基于洁净真空的半导体测试设备的研发

半导体设备的洁净度对器件性能极为重要,真空环境下悬浮颗粒和残余气体含量低,更接近于真正的清洁真空。洁净真空环境的获得与保持是半导体工业生产的关键,涉及多种学科和技术。本文从腔室材料选择、腔室设计和制造、内表面清洗和检测技术、包装和转运等方面详细介绍了洁净真空系统工艺设备的研制过程。所研发的设备在带载情况下可快速获得1×10^(-4)Pa工作真空度,残余气体和颗粒度指标均满足工艺要求。

考虑风载因素的玻璃幕墙清洁机器人设计

围绕高楼玻璃幕墙机器人自动清洁中的风载问题,设计了一款考虑风载因素的真空吸盘吸附的框架式爬壁机器人。针对玻璃幕墙清洁机器人的框架式结构进行步态规划。基于空间力学理论建立了玻璃幕墙清洁机器人在风载下的力学平衡模型,得到了风载大小与机器人吸盘吸附力之间的力平衡方程。在Workbench中对风载作用下的清洗机器人本体进行了有限元分析,得到了机器人模型的应力云图与变形云图。实验测试结果表明:在极限风载作用下,机器人的最大应力点位于吸盘支架,最大变形点位于主架板中心。在真实风载下对机器人进行攀爬运动仿真分析,机器人可以在极限风载下稳定地工作,不会发生滑移和倾覆,验证了力学模型和设计模型的正确性。

集成电路微组装用环氧粘接胶树脂析出及控制研究

环氧粘接胶常用作集成电路粘接材料。在其固化过程中,经常观察到树脂析出现象。树脂析出物会沾污键合区,带来键合可靠性问题。本文利用接触角的方法研究了树脂析出的机理,讨论了基板粗糙度和树脂析出的关系,初步得出真空烘培对于树脂析出有较大影响,而基板粗糙度和树脂析出的严重程度无必然关联。

AlGaAs光电阴极表面清洗技术研究

针对高Al组分AlGaAs光电阴极设计了不同清洗方法,通过XPS对不同清洗条件下的材料表面元素成分进行了测试分析,并结合SEM和高倍显微镜对光电阴极材料表面缺陷进行了分析研究。在超高真空腔体中进行了透射式AlGaAs光电阴极及其像增强管的制备,测试了器件的光谱响应曲线和图像质量。结果表明,采用H_(2)SO_(4)/H_(2)O_(2)/H_(2)O溶液和HCl/H_(2)O溶液的化学清洗工艺,结合等离子体物理清洗工艺,可有效去除AlGaAs表面的氧化物、有机颗粒和杂质C,提升器件的光谱灵敏度和图像质量。

Methods for Increasing the Efficiency of Cleaning the Transfer Device

The article improves the quality of raw cotton by creating a new transfer device structure for the transportation of cotton in long-distance riots, located in the main building of the ginnery. Both foreign and domestic separator cleaners have been studied. Experiments were carried out on prototype transfer device and the results were obtained. The cleaning efficiency was determined by sampling the cotton entering the separator in the moving device and exiting after the inclined vibrating mesh surface installed after the separator.

环保型真空清洗技术在热处理中的应用

清洗是零件热处理前和热处理后必不可少的一道辅助工序,航空领域对零件的热处理质量要求更为严格,热处理清洗的效果好坏会直接影响到零件的使用性能、质量、寿命以及一致性与可靠性等。针对传统清洗工艺清洗效果差、污染环境和危害人身安全等问题,环保型有机溶剂真空清洗技术采用洗净能力强且可循环再生的碳氢溶剂/改性醇作为清洗剂,结合真空清洗和超声清洗,可提高零件表面质量,提升清洗效率,减少污染物排放,实现绿色高效清洗。

炼厂原油掺炼清罐油存在的问题及思考

针对炼厂回炼清罐油时常见电脱盐罐电流波动的问题,对清罐油预处理、一级电脱盐罐运行状况实地考察并进行了优化调整。结果表明,阻止原油形成稳定的乳状液是核心问题,在清罐油净化过程中不加聚合氯化铝和聚丙烯酰胺这类絮凝剂,避免与原油形成稳定乳状液;控制脱前原油铁含量在0~5 mg/kg,抑制铁离子增加原油乳状液的稳定性和电导率;提前将破乳剂的注入量提至10~15 g/t;日检电脱盐罐乳化层情况并及时排尽。通过以上措施,常减压装置持续回炼清灌油139 d,一级电脱盐罐电流未出现波动,含盐污水环保排放指标合格。

歧化装置反应进料板式换热器清洗及烧焦实践总结

某歧化装置反应进料板式换热器经过多个周期的运行后,板片两侧结垢,换热效率大大下降,燃料气消耗量异常增加。板式换热器冷端压力降达到设计限值的98%,无法继续提高装置负荷,严重制约了装置的长周期稳定运行。为降低板式换热器压力降、恢复其换热效率,有必要对其进行清洗或烧焦。文中介绍了一种碱洗、漂洗及可控燃烧除焦的处理技术,通过化学清洗除去了歧化装置反应进料换热器内存在的盐类,避免了烧焦和开盖内部检查过程中可能出现的腐蚀风险。烧焦过程中通过通入较低浓度的空气来控制烧焦的强度,实现板式换热器内部除焦。处理后,板式换热器在相同负荷下的冷端压力降由188 kPa下降至45 kPa,热端温差由51.9℃下降至31.0℃,反应加热炉燃料气消耗下降50%以上,降低了装置能耗,消除了装置运行瓶颈。

高铁无砟轨道线路清洁技术

为解决无砟轨道存在的污物人工清理劳动强度大、清理效率低、作业环境差的问题,结合无砟轨道特点,深入研究高压水射流、毛刷滚刷、真空吸污以及除尘降尘等轨道清洁技术,提出一种高铁无砟轨道线路清洁车方案,通过冲扫吸结合的柔性技术路线,实现无砟轨道线路清洁机械化清理,完全或部分替代人工,进而提高高铁无砟轨道线路清洁的效率。

混合集成电路元器件的黏接渗胶问题研究

混合集成电路通过黏接剂实现元器件与基板的连接。但该过程中存在渗胶问题,即黏接剂中的相关组分溢流至引线框架的键合区,导致键合丝的键合强度下降或无法键合,从而引起电路连接问题。研究厚膜多层基板和白陶瓷基板在黏接工艺中的渗胶问题,揭示了渗胶现象与残留在气相清洗液中的助焊剂之间的关联规律,并提出了1种能够有效改善黏接剂渗胶程度的工艺措施,进而解决混合集成电路黏接工艺的渗胶问题。

凝汽器在线清洗和加药除贝装置在海水冷却机组中的应用

凝汽器是火电机组重要的换热设备,凝汽器真空是衡量煤电机组性能的关键指标,凝汽器管内清洁度是影响凝汽器真空的重要因素。海水冷却凝汽器易因海生物贝类的滋生蔓延而影响换热效果。基于此,介绍了一种新型的加药除贝装置,能够在线清洗时快速除去管内贝类,提高凝汽器管内清洁度,降低汽轮机热耗,维持机组理想真空,降低煤耗,达到了节能减排、环保经济的综合目的。

真空灭弧室新型清洁工艺的研究

文章针对真空灭弧室用拨片焊接波纹管,使用传统酸洗工艺无法清洁,提出激光和等离子清洁两种新型清洁工艺,并通过相关试验验证,最终解决了拨片焊接波纹管清洁问题。

卷边吸尘口流场特性研究

真空吸尘式清扫车是一种利用负压工作的新型清扫车辆。吸尘口是其气路系统的关键部件,对整台清扫车的吸尘能力、吸尘效率以及工作可靠性等各方面有着决定重要的影响。以吸尘口为研究对象,采用UG软件建立吸尘口的三维模型,使用Gambit软件进行网格离散,运用Fluent软件进行流场分析,对不同的卷边吸尘口进行吸尘效果的对比研究,设计出了一种前曲面挡板的吸尘口,并进行了气固两相流的运动仿真验证。研究表明:前宽后窄、带有前曲面挡板的吸尘口具有良好的吸尘效果。

运行参数变化对凝汽器真空影响的探讨

通过对N-16000-I型表面式凝汽器的数值模拟试验,定量地分析了其主要运行参数(冷却水流量、冷却水初温、热负荷、清洁系数等)变化对凝汽器真空产生的影响,所得结论为运行管理人员快速找出真空下降的原因提供了依据。

数字化电厂真空清扫系统设计研究

针对燃煤火力发电厂真空清扫系统构成复杂、接口多、布置环境影响因素多、管道布置空间小等特点,提出了数字化协同设计方法。结合工程实例,对比了传统CAD平面设计与数字化设计,结果表明:使用数字化设计能给出更加完整的布置信息,虽然增加了出图数量,但在较高的绘图效率下,工作时间反而缩短;有利于设计人员优化设计方案,提高设计水平;有利于校审人员直观地提出布置优化的审核意见,提高审核效率。

CaO坩埚的研制及其在真空熔炼超低氧钢中的应用

在真空感应炉中用w(CaO)>98％的CaO砂现场捣打成为坩埚,CaO砂的粒级配比为:4～6mm占5％～10％,1～4mm占40％～50％,<1mm占40％～60％,加入1％～2％的硼酸和氧化铝粉为结合剂,然后在低于CaC_2形成温度(1760℃)下烧结成整体性良好的氧化钙坩埚,并在该坩埚中对铁基合金进行真空熔炼,获得氧、氮和硫的含量均低于7×10^(-6)的超级纯净钢。探讨了在氧化钙坩埚真空感应熔炼过程中钢液的脱氧和脱氮机理,指出炉衬材料的化学稳定性对真空熔炼超低氧钢起决定性作用。

蜡油加氢预处理RVHT技术开发进展及工业应用

介绍了中国石化石油化工科学研究院的蜡油加氢预处理RVHT技术开发进展及工业应用情况。RVHT技术配套加氢处理催化剂RN-32V以及RVS-420具有优异的加氢脱硫脱氮反应性能。通过个性化的催化剂级配和反应工艺参数优化,可以拓宽RVHT技术的原料油适应性。应用RVHT技术生产催化裂化进料,可有效降低催化裂化进料-催化裂化汽油硫传递系数,为生产清洁汽油创造了有利条件。

有害气体的抽除与清洁真空的获得

主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法

精密异型钛材热处理工艺研究

采用清洗—碱洗—酸洗工艺对眼镜用精密异型钛材进行真空退火前的预处理,给出了工艺控制条件并进行了讨论。对氢脆的危害进行了探讨,得出了适宜的真空退火条件。试验表明,按确定的真空退火前预处理工艺和真空退火工艺条件处理后的精密异型钛材,能够获得非常光亮的表面,满足后续加工工艺和产品质量要求。

用制冷机低温泵获得清洁无油高真空

制冷机低温泵以其抽速大和无污染的特点,在各行各业得到了广泛的应用。文章介绍了制冷机低温泵的工作原理、结构和特点,以及在国外空间环境模拟设备上的使用情况。着重介绍了自主设计生产的制冷机低温泵在国内最大的空间环境模拟设备中调试和测量的情况,为获得清洁无油高真空取得了良好的效果。