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涡轮分子泵电源原理及维修方法探讨
被引量:
1
1
作者
刘文贵
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期78-80,共3页
本文简述BALZERS公司生产的涡轮分子泵电源的工作原理和工作过程,绘出了重要工作点的波形并给出了工作参数,根据作者的实践对电源的维修和改进提出了方案供探讨。
关键词
涡轮分子泵
电源
维修
质谱仪
下载PDF
职称材料
题名
涡轮分子泵电源原理及维修方法探讨
被引量:
1
1
作者
刘文贵
机构
地矿部宜昌地矿研究所
出处
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期78-80,共3页
文摘
本文简述BALZERS公司生产的涡轮分子泵电源的工作原理和工作过程,绘出了重要工作点的波形并给出了工作参数,根据作者的实践对电源的维修和改进提出了方案供探讨。
关键词
涡轮分子泵
电源
维修
质谱仪
Keywords
turbomlecular pump
maintenance
procedure
分类号
O657.6 [理学—分析化学]
下载PDF
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
涡轮分子泵电源原理及维修方法探讨
刘文贵
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
1996
1
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