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Comparative Study of Structural, Optical and Electrical Properties of SnO<sub>2</sub>Thin Film Growth via CBD, Drop-Cast and Dip-Coating Methods
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作者 Md. Tareq Rahman Zubair Ahmed +6 位作者 Md. Johurul Islam Kamaruzzaman Mst. Toma Khatun Md. Abdul Gafur Md. Shahriar Bashar Md. Monjarul Alam 《Materials Sciences and Applications》 2021年第12期578-594,共17页
Tin oxide (SnO<sub>2</sub>) thin films were deposited on glass substrate by Chemical Bath Deposition (CBD), Drop-Cast and Dip-Coating method. The thin films were post-annealed at 500&deg;C for 2 hours.... Tin oxide (SnO<sub>2</sub>) thin films were deposited on glass substrate by Chemical Bath Deposition (CBD), Drop-Cast and Dip-Coating method. The thin films were post-annealed at 500&deg;C for 2 hours. The structural, optical, and electrical properties of the SnO<sub>2</sub> thin films were investigated by using XRD, FTIR, SEM, EDX, UV-Vis spectroscopy, and Electrometer experiment. The XRD patterns of SnO<sub>2</sub> thin films deposited on glass substrate by CBD method, Drop-Cast method and Dip-Coating method showed cubic, tetragonal and amorphous structures respectively. The FTIR spectrum exhibited the strong presence of SnO<sub>2</sub> with the characteristic vibrational mode of Sn-O-Sn. The SEM analysis was observed that the surface morphology of the thin films toughly depends on the deposition methods of the SnO<sub>2</sub> thin films. EDX measurement confirmed that the thin films are the composition of Tin (Sn) and Oxygen (O<sub>2</sub>). The optical band gap of SnO<sub>2 </sub>thin films deposited by CBD method, Drop-Cast method and Dip-Coating method is found to be 3.12 eV, 3.14 eV and 3.16 eV respectively. Thin films deposited by Dip-Coating method showed the highest band gap. The electrical results confirmed that the SnO<sub>2</sub> thin films are good conductors and pursued Ohm’s Law. These properties of the SnO<sub>2</sub> thin films brand are appropriate for application in solar cell assembly, gas sensor devices and transparent electrodes of panel displays. 展开更多
关键词 sno2 Thin film CBD Drop-Cast and Dip-Coating method Electrical
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SnO_2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能 被引量:8
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作者 赵杰 赵经贵 +3 位作者 高山 霍丽华 王海水 席时权 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期122-125,共4页
以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增... 以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0~ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。 展开更多
关键词 sno2 薄膜 溶胶-凝胶法 气敏性能
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Sol-Gel法制备低阻SnO_2薄膜 被引量:8
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作者 李爱武 全宝富 +1 位作者 刘凤敏 陈丽华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期645-646,648,共3页
采用sol gel法制备了SnO2 薄膜。研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响。利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸。利用这种低阻SnO2 薄膜制作的热线型气敏元件对H2
关键词 SOL-GEL法 气敏特性 二氧化锡薄膜 气敏材料
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SnO_2:Sb薄膜的制备和光致发光性质 被引量:4
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作者 王玉恒 马瑾 +3 位作者 计峰 余旭浒 张锡健 马洪磊 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期922-926,共5页
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2 晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外紫光发... 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出SnO2∶Sb薄膜.制备样品为多晶薄膜,具有纯氧化锡的四方金红石结构和(110)择优取向,Sb离子以替位式掺杂的形式存在于SnO2 晶格中.室温条件下对样品进行光致发光测量,在392nm附近观测到强的紫外紫光发射,发射强度随制备功率的增加而增强,且样品退火后发射强度也明显增强.紫外紫光发射的起源被归于由Sb形成的施主能级和受主能级之间的电子跃迁. 展开更多
关键词 sno2:Sb薄膜 射频磁控溅射 光致发光
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低温制备透明SnO_2:F薄膜的光电性研究 被引量:3
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作者 雷智 冯良桓 +8 位作者 张静全 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 李卫 武莉莉 黎兵 夏庚培 鄢强 《光电子技术》 CAS 2004年第1期4-7,20,共5页
Sn O2 :F透明导电薄膜是一种广泛用于显示技术和能量转换技术的重要材料。本文在超声喷雾热解成膜技术基础上 ,对沉积装置进行了改进 ,同时对反应液配方进行了优化 ,在较低温度制备出透明 Sn O2 :F导电薄膜。用 XRD、UV/Vis、SEM、原子... Sn O2 :F透明导电薄膜是一种广泛用于显示技术和能量转换技术的重要材料。本文在超声喷雾热解成膜技术基础上 ,对沉积装置进行了改进 ,同时对反应液配方进行了优化 ,在较低温度制备出透明 Sn O2 :F导电薄膜。用 XRD、UV/Vis、SEM、原子力显微镜分析测试方法对沉积薄膜的结构、形貌和光学、电学性质进行了研究。结果表明 ,在 360°C沉积温度下制备的 Sn O2 :F薄膜 ,其方块电阻为 4.7Ω,( 2 0 0 )面择优取向明显 ,薄膜晶粒均匀 ,表面形貌有所改善 ,透明度有所提高。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 超声喷雾热解成膜 低温制备 sno2:F 透明度
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超声喷雾法制备SnO_2:F薄膜及其性能研究 被引量:10
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作者 施卫 李琦 《西安理工大学学报》 CAS 1998年第1期56-60,共5页
用超声喷雾热解淀积技术制备了SnO2F透明导电薄膜,其电阻率达4×10-4Ωcm,可见光透过率达91%。研究了衬底温度、F/Sn比例对SnO2F薄膜光电特性的影响。XRD分析及SEM观察表明,SnO2F薄膜为多晶... 用超声喷雾热解淀积技术制备了SnO2F透明导电薄膜,其电阻率达4×10-4Ωcm,可见光透过率达91%。研究了衬底温度、F/Sn比例对SnO2F薄膜光电特性的影响。XRD分析及SEM观察表明,SnO2F薄膜为多晶结构,平均粒径约50nm。对超声雾化及淀积原理进行了分析,由于溶液的超声雾化微粒均匀性好,载气流量与溶液雾化微粒线度无关,使得超声雾化热解淀积工艺控制相对容易,热解反应类型大多为化学气相淀积,所制备薄膜的均匀性和重复性良好。 展开更多
关键词 薄膜 超声雾化 热解淀积 二氧化锡
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SnO_2∶Fe_2O_3混合薄膜的制备及其在丙酮蒸汽中的反射光谱 被引量:1
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作者 郑顺镟 庄中禄 郭斯淦 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期365-368,共4页
以SnCl4·5H2O,FeCl3·6H2O及无水乙醇为主要原料,采用溶胶凝胶法制备了SnO2∶Fe2O3混合薄膜,测量并研究了其在可见光区附近的丙酮气敏反射光谱。
关键词 溶胶-凝胶法 气敏反射光谱 半导体薄膜技术
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用喷涂法和溶胶-凝胶工艺制备PT/SnO_2(Sb)/SiO_2薄膜 被引量:1
8
作者 王世敏 王龙海 《湖北大学学报(自然科学版)》 CAS 1997年第3期233-235,共3页
用喷涂法在石英玻璃衬底上制备RS为100~200Ω/cm2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(PT)薄膜.PT膜为多晶,与SnO2(Sb... 用喷涂法在石英玻璃衬底上制备RS为100~200Ω/cm2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(PT)薄膜.PT膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应. 展开更多
关键词 喷涂法 氧化锡 钛酸铅 薄膜 溶胶-凝胶法
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Sol-Gel法制备SnO_2纳米晶薄膜 被引量:8
9
作者 向思清 索辉 +4 位作者 阮圣平 朱玉梅 刘冰冰 全宝富 徐宝琨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B05期72-73,共2页
以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。
关键词 SOL-GEL法 纳米晶薄膜 sno2 制备
全文增补中
溶胶-凝胶法制备的SnO_2薄膜气敏特性研究 被引量:1
10
作者 高胜国 詹自力 +2 位作者 钟克创 尚中锋 彭春红 《郑州轻工业学院学报(自然科学版)》 CAS 2002年第4期11-13,共3页
以SnCl4 ·5H2 O为原料、用Sol gel法制备出了SnO2 薄膜 ,并对该薄膜的气敏特性进行了测试 .结果表明 ,SnO2 薄膜低温下对乙醇气体有较高的灵敏度和较快的响应恢复时间 ,且长期稳定性较好 .
关键词 气敏特性 溶胶-凝胶法 sno2薄膜 气敏元件 气敏材料
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The effect of the film thickness and doping content of SnO2:F thin films prepared by the ultrasonic spray method
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作者 Achour Rahal Said Benramache Boubaker Benhaoua 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第9期21-25,共5页
This paper reports on the effects of film thickness and doping content on the optical and electrical properties of fluorine-doped tin oxide. Tin (Ⅱ) chloride dehydrate, ammonium fluoride dehydrate, ethanol and HC1 ... This paper reports on the effects of film thickness and doping content on the optical and electrical properties of fluorine-doped tin oxide. Tin (Ⅱ) chloride dehydrate, ammonium fluoride dehydrate, ethanol and HC1 were used as the starting materials, dopant source, solvent and stabilizer, respectively. The doped films were deposited on a glass substrate at different concentrations varying between 0 and 5 wt% using an ultrasonic spray technique. The SnO2:F thin films were deposited at a 350 ℃ pending time (5, 15, 60 and 90 s). The average transmission was about 80%, and the films were thus transparent in the visible region. The optical energy gap of the doped films with 2.5 wt% F was found to increase from 3.47 to 3.89 eV with increasing film thickness, and increased after doping at 5 wt%. The decrease in the Urbach energy of the SnO2:F thin films indicated a decrease in the defects. The increase in the electrical conductivity of the films reached maximum values of 278.9 and 281.9 (Ω.cm)-1 for 2.5 and 5 wt% F, respectively, indicating that the films exhibited an n-type semiconducting nature. A systematic study on the influence of film thickness and doping content on the properties of SnO2:F thin films deposited by ultrasonic spray was reported. 展开更多
关键词 sno2 FLUORIDE thin film film thickness TCO ultrasonic spray technique
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静电场对超声雾化热解喷涂制备TiO_(2)薄膜的影响研究
12
作者 李冬梅 周俊 +3 位作者 吴非凡 吕家波 肖黎 龚恒翔 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第12期2173-2180,共8页
基于自主搭建的超声雾化热解喷涂装置进行静电场作用耦合,通过在反应沉积腔体的上、下壁面间施加非匀强电场,探究了形成静电场所施加的直流电压对喷涂TiO_(2)薄膜结构与性能的影响。电场作用下雾滴颗粒被极化并获得垂直衬底表面的动量,... 基于自主搭建的超声雾化热解喷涂装置进行静电场作用耦合,通过在反应沉积腔体的上、下壁面间施加非匀强电场,探究了形成静电场所施加的直流电压对喷涂TiO_(2)薄膜结构与性能的影响。电场作用下雾滴颗粒被极化并获得垂直衬底表面的动量,克服了热泳力作用的影响,提高了钛源前驱体在衬底表面的附着效率,同时增强了薄膜结晶性能及成膜均匀性。结果表明,当加载电压为1.0 kV时,获得了优化锐钛矿相TiO_(2)薄膜,其(101)晶面半峰全宽为0.29°,平均晶粒尺寸达到94.19 nm,可见光区平均透过率为85%,表面粗糙度为16.70 nm。通过静电场的施加,调控了衬底近表面处入射粒子的动量,构建了更有利于TiO_(2)薄膜生长的稳定环境,为TiO_(2)薄膜制备工艺的优化提供了参考。 展开更多
关键词 TiO_(2)薄膜 超声雾化热解喷涂 热泳力 静电场 晶体生长
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超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2薄膜的气敏特性研究 被引量:2
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作者 冯庆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期385-389,共5页
运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现,纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下... 运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现,纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下对O2的传感性也较弱,而通过超声雾化分解法制备的掺杂TiO2薄膜工作温度明显降低到300℃,传感灵敏度极大提高,响应时间缩短,并且超声雾化分解法制备比电子束蒸发注入的传感薄膜具有更好的气敏传感特性。 展开更多
关键词 超声雾化热分解法 电子束蒸发 气敏传感器 TIO2 薄膜
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Synthesis of Cr-Al_2O_3 Cermet Selective Surfaces Coated by SnO_2 Thin Film by Air Plasma Spraying 被引量:1
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作者 Zhu Zhenqi,Cheng Xudong,Li Guanglei School of Materials Science and Technology,Wuhan University of Technology,Wuhan 430070,China 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期272-275,共4页
High efficient Cr-Al2O3 cermet selective surfaces coated by sol-gel SnO2 thin film for high-temperature application were synthesized by air plasma spraying(APS),followed further heat and polish treatment.The phase com... High efficient Cr-Al2O3 cermet selective surfaces coated by sol-gel SnO2 thin film for high-temperature application were synthesized by air plasma spraying(APS),followed further heat and polish treatment.The phase composition and micro morphology of coating samples were characterized by X-ray diffractions(XRD),scanning electron microscope(SEM)and roughmeter respectively.The solar absorptance(α)and thermal emittance(ε)were determined by optical spectrum instrument.The results show that Cr-Al2O3 cermet coating has a high absorptivity nearly 0.90.But unfortunately,the emissivity of these coatings is nearly 0.50 because of the big thickness and coarse surface prepared by APS technique.However,once coated SnO2 thin film,the composite coatings exhibit excellent selective absorbing property of α=0.89 and ε=0.12.Thus,SnO2 thin film plays a significant role in decreasing the emissivity of coatings as antireflection layer.And furthermore,the optical performance shows that more metal content and smooth surface are favorable for the selective absorbing property.Moreover,the coatings have excellent bond strength with stainless steel substrate and thermal shock resistance at high temperature. 展开更多
关键词 SELECTIVE SURFACES sno2 thin film air plasma spraying
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响应面法优化T-2毒素脂质体处方及其抗肿瘤活性 被引量:3
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作者 董媛 张馨月 +5 位作者 李玉杰 李雅雅 王虹霞 潘娅楠 梁兰馨 王会岩 《吉林大学学报(理学版)》 CAS 北大核心 2019年第1期171-176,共6页
用薄膜超声法制备T-2毒素脂质体(LP-T2),用高效液相色谱(HPLC)法测定包封率,并考察测定方法的线性、加样回收率、精密度和重复性;用单因素法考察有机溶剂、磷脂种类、m(药)∶m(脂)、水合体积、m(磷脂)∶m(胆固醇)对包封率的影响及响应... 用薄膜超声法制备T-2毒素脂质体(LP-T2),用高效液相色谱(HPLC)法测定包封率,并考察测定方法的线性、加样回收率、精密度和重复性;用单因素法考察有机溶剂、磷脂种类、m(药)∶m(脂)、水合体积、m(磷脂)∶m(胆固醇)对包封率的影响及响应面法优化处方;用高压均质法对脂质体整粒,并测定粒径分布;用噻唑蓝(MTT)法检测T-2毒素和LPT2对5种肿瘤细胞和正常细胞的生长抑制作用.结果表明:LP-T2最佳制备工艺为以蛋黄卵磷脂(EPC)为膜材,薄膜超声法制备,m(药)∶m(脂)=3.5,m(磷脂)∶m(胆固醇)=3.74,4-羟乙基哌嗪乙磺酸(Hepes,20mmol/L,pH=7.4)水合,水合体积11.8mL,超声10min;高压均质整粒后平均粒径为267nm;LP-T2可显著抑制肿瘤细胞的增殖,活性与丝裂霉素相当,对正常细胞的IC_(50)值(1 881.54ng/mL)高于T-2毒素(1 427.83ng/mL),即毒副作用减小;LP-T2的包封率和粒径均符合药剂标准,具有体外抗肿瘤活性. 展开更多
关键词 T-2毒素 脂质体 薄膜超声法 响应面法 抗肿瘤活性
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硒化温度对Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜性能影响的研究
16
作者 赵毅杰 盛钦阳 +3 位作者 唐正霞 胡瑶瑶 崔杨丽 王威 《金陵科技学院学报》 2022年第4期80-85,共6页
为了探索环保低成本的薄膜太阳电池吸收层材料的制备工艺,以水为前驱体溶剂,采用喷雾热解法制备Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜,研究硒化温度对薄膜的物相结构、微观形貌、光学性能和光电化学性能的影响。结果表明随着硒化温度的升高,薄膜的结晶... 为了探索环保低成本的薄膜太阳电池吸收层材料的制备工艺,以水为前驱体溶剂,采用喷雾热解法制备Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜,研究硒化温度对薄膜的物相结构、微观形貌、光学性能和光电化学性能的影响。结果表明随着硒化温度的升高,薄膜的结晶度提高,Sb_(2)(S,Se)_(3)的带隙值从1.74 eV降低到1.56 eV。硒化温度300℃时的薄膜较其他硒化温度下的薄膜具有更强的光电流响应。 展开更多
关键词 喷雾热解法 Sb_(2)(S Se)_(3)薄膜 硒化温度 光电性能
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超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响 被引量:6
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作者 刘敏 索红莉 +3 位作者 赵跃 张迎肖 刘丹敏 周美玲 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期377-380,共4页
用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBC... 用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致.于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A/cm2的YBCO超导薄膜. 展开更多
关键词 涂层超导 YBCO薄膜 织构Ag基底 超声雾化热分解方法
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超声喷雾法工艺及薄膜性能研究 被引量:5
18
作者 殷顺湖 王民权 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期402-404,共3页
研究了超声喷雾法制备工艺对膜性能影响的关系,初步探讨了该方法的适用范围,以SnO2为例研究了成膜动力学,为该方法适用化提供了依据。
关键词 超声喷雾法 二氧化锡 薄膜
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ZnO膜制备及性能研究 被引量:4
19
作者 殷顺湖 王民权 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期60-62,65,共4页
首次用超声喷雾法制备ZnO膜,研究了溶液组成等对成膜速度的影响,探讨了Al离子掺杂等因素对膜电性能的影响关系。
关键词 超声喷雾法 铝离子掺杂 氧化锌膜 薄膜
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超声喷雾方法制备低辐射玻璃
20
作者 陈红 高锦岳 +1 位作者 温津 周大凡 《物理实验》 北大核心 2004年第12期16-19,共4页
利用超声喷雾方法在玻璃基板上喷涂SnO2 :F薄膜 ,制备了低辐射玻璃 (Low E玻璃 ) .通过光谱测量 ,得到其可见光透过率为 85 %以上 ,在近红外波段出现高反射 .利用四探针测量仪 ,测量其面电阻在 2Ω/cm2 以下 .扫描电镜测量结果表明膜的... 利用超声喷雾方法在玻璃基板上喷涂SnO2 :F薄膜 ,制备了低辐射玻璃 (Low E玻璃 ) .通过光谱测量 ,得到其可见光透过率为 85 %以上 ,在近红外波段出现高反射 .利用四探针测量仪 ,测量其面电阻在 2Ω/cm2 以下 .扫描电镜测量结果表明膜的均匀性较好 ,平均颗粒直径约在 5 0nm .利用等离子体截止波长理论 ,解释了低辐射玻璃红外反射的物理机制 . 展开更多
关键词 超声喷雾热解法 sno2:F薄膜 低辐射玻璃
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