全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管

不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积。太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层。金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分。实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%。皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管。我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产。集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m。每条线日产约为1.8～2.0万支。

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求。

真空后喷涂技术及其设备

对真空喷涂的工艺特点进行了阐述,对目前国内外的真空喷涂设备的类型及结构特点进行了介绍。

一台DMD-450型真空镀膜机低能X射线的剂量水平

本文主要介绍了西北电讯工程学院一台 DMD-450型真空镀膜机低能 X 射线的辐射水平,并测算出工作条件为11kV、125mA 时,人在观察窗外7cm 处观察1h 眼晶体所受到的吸收剂量为1.78mrad。如果在观察窗处使用5mm 厚的铅玻璃,可使剂量降为本底水平。

PTZL系列真空喷涂机的开发与应用

真空后喷涂技术能满足水产饲料对高油脂喷涂的要求。介绍了PTZL系列真空喷涂机的主要结构和性能特点,及其应用和检测数据。验证结果表明,该设备喷涂均匀、油脂喷涂量涵盖范围广(1%~35%)、真空度保持性好、控制灵活、操作方便,其性能达到了较高的水平。

真空镀膜机自动控制系统的研发现状及应用研究

分析真空镀膜机自动控制系统的研发现状,探讨真空镀膜机自动控制系统的应用,通过对该系统进行动态控制来实现设备的自动化操作,从而降低企业成本,提高企业收益。

可编程序控制器在真空镀膜机上的应用

较详细地介绍了可编程序控制器(PLC)的特点,探讨了其软、硬件措施。也对PLC、继电器控制和通用系统机控制作了相互比较。并以FX2型PLC为例,介绍在真空镀膜机上的应用。

真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响

真空溅射镀膜机镀件的色差是衡量一件镀件质量好坏的重要的指标,也是评估一台设备质量的重要技术指标。影响镀件色差有多种因素,工作气体是其中一个重要因素。从真空溅射机的工作原理、工作气体对膜层的影响及试验研究入手,从气体压力和气体分布均匀性两个方面探讨了真空溅射机镀膜过程中工作气体对镀件色差的影响。为镀件色差分析、真空溅射镀膜机工作气体进气管的设计和镀件质量的提高提供了新的思路和参考。