧穿
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Impact of parameter fluctuations on RF stability performance of DG tunnel FET 被引量:2
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作者 K Sivasankaran P S Mallick 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第8期78-82,共5页
This paper presents the impact of parameter fluctuation due to process variation on radio frequency (RF) stability performance of double gate tunnel FET (DG TFET). The influence of parameter fluctuation due to pro... This paper presents the impact of parameter fluctuation due to process variation on radio frequency (RF) stability performance of double gate tunnel FET (DG TFET). The influence of parameter fluctuation due to process variation leads to DG TFET performance degradation. The RF figures of merit (FoM) such as cut-off frequency (ft), maximum oscillation frequency (fmax) along with stability factor for different silicon body thickness, gate oxide thickness and gate contact alignment are obtained from extracted device parameters through numerical simulation. The impact of parameter fluctuation of silicon body thickness, gate oxide thickness and gate contact alignment was found significant and the result provides design guidelines ofDG TFET for RF applications. 展开更多
关键词 DG tunnel FET radio frequency stability factor numerical simulation
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Investigation and statistical modeling of InAs-based double gate tunnel FETs for RF performance enhancement
14
作者 S.Poorvasha B.Lakshmi 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第5期30-40,共11页
In this paper,RF performance analysis of In As-based double gate(DG)tunnel field effect transistors(TFETs)is investigated in both qualitative and quantitative fashion.This investigation is carried out by varying t... In this paper,RF performance analysis of In As-based double gate(DG)tunnel field effect transistors(TFETs)is investigated in both qualitative and quantitative fashion.This investigation is carried out by varying the geometrical and doping parameters of TFETs to extract various RF parameters,unity gain cut-off frequency(f_t),maximum oscillation frequency(f_(max)),intrinsic gain and admittance(Y)parameters.An asymmetric gate oxide is introduced in the gate-drain overlap and compared with that of DG TFETs.Higher ON-current(ION)of about 0.2 mA and less leakage current(IOFF)of 29 f A is achieved for DG TFET with gate-drain overlap.Due to increase in transconductance(g_m),higher ft and intrinsic gain is attained for DG TFET with gate-drain overlap.Higher f_(max) of 985 GHz is obtained for drain doping of 5×10^(17)cm^(-3) because of the reduced gate-drain capacitance(C_(gd))with DG TFET with gate-drain overlap.In terms of Y-parameters,gate oxide thickness variation offers better performance due to the reduced values of Cgd.A second order numerical polynomial model is generated for all the RF responses as a function of geometrical and doping parameters.The simulation results are compared with this numerical model where the predicted values match with the simulated values. 展开更多
关键词 double gate tunnel FETs gate-drain overlap unity gain cut-off frequency maximum oscillation frequency Y-parameters modeling
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Design and simulation of nanoscale double-gate TFET/tunnel CNTFET
15
作者 Shashi Bala Mamta Khosla 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第4期34-38,共5页
A double-gate tunnel field-effect transistor (DG tunnel FET) has been designed and investigated for various channel materials such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), alminium gallium arsenide (A1xGa1-xAs... A double-gate tunnel field-effect transistor (DG tunnel FET) has been designed and investigated for various channel materials such as silicon (Si), gallium arsenide (GaAs), alminium gallium arsenide (A1xGa1-xAs) and CNT using a nano ViDES Device and TCAD SILVACO ATLAS simulator. The proposed devices are com- pared on the basis of inverse subthreshold slope (SS), ION/IoFF current ratio and leakage current. Using Si as the channel material limits the property to reduce leakage current with scaling of channel, whereas the A1xGa1-xAs based DG tunnel FET provides a better ION/IOFF current ratio (2.51 × 10^6) as compared to other devices keeping the leakage current within permissible limits. The performed silmulation of the CNT based channel in the double-gate tunnel field-effect transistor using the nano ViDES shows better performace for a sub-threshold slope of 29.4 mV/dec as the channel is scaled down. The proposed work shows the potential of the CNT channel based DG tunnel FET as a futuristic device for better switching and high retention time, which makes it suitable for memory based circuits. 展开更多
关键词 band-to-band tunneling (BTBT) double gate (DG) silicon (Si) gallium arsenide (GaAs) aluminum gallium arsenide (AlxGa1 xAs) tunnel field effect transistor (FET) carbon nanotube (CNT)
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