IC硅片纳米级抛光机专家控制技术的研究

本文介绍了自行设计的智能型纳米级抛光机的智能控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了智能控制系统的组成,提出并建立了基于专家控制系统的解决方案。采用W indows CE软件平台,图形化界面功能指示,以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合R ISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电机驱动等技术,试验结果表明可以实现对抛光机的智能控制。