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太阳能真空膜蒸馏和肥料汲取液正渗透处理反渗透浓水的节能性和经济性分析
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作者 刘娟 田军仓 李明 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期178-189,共12页
针对太阳能真空膜蒸馏(Solar vacuum membrane distillation,SVMD)和肥料汲取液正渗透(Fertilizer draw forward osmosis,FDFO)系统处理反渗透(Reverse osmosis,RO)浓水的试验研究较多,而对其能耗和经济性分析的较少.通过对试验规模和... 针对太阳能真空膜蒸馏(Solar vacuum membrane distillation,SVMD)和肥料汲取液正渗透(Fertilizer draw forward osmosis,FDFO)系统处理反渗透(Reverse osmosis,RO)浓水的试验研究较多,而对其能耗和经济性分析的较少.通过对试验规模和工业规模条件下2种系统的膜通量、能耗和成本进行对比分析,结果表明,在试验规模条件下,将RO浓水浓缩4倍,无辅助热源SVMD系统的膜通量为2.46 kg/(m^(2)·h),比能耗为110.6 kWh/m^(3),单位水生产成本为96.6元/m^(3);有辅助热源SVMD系统的膜通量为3.75 kg/(m^(2)·h),比能耗为230.7 kWh/m^(3),单位产水成本为13.4元/m^(3);FDFO系统的膜通量为3.62 kg/(m^(2)·h),比能耗为20.44 kWh/m^(3),单位产水成本为26.8元/m^(3).在工业化规模条件下,设计产水量均为240 m^(3)/d时,SVMD系统比能耗为12.8 kWh/m^(3),单位产水成本为10.8元/m^(3);FDFO系统比能耗为12 kWh/m^(3),单位产水成本为9.38元/m^(3).可见生产规模越大,不同系统的产水成本越小,差别也越小. 展开更多
关键词 太阳能真空膜蒸馏 肥料汲取液正渗透 反渗透浓水 经济性 节能性
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光子晶体结构生色真丝织物的制备及应用研究
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作者 向娇娇 马万彬 +5 位作者 金梦婷 张耘箫 周岚 邵建中 刘国金 柴丽琴 《丝绸》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期32-39,共8页
为实现真丝织物的结构生色,文章分别利用真空辅助过滤法和手绘法在白色真丝织物上构筑光子晶体结构。进一步探究真空辅助过滤法中微球组装液体积浓度对结构色的影响规律,分析微球在真丝织物上形成光子晶体运动机制,讨论真丝织物上光子... 为实现真丝织物的结构生色,文章分别利用真空辅助过滤法和手绘法在白色真丝织物上构筑光子晶体结构。进一步探究真空辅助过滤法中微球组装液体积浓度对结构色的影响规律,分析微球在真丝织物上形成光子晶体运动机制,讨论真丝织物上光子晶体结构色的虹彩效应,并探究手绘法在真丝织物光子晶体结构生色中的应用效果。结果表明:真空辅助过滤法中聚(苯乙烯-甲基丙烯酸),即P(St-MAA)微球组装液的体积浓度为2.4 L/m^(2)时,真丝织物的两面能同时获得光子晶体结构色,此时正反面结构色的反射率峰值在18%左右;在真空辅助过滤法中,P(St-MAA)微球在真丝织物上形成光子晶体结构的过程遵循“先反后正”堆积原则,即织物反面先形成光子晶体,随后微球进一步透过织物堆积在正面。此外,该光子晶体结构生色真丝织物的虹彩效应不明显,与常规染料或颜料着色效果接近;手绘法可以获得图案化的光子晶体生色结构,较适合于个性化加工。该研究为光子晶体结构生色在真丝织物着色中的应用提供参考。 展开更多
关键词 真丝织物 光子晶体 结构生色 真空辅助过滤法 手绘法
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封闭式负压吸引术在地震伤创面治疗中的应用 被引量:4
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作者 李云飞 李永忠 +1 位作者 Moris Topaz 罗典清 《西部医学》 2009年第2期322-323,共2页
目的探讨封闭式持续负压吸引技术在地震伤皮肤或软组织损伤创面的疗效。方法对42例地震伤中有皮肤、软组织损伤及伤口并感染的伤员采用封闭式持续负压吸引治疗,4~12d后,创面二期植皮或直接缝合伤口。结果41例创面肉芽生长新鲜,经植... 目的探讨封闭式持续负压吸引技术在地震伤皮肤或软组织损伤创面的疗效。方法对42例地震伤中有皮肤、软组织损伤及伤口并感染的伤员采用封闭式持续负压吸引治疗,4~12d后,创面二期植皮或直接缝合伤口。结果41例创面肉芽生长新鲜,经植皮或直接缝合后创面愈合,1例因骨骼外露,经钻孔再行持续负压吸引后皮瓣转移覆盖创面。结论封闭式持续负压吸引治疗对于地震伤皮肤或软组织损伤的治疗,具有使用方便,简单有效的优势。 展开更多
关键词 地震伤 创面 软组织损伤 封闭式持续负压吸引
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固-液复合法对铜/铝材料界面结合状况及导电性的影响 被引量:4
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作者 林超 竺培显 +1 位作者 周生刚 梁方 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第22期35-37,共3页
采用真空上引的固-液复合法制备块体铜/铝复合材料,借助扫描电镜、四探针法对铜/铝复合界面的组织结构及导电性能进行研究。结果表明:通过不同的工艺参数优化,最终得到在铜板预热温度200℃,铝液温度700℃时,可获得界面过渡层厚度为9.46... 采用真空上引的固-液复合法制备块体铜/铝复合材料,借助扫描电镜、四探针法对铜/铝复合界面的组织结构及导电性能进行研究。结果表明:通过不同的工艺参数优化,最终得到在铜板预热温度200℃,铝液温度700℃时,可获得界面过渡层厚度为9.46μm,界面电阻率为2.16×10-5Ω·mm的良好块体铜/铝复合材料。 展开更多
关键词 真空上引法 铝复合材料 界面 电阻率
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真空吸附成型玻璃纤维/环氧复合材料自然老化特性试验研究 被引量:4
5
作者 查友其 张颖军 《玻璃钢/复合材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期71-74,共5页
玻璃纤维增强复合材料层合板(GFRP)由于耐腐蚀性好、比刚度高、可设计性强等特性,在船海工程领域得到越来越广泛的应用,其自然老化特性也越来越受到研究者的重视。本文采用海水浸泡-阳光曝晒循环老化的方法来模拟海洋环境中复合材料的... 玻璃纤维增强复合材料层合板(GFRP)由于耐腐蚀性好、比刚度高、可设计性强等特性,在船海工程领域得到越来越广泛的应用,其自然老化特性也越来越受到研究者的重视。本文采用海水浸泡-阳光曝晒循环老化的方法来模拟海洋环境中复合材料的实际工作环境,用来评价真空吸附成型工艺高强玻璃纤维织物增强复合材料在海洋环境中的耐久性。通过武汉地区350天真空成型工艺玻璃纤维增强复合材料老化前后,对增重量变化和轴向拉伸强度、面内剪切强度、轴向压缩等基本力学性能的分析,研究了真空吸附成型工艺玻璃纤维增强复合材料在海洋环境下自然老化规律。结果表明,吸水增重率随老化时间的增加而增大直到达到饱和状态,饱和吸水增重量为0.54%;材料的3种破坏强度是由不同的材料组分控制,轴向拉伸强度下降最小,轴向压缩强度下降最大。 展开更多
关键词 复合材料 玻璃纤维 真空吸附成型 自然老化 海洋环境 力学性能
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真空拉弧起始收缩过程实验研究 被引量:2
6
作者 刘姗 袁召 +3 位作者 刘黎明 陈立学 胡斌斌 何俊佳 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期33-39,共7页
真空电弧的形态分布主导燃弧阶段等离子体分布特性,起始收缩过程的等离子体分布对成功开断有重要影响。为了研究机构运动过程中真空电弧的起始收缩特性,分析燃弧工况对收缩持续时间的影响,文中以10 kV可拆真空灭弧室为载体,建立真空电... 真空电弧的形态分布主导燃弧阶段等离子体分布特性,起始收缩过程的等离子体分布对成功开断有重要影响。为了研究机构运动过程中真空电弧的起始收缩特性,分析燃弧工况对收缩持续时间的影响,文中以10 kV可拆真空灭弧室为载体,建立真空电弧工频开断实验平台及电弧形态观测系统,通过改变灭弧室参数,结合电弧图像数字处理技术,对真空拉弧起始收缩时间进行定量分析。结果表明:起始收缩电弧的持续时间基本与电流幅值和起弧电流呈较明显正相关,与机构分闸速度呈负相关。纵向磁场对中心弧柱和边缘区域作用相反,文中利于扩散的临界磁场为60 mT,当纵向磁场小于60 mT时,收缩态电弧趋向扩散;纵向磁场大于60 mT时,收缩态持续时间增大。 展开更多
关键词 真空拉弧 纵向磁场 收缩态电弧 持续时间
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真空输纸板气体流量控制与侧规拉纸力的匹配 被引量:2
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作者 张选生 王仪明 +1 位作者 赵吉斌 施向东 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2005年第2期39-42,共4页
胶印机的输纸板是关系到胶印质量和印刷速度的重要部件,采用真空输纸板时,其气腔气体流量的控制与侧规拉纸力的匹配是个难题。利用真空输纸特性,建立输纸带透过面积的数学模型和纸张受力的分析模型。用真空输纸装置测试并分析连续输纸... 胶印机的输纸板是关系到胶印质量和印刷速度的重要部件,采用真空输纸板时,其气腔气体流量的控制与侧规拉纸力的匹配是个难题。利用真空输纸特性,建立输纸带透过面积的数学模型和纸张受力的分析模型。用真空输纸装置测试并分析连续输纸和间歇输纸时,不同速度下气腔气体流量与侧规拉纸力之间的关系。测试结果表明:气腔气体流量与气腔真空度成正比,即与侧规拉纸力大小成正比;在同样气体流量前提下,间歇输纸的侧规拉纸力比连续输纸要大。 展开更多
关键词 真空度 输纸板 拉纸力 气体流量
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复合材料褶皱夹芯结构的制备及压缩性能研究 被引量:1
8
作者 杨阳 王新筑 蹇开林 《包装工程》 CAS 北大核心 2022年第23期144-151,共8页
目的探究复合材料褶皱芯子的一次性成型工艺,并研究浸胶量对褶皱夹芯结构压缩性能的影响。方法以V型褶皱夹芯结构为研究对象,首先采用真空吸附成型工艺制备V型复合材料褶皱芯子,然后通过黏接工艺将碳纤维复合材料层合板与褶皱芯子进行复... 目的探究复合材料褶皱芯子的一次性成型工艺,并研究浸胶量对褶皱夹芯结构压缩性能的影响。方法以V型褶皱夹芯结构为研究对象,首先采用真空吸附成型工艺制备V型复合材料褶皱芯子,然后通过黏接工艺将碳纤维复合材料层合板与褶皱芯子进行复合,得到复合材料褶皱夹芯结构,最后通过实验测试,研究该结构在压缩载荷作用下的力学性能和失效模式,以及不同浸胶量对其压缩性能的影响。结果采用真空吸附成型工艺能够一次性制备出褶皱芯子,其成型精度有待提高;由压缩实验可知,褶皱夹芯结构先从壁面开始失效,后逐步扩散至棱线处,最终导致芯子的整体失效;由压缩实验测试结果可知,浸胶量(质量分数)为11%、17%、22%的褶皱夹芯结构的破坏载荷分别为362.853、420.521、471.389 N。结论采用真空吸附成型工艺可一次性成型出褶皱芯子,其制备效率较高,但存在成型尺寸精度不高问题,后续需要进一步改进;在一定范围内,复合材料褶皱夹芯结构的压缩破坏载荷与芯子的浸胶量近似成正比例线性关系。 展开更多
关键词 V型褶皱夹芯结构 真空吸附成型工艺 压缩性能 失效模式
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真空采血法对血液标本发生溶血的影响 被引量:9
9
作者 吕晶 《现代临床护理》 2009年第3期61-62,37,共3页
目的探讨不同静脉采血方法对血液标本溶血现象的影响,并总结真空采血法的护理要点及注意事项。方法将222例抢救室内需要静脉采血的患者随机分成对照组和实验组,每组各111例。对照组采用传统的一次性注射器静脉采血方法进行采血,实验组... 目的探讨不同静脉采血方法对血液标本溶血现象的影响,并总结真空采血法的护理要点及注意事项。方法将222例抢救室内需要静脉采血的患者随机分成对照组和实验组,每组各111例。对照组采用传统的一次性注射器静脉采血方法进行采血,实验组采用静脉真空采血法,即使用一次性采血针、持针器和真空试管进行采血。结果两组血液标本发生溶血情况比较,差异有统计学意义(P<0.05),其中采用真空采血法进行静脉采血时溶血率较一次性注射器静脉采血低(P<0.05)。结论采用传统的注射器静脉采血法发生溶血的机会高于真空采血法。 展开更多
关键词 静脉采血 真空采血法 溶血 护理
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真空采血技术在儿科的应用 被引量:4
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作者 张国英 张舒月 梁晓英 《天津护理》 2005年第2期68-69,共2页
目的:探讨真空采血技术在儿科中的应用效果。方法:对5 64例真空采血组和5 0 2例一次性注射器采血组的采血时间、穿刺成功率、标本合格率进行比较,并作统计学处理。结果:真空采血时间明显少于一次性注射器采血时间,且穿刺成功率和标本合... 目的:探讨真空采血技术在儿科中的应用效果。方法:对5 64例真空采血组和5 0 2例一次性注射器采血组的采血时间、穿刺成功率、标本合格率进行比较,并作统计学处理。结果:真空采血时间明显少于一次性注射器采血时间,且穿刺成功率和标本合格率高。结论:真空采血技术减少患儿痛苦,快捷简便。 展开更多
关键词 患儿 静脉采血 真空管
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带轮真空压铸模设计与制造 被引量:3
11
作者 田福祥 王名涌 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期50-51,共2页
带轮采用真空压铸工艺 ,提高了带轮铸件表面质量 ;模具的双抽芯机构减小了单方向抽芯力 ,解决了铸件变形问题。在分析了带轮零件压铸工艺性的基础上 ,论述了模具的设计要点和工作原理 ,给出了工艺参数和实用的模具结构 ,改进了模具制造... 带轮采用真空压铸工艺 ,提高了带轮铸件表面质量 ;模具的双抽芯机构减小了单方向抽芯力 ,解决了铸件变形问题。在分析了带轮零件压铸工艺性的基础上 ,论述了模具的设计要点和工作原理 ,给出了工艺参数和实用的模具结构 ,改进了模具制造工艺。 展开更多
关键词 压铸模 真空压铸 抽芯 带轮压铸
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采用电网高压母线负载电流供能的光控真空开关模块操动机构电源设计 被引量:9
12
作者 程显 廖敏夫 +2 位作者 段雄英 邹积岩 马岩 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期2073-2080,共8页
基于光控真空开关模块操动机构的需要,提出一种采用电网高压母线负载电流供能的光控真空开关模块操动机构电源技术。以此论述了操动机构电源的工作过程,进行了操动机构电源取能线圈的理论计算与电源电路拓扑结构的选型,设计了基于UC384... 基于光控真空开关模块操动机构的需要,提出一种采用电网高压母线负载电流供能的光控真空开关模块操动机构电源技术。以此论述了操动机构电源的工作过程,进行了操动机构电源取能线圈的理论计算与电源电路拓扑结构的选型,设计了基于UC3845的单端反激式开关电源的硬件电路,实现了操动机构电源的输入输出保护功能。实验证明,操动机构电源可在电网高压母线额定电流10%~120%区间稳定工作;以1个4700μF电解电容和2个2200μF电解电容为负载进行间隔30 s连续充放电104次测试,电源样机工作正常;进行电磁兼容性实验电源样机无损坏,测试结果良好。操动机构电源样机在光控真空开关模块中能可靠运行。 展开更多
关键词 真空开关 操动机构 电源 取能线圈 单端反激 电容性负载 UC3845
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难变形材料真空环境热拉深系统的开发与应用(英文) 被引量:1
13
作者 孟宝 万敏 +1 位作者 吴向东 周应科 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2012年第S2期254-260,共7页
为解决难变形材料成形过程中常温难成形、高温易氧化等难题,提出真空环境热拉深技术。在真空加热技术和变压边力拉深技术的基础上,开发针对难变形材料的真空热拉深系统,该系统由主机系统、液压系统、真空系统、加热系统、水冷系统、降... 为解决难变形材料成形过程中常温难成形、高温易氧化等难题,提出真空环境热拉深技术。在真空加热技术和变压边力拉深技术的基础上,开发针对难变形材料的真空热拉深系统,该系统由主机系统、液压系统、真空系统、加热系统、水冷系统、降温系统和计算机自动控制系统组成,并通过闭环控制技术实时调节温度、压边力和凸模速度等关键工艺参数。在温度870°C、真空度102Pa的条件下进行2.0mm厚的钼板的拉深试验,得到钼板在该条件下的极限拉深比为1.94。结果表明,真空环境热拉深技术是一种提高难变形材料成形性能和防止高温氧化的有效方法。 展开更多
关键词 钼板 热拉深 真空环境 变压边力 系统设计 难变形材料 计算机数控系统 拉深试验
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负压吸引术在慢性迁延性伤口中的疗效观察
14
作者 郭会梅 郎庆雪 +1 位作者 张肖红 常霞 《泰山医学院学报》 CAS 2003年第2期161-163,共3页
目的 探讨负压吸引术治疗迁延性伤口的临床价值。方法 对 2 8例慢性迁延性伤口 ,均采用间断性负压吸引术 ,然后常规换药 ,并观察其疗效。结果  2 8例病人中 ,2 7例顺利愈合 ,治愈率达 96 4 3%,其中伤口在 2 0天内愈合 2 1例 (75 %)... 目的 探讨负压吸引术治疗迁延性伤口的临床价值。方法 对 2 8例慢性迁延性伤口 ,均采用间断性负压吸引术 ,然后常规换药 ,并观察其疗效。结果  2 8例病人中 ,2 7例顺利愈合 ,治愈率达 96 4 3%,其中伤口在 2 0天内愈合 2 1例 (75 %)。结论 负压吸引术是治疗迁延性伤口的有效方法 ,简便易行 ,效果可靠。 展开更多
关键词 负压吸引技术 伤口 疗效
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基于Window95环境下开发的真空设备图纸管理系统
15
作者 郑文利 徐成海 +4 位作者 关奎之 张利 张世伟 胡天玉 楚志高 《真空与低温》 2000年第3期175-177,共3页
随着CAD技术的发展,在真空领域中越来越多的生产、设计部门开始运用各种CAD 软件进行本部门的真空设备的设计与开发工作,但是未能对计算机中装有CAD设计的图纸数据 (*. dwg)的磁盘进行更有效地管理。针对这种情况,... 随着CAD技术的发展,在真空领域中越来越多的生产、设计部门开始运用各种CAD 软件进行本部门的真空设备的设计与开发工作,但是未能对计算机中装有CAD设计的图纸数据 (*. dwg)的磁盘进行更有效地管理。针对这种情况,利用当今较流行的数据管理系统Access和 VB编程语言,在微机Window95环境下实现了真空设备图纸档案管理。 展开更多
关键词 真空设备 CAD软件 图纸 管理系统 WINDOWS95
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北满特钢40 t-LFV精炼炉真空系统改造 被引量:1
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作者 董伟光 王海斌 《重型机械》 2002年第4期50-53,共4页
简要介绍了西安重型机械研究所为北满特钢一电炉分厂原有 40 t-LFV设备真空系统进行改造的具体内容。改造后其真空系统不仅能满足不同钢种精炼工艺的要求 。
关键词 精炼炉 真空系统 改造 真空度 抽气时间 炼钢
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两种静脉采血方法儿科临床应用探讨
17
作者 赵燕 胡春燕 +1 位作者 胡冬云 汤增洁 《安徽卫生职业技术学院学报》 2010年第1期68-69,共2页
目的:探讨经过改良的传统一次性注射器静脉采血法与一次性真空采血系统静脉采血法的效果差异。方法:将408例住院病人常规晨间静脉采血随机分为对照组和观察组,观察两组静脉穿刺一针成功率、血液标本合格率及操作过程中血液污染情况。结... 目的:探讨经过改良的传统一次性注射器静脉采血法与一次性真空采血系统静脉采血法的效果差异。方法:将408例住院病人常规晨间静脉采血随机分为对照组和观察组,观察两组静脉穿刺一针成功率、血液标本合格率及操作过程中血液污染情况。结果:两组静脉穿刺一针成功率对比无统计学意义(P>0.05);两组血液标本质量(指无凝血、溶血、血量不足)对比无统计学意义(P>0.05);两组操作过程中血液污染情况有统计学意义(P<0.05)。结论:护士可以根据个人工作习惯选择改良的传统一次性注射器静脉采血法或者一次性真空采血系统静脉采血法,前者需加强技术操作规范,后者工作效率高,节约成本,操作过程中血液污染率低,生物安全度高,提倡临床应用。 展开更多
关键词 儿科 静脉采血 真空采血法 传统采血法
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血液标本的处理方法及放置时间对血糖检测结果的影响 被引量:5
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作者 刘才冬 《医学信息》 2011年第19期6413-6414,共2页
目的 探讨肝素抗凝全血、血浆、带分离胶真空管全血及血清放置不同时间对血糖测定结果的影响.方法 对到我院进行健康体检的80例体检者分别用肝素抗凝管和带分离胶真空管进行采血、处理,得到以下四种标准:肝素抗凝全血,肝素抗凝全血离... 目的 探讨肝素抗凝全血、血浆、带分离胶真空管全血及血清放置不同时间对血糖测定结果的影响.方法 对到我院进行健康体检的80例体检者分别用肝素抗凝管和带分离胶真空管进行采血、处理,得到以下四种标准:肝素抗凝全血,肝素抗凝全血离心后的血浆,带分离胶的真空管所抽之血(未离心),带分离胶的真空管所抽之血离心后的血清.在采样后2h、4h、6h、8h测定血糖.结果 肝素抗凝血浆及真空管分离胶血清在不同时间测定值与未离心血2h的测定值差异无显著性.未离心血随着时间延长而测定值显著下降.结论 标本采集后要及时测量,不能及时测定时,应即时分离血浆或血清,并尽早测量. 展开更多
关键词 血糖 肝素抗凝全血 肝素抗凝血浆 真空管分离胶血 真空管分离胶血清
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温度对减压侧线油的腐蚀影响
19
作者 单广斌 吕广磊 刘小辉 《石油化工腐蚀与防护》 CAS 2015年第3期48-50,共3页
采用减压侧线油,在减压釜和高压釜环境进行了腐蚀模拟试验,研究了温度对于减压侧线腐蚀的影响规律,并对侧线油中环烷酸和硫化物的热分解进行了实验研究.研究结果表明,在243 ~ 322℃时,随着温度升高,腐蚀速率增加.在350℃时,由于环烷酸... 采用减压侧线油,在减压釜和高压釜环境进行了腐蚀模拟试验,研究了温度对于减压侧线腐蚀的影响规律,并对侧线油中环烷酸和硫化物的热分解进行了实验研究.研究结果表明,在243 ~ 322℃时,随着温度升高,腐蚀速率增加.在350℃时,由于环烷酸的分解,腐蚀速率明显下降.环烷酸的热分解温度为322 ~ 325℃,硫化物的分解温度为335 ~ 350℃. 展开更多
关键词 温度 减压侧线油 腐蚀
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微系统集成大面积智能化衬底技术研究
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作者 汤玉生 凌行 +1 位作者 戴庆元 沈志广 《微细加工技术》 1999年第3期49-53,共5页
智能化衬底技术既是集成微系统的载体,也是微系统集成的手段。采用真空盒吸片技术开发了一种实用的智能化衬底技术工艺方法。真空盒吸片技术解决了芯片的初始定位(对准装片)及芯片位置和共平面性的保持,确保了可用 I C工艺完成... 智能化衬底技术既是集成微系统的载体,也是微系统集成的手段。采用真空盒吸片技术开发了一种实用的智能化衬底技术工艺方法。真空盒吸片技术解决了芯片的初始定位(对准装片)及芯片位置和共平面性的保持,确保了可用 I C工艺完成芯片间的互联。并使工艺的加工面积不受限制,且可达圆片尺度。因此,该智能化衬底技术工艺方法具有很强的实用性和很好的可靠性。 展开更多
关键词 微系统 智能化衬底 真空盒吸片技术 IC MIC
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