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纳米TiN颗粒在真空电弧反应中沉降的临界条件及其表征
被引量:
1
1
作者
曾鹏
胡社军
+2 位作者
谢光荣
黄拿灿
吴起白
《真空》
CAS
北大核心
2000年第6期12-15,共4页
研究了在真空电弧镀膜设备中产生纳米 Ti N颗粒沉降的临界条件。结果表明 ,当真空度P>8.7× 10 - 1 Pa,即 Knudsen数 Kn>110时 ,工作台中心几乎不能沉积 Ti N薄膜 ,而在真空反应气氛中有大量纳米 Ti N颗粒形成。增大反应气体...
研究了在真空电弧镀膜设备中产生纳米 Ti N颗粒沉降的临界条件。结果表明 ,当真空度P>8.7× 10 - 1 Pa,即 Knudsen数 Kn>110时 ,工作台中心几乎不能沉积 Ti N薄膜 ,而在真空反应气氛中有大量纳米 Ti N颗粒形成。增大反应气体的压力和提高负偏压 ,都可以进一步细化 Ti N颗粒。用 SEM和 XRD等测试方法对颗粒的形貌及结构进行了研究 ,在实验条件下纳米 Ti N颗粒的平均尺寸为 2 8~ 35 nm,其中有少量的
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关键词
纳米颗粒
氮化钛
真空弧镀膜
表征
不锈钢
下载PDF
职称材料
题名
纳米TiN颗粒在真空电弧反应中沉降的临界条件及其表征
被引量:
1
1
作者
曾鹏
胡社军
谢光荣
黄拿灿
吴起白
机构
广东工业大学机械工程系
出处
《真空》
CAS
北大核心
2000年第6期12-15,共4页
基金
广东省高教厅科学基金项目! (970 0 32 )
文摘
研究了在真空电弧镀膜设备中产生纳米 Ti N颗粒沉降的临界条件。结果表明 ,当真空度P>8.7× 10 - 1 Pa,即 Knudsen数 Kn>110时 ,工作台中心几乎不能沉积 Ti N薄膜 ,而在真空反应气氛中有大量纳米 Ti N颗粒形成。增大反应气体的压力和提高负偏压 ,都可以进一步细化 Ti N颗粒。用 SEM和 XRD等测试方法对颗粒的形貌及结构进行了研究 ,在实验条件下纳米 Ti N颗粒的平均尺寸为 2 8~ 35 nm,其中有少量的
关键词
纳米颗粒
氮化钛
真空弧镀膜
表征
不锈钢
Keywords
vacuum arc reaction
TiN
nanograin
vacuum
bias volt
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米TiN颗粒在真空电弧反应中沉降的临界条件及其表征
曾鹏
胡社军
谢光荣
黄拿灿
吴起白
《真空》
CAS
北大核心
2000
1
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职称材料
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