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控制真空镀膜蒸发速率的微处理机
被引量:
1
1
作者
张仕国
D.E.Brodie
《真空电子技术》
北大核心
1992年第5期30-34,共5页
本文报道了在本实验室制作并开始使用的控制真空蒸发速率的微处理机(单板机)。它利用石英晶体振荡器为探测器,将该振荡器随膜厚不同而频率变化的交流信号反馈到微中心处理器。中心处理器将这交流信号和预期的蒸发速率比较,利用其差去控...
本文报道了在本实验室制作并开始使用的控制真空蒸发速率的微处理机(单板机)。它利用石英晶体振荡器为探测器,将该振荡器随膜厚不同而频率变化的交流信号反馈到微中心处理器。中心处理器将这交流信号和预期的蒸发速率比较,利用其差去控制给蒸发源的功率。该处理机具有结构简单、制作容易、蒸发速度可以控制在4%的程度范围内等优点。另外,如与微机联用其蒸发速度可以自动记录。制造或使用数字式频率计的工厂、实验室如能利用或参考该机的原理、线路图,将在不增加很多费用的前提下,使仪器性能更完美,更实用。
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关键词
微处理机
真空镀膜
蒸发速率
控制
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职称材料
Ti-5Al-2.5Sn合金冷坩埚感应熔炼过程中Al和Sn元素的挥发研究
2
作者
郭景杰
刘源
+1 位作者
苏彦庆
贾均
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期6-9,共4页
利用所建立的模型研究了Ti5Al25Sn合金感应凝壳熔炼(ISM)过程中Al、Sn元素的挥发控制方式,并在此基础上研究了熔体温度和真空室压力对Al、Sn挥发速率的影响。结果表明,实际熔炼条件下Al、Sn的挥发都由界面挥发反应单一控制,真空室压力...
利用所建立的模型研究了Ti5Al25Sn合金感应凝壳熔炼(ISM)过程中Al、Sn元素的挥发控制方式,并在此基础上研究了熔体温度和真空室压力对Al、Sn挥发速率的影响。结果表明,实际熔炼条件下Al、Sn的挥发都由界面挥发反应单一控制,真空室压力对挥发速率的影响具有明显的临界值,当压力低于此临界值时,挥发速率几乎没有什么变化,而当压力高于此值时,挥发速率迅速降低。
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关键词
Ti-5Al-25Sn合金
感应凝壳熔炼
挥发控制
ISM
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职称材料
钢板真空镀锌膜结合强度的实验研究
3
作者
王琼姝
胡伯俊
韩耀文
《沈阳建筑工程学院学报》
1991年第1期84-87,共4页
在普通冷轧钢板上真空蒸发镀Zn通过加入Fe中间结合层,得到了结合强度高的镀Zn钢板。实验证明,Fe是理想的中间结合层,镀结合层和镀Zn时,其基板温度均高于180℃则可得到高结合强度的Zn膜,蒸发速率越高,Zn膜的结合强度越高。
关键词
钢板
镀锌
真空沉积
薄膜
实验
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职称材料
题名
控制真空镀膜蒸发速率的微处理机
被引量:
1
1
作者
张仕国
D.E.Brodie
机构
加拿大滑铁卢大学物理系
出处
《真空电子技术》
北大核心
1992年第5期30-34,共5页
文摘
本文报道了在本实验室制作并开始使用的控制真空蒸发速率的微处理机(单板机)。它利用石英晶体振荡器为探测器,将该振荡器随膜厚不同而频率变化的交流信号反馈到微中心处理器。中心处理器将这交流信号和预期的蒸发速率比较,利用其差去控制给蒸发源的功率。该处理机具有结构简单、制作容易、蒸发速度可以控制在4%的程度范围内等优点。另外,如与微机联用其蒸发速度可以自动记录。制造或使用数字式频率计的工厂、实验室如能利用或参考该机的原理、线路图,将在不增加很多费用的前提下,使仪器性能更完美,更实用。
关键词
微处理机
真空镀膜
蒸发速率
控制
Keywords
vacuum evaporation deposition rate controller microprocessor
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Ti-5Al-2.5Sn合金冷坩埚感应熔炼过程中Al和Sn元素的挥发研究
2
作者
郭景杰
刘源
苏彦庆
贾均
机构
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期6-9,共4页
基金
国防基金资助!项目 (970 931 0 90 )
文摘
利用所建立的模型研究了Ti5Al25Sn合金感应凝壳熔炼(ISM)过程中Al、Sn元素的挥发控制方式,并在此基础上研究了熔体温度和真空室压力对Al、Sn挥发速率的影响。结果表明,实际熔炼条件下Al、Sn的挥发都由界面挥发反应单一控制,真空室压力对挥发速率的影响具有明显的临界值,当压力低于此临界值时,挥发速率几乎没有什么变化,而当压力高于此值时,挥发速率迅速降低。
关键词
Ti-5Al-25Sn合金
感应凝壳熔炼
挥发控制
ISM
Keywords
Ti 5Al 2 5Sn
ISM process
evaporation
controlling mode
evaporation
rate
critical
vacuum
pressure
分类号
TG243 [金属学及工艺—铸造]
TG146.23 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
钢板真空镀锌膜结合强度的实验研究
3
作者
王琼姝
胡伯俊
韩耀文
机构
中国科学院金属研究所
沈阳建筑工程学院
出处
《沈阳建筑工程学院学报》
1991年第1期84-87,共4页
文摘
在普通冷轧钢板上真空蒸发镀Zn通过加入Fe中间结合层,得到了结合强度高的镀Zn钢板。实验证明,Fe是理想的中间结合层,镀结合层和镀Zn时,其基板温度均高于180℃则可得到高结合强度的Zn膜,蒸发速率越高,Zn膜的结合强度越高。
关键词
钢板
镀锌
真空沉积
薄膜
实验
Keywords
steel plates
zinc plating
vacuum
deposition
experiment
evaporation
rate
bond strength
分类号
TQ153.15 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
控制真空镀膜蒸发速率的微处理机
张仕国
D.E.Brodie
《真空电子技术》
北大核心
1992
1
下载PDF
职称材料
2
Ti-5Al-2.5Sn合金冷坩埚感应熔炼过程中Al和Sn元素的挥发研究
郭景杰
刘源
苏彦庆
贾均
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
0
下载PDF
职称材料
3
钢板真空镀锌膜结合强度的实验研究
王琼姝
胡伯俊
韩耀文
《沈阳建筑工程学院学报》
1991
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
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