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两类无油超高真空系统的实验方法
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作者 任多敏 谢 宁 《物理实验》 北大核心 2001年第12期13-15,共3页
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍，并对它们相关的特性进行了讨论．
关键词 涡轮分子泵 溅射离子泵 无油超高真空系统 结构 实验方法
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