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超灵敏度检漏仪校准技术进展
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作者 王汐月 卢耀文 +5 位作者 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期390-395,共6页
本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取... 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10−11 Pa·m^(3)/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10−14 Pa·m^(3)/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10−10~10−12)Pa·m^(3)/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10−16 Pa·m3/s范围内漏率,解决了目前超灵敏度检漏仪全量程的校准难题,将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内,提升了长寿命真空器件的可靠性。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠
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Gas Expansion Process in the Dynamic Vacuum Calibration
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作者 成永军 陈叔平 +3 位作者 汪乘红 习振华 孙雯君 刘丹 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2021年第2期193-200,共8页
By analyzing the gas expansion process from the upstream chamber via an orifice and a very rapid-opening ultra-high vacuum(UHV)gate valve to downstream one,the standard pressure analytical model basedon the dvnamic va... By analyzing the gas expansion process from the upstream chamber via an orifice and a very rapid-opening ultra-high vacuum(UHV)gate valve to downstream one,the standard pressure analytical model basedon the dvnamic vacuum calibration apparatus in millisecond range developed by Lanzhou Institute of Physics(LIP)is deduced theoretically and corrected by real gas characteristics and temperature changes.According to the Kuudsen criterion,there is no free molecular fow regime in the area in front of the orifice during the gas expansion,so the chocked fow approximation is adopted to reduce the difficulty of numerical computation Under this anproxiuatiou and the full opening of the rapid valve,the standard pressure expression is calculated theoretically,and the upstream chamber pressure and temperature changes are obtained by numerical simulation during the gas expansion from 100 kPa to 10kPa.Also,experiments are performed using capacitance diaphragmgauges(model CDG045Dhs),The uncertainties between the measured pressure and the simulated and theoretical ones are 10%and 4.65%,respectively,which indicates that the apparatus can generate predictable pressure changes in the millisecond rauge and the conceptual model can better approximate the calibration results.Einally,the orifice conductance,and the correction factors of real gas characteristics and temperature change to the standard pressure are calculated accordins to the simulation results:the corrected staudard pressure expression is obtained. 展开更多
关键词 dynamic vacuum calibration standard pressure numerical investigation gas expansion CONDUCTANCE
原文传递
动态流导法真空校准装置 被引量:13
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作者 张涤新 李得天 +8 位作者 冯焱 成永军 赵定众 李正海 郭美如 赵澜 李莉 龚月莉 孙海 《真空》 CAS 北大核心 2005年第3期30-34,共5页
动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1~5×10-7Pa,合成标准不确定度为0.69%~1.4%。
关键词 真空标准 真空校准 真空规
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氦质谱检漏仪现场校准方法研究 被引量:10
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作者 赵澜 张涤新 +5 位作者 冯焱 成永军 卢耀文 徐婕 李莉 盛学民 《真空》 CAS 北大核心 2010年第1期59-62,共4页
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得... 目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 标准漏孔 校准
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真空比对法校准装置的研究 被引量:4
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作者 宋瑞海 张书锋 +2 位作者 王欢 贾军伟 田虎林 《真空》 CAS 北大核心 2011年第3期32-35,共4页
真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法,在一台装置上复合了三种方法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、... 真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法,在一台装置上复合了三种方法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置。整套装置由涡轮分子泵、校准容器、副标准真空计和金属膨胀阀等部件组成,主要技术指标符合国际标准化组织和国内有关真空标准的规定。 展开更多
关键词 真空 比对法 真空计量 标准
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静态膨胀法真空标准的发展概况 被引量:3
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作者 张涤新 赵光平 +3 位作者 李得天 郭美如 冯焱 徐婕 《真空》 CAS 北大核心 2008年第4期53-57,共5页
本文介绍了德国PTB、英国NPL、墨西哥CENAM、韩国KRISS、意大利CENAM、日本NMIJ、中国计量科学研究院和国防科技工业真空一级计量站的静态膨胀法真空标准的发展概况,对其前级标准,结构特点和性能指标进行了评述。
关键词 真空测量 真空校准 真空标准 静态膨胀法
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真空环境下铷钟性能的研究 被引量:3
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作者 崔敬忠 杨坦 +4 位作者 张玲 梁耀廷 涂建辉 杨炜 张金海 《真空与低温》 2016年第5期271-274,295,共5页
星载铷钟是目前全球导航定位卫星中搭载的主要星载钟之一,其工作环境除了前期地面联试是大气环境外,其余大部分时间主要是在真空环境下工作,因此研究真空环境中铷钟的性能对卫星导航系统的发展起着重要的作用。研究了真空环境下铷钟的... 星载铷钟是目前全球导航定位卫星中搭载的主要星载钟之一,其工作环境除了前期地面联试是大气环境外,其余大部分时间主要是在真空环境下工作,因此研究真空环境中铷钟的性能对卫星导航系统的发展起着重要的作用。研究了真空环境下铷钟的主要技术指标,包括输出频率稳定性、准确度和漂移率的变化规律。分析了真空环境对铷钟性能的影响,从而为星载铷钟的使用提供借鉴,同时对提高星载铷钟性能有一定的参考价值。 展开更多
关键词 铷钟 真空环境 性能
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用气体微流量标准装置校准参考漏孔 被引量:2
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作者 张涤新 吕时良 +1 位作者 李得天 孟扬 《真空与低温》 1996年第2期68-72,共5页
介绍气体微流量标准装置用比较测量法和直接测量法校准漏孔的方法,并给出漏孔的核准结果。该标准装置的校准范围为17~1×10-5Pa·L/s,不确定度小于2%。
关键词 漏孔 校准 真空检漏 气体微流量
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动态流量法超高真空标准装置的性能测试 被引量:1
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作者 张涤新 吕时良 +2 位作者 马诗龙 龚月莉 温昕晖 《真空与低温》 1998年第4期210-216,共7页
动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力6.5×10-9Pa,校准范围10-2~10-7Pa,不确定度3%(10-2~10-6Pa)和... 动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力6.5×10-9Pa,校准范围10-2~10-7Pa,不确定度3%(10-2~10-6Pa)和10%(10-7Pa)。 展开更多
关键词 真空标准 真空校准 动态流量法 超高真空
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宽量程真空规校准装置的性能研究
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作者 宋瑞海 张书锋 +2 位作者 王欢 贾军伟 田虎林 《航天器环境工程》 2011年第5期495-498,共4页
文章研制了一种新的真空规校准装置,复合采用了动态比对法、静态比对法和静态膨胀法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以对量程在1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,具有结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强... 文章研制了一种新的真空规校准装置,复合采用了动态比对法、静态比对法和静态膨胀法,满足了拓宽量程的需求。该装置可以对量程在1×105~5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,具有结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的特点,尤其适用于大量常规校准。装置本底压力、压力稳定度、静态膨胀容积比等主要技术指标符合国际标准化组织和国内有关真空标准的规定。 展开更多
关键词 真空规 真空比对法 校准 标准
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AMS2750E标准在真空炉中的应用 被引量:2
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作者 张红梅 《电子工业专用设备》 2014年第5期47-51,共5页
AMS2750E标准规定了各类真空炉型的温度校准精度和均匀性的要求,以及各类仪器、仪表的校准精度。目前各行业都在借鉴和使用该标准,而普通的真空炉不能满足AMS2750E标准要求。通过对其关键技术的解决和实施,研制了能够满足AMS2750E标准... AMS2750E标准规定了各类真空炉型的温度校准精度和均匀性的要求,以及各类仪器、仪表的校准精度。目前各行业都在借鉴和使用该标准,而普通的真空炉不能满足AMS2750E标准要求。通过对其关键技术的解决和实施,研制了能够满足AMS2750E标准的真空炉,并且已经在航空、航天以及各行业领域内广泛使用。 展开更多
关键词 AMS2750E标准 真空炉 温度校准 温度均匀性 传感器
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气体微流量标准装置的研制 被引量:10
12
作者 李旺奎 张涤新 +3 位作者 刘强 吕时良 李得天 孟扬 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期145-152,共8页
气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置,可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流量计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱动波纹管... 气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置,可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流量计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱动波纹管结构,活塞的平动由恒力矩测速电机驱动导轨平动机构完成,活塞的位移用精密光栅尺测量。在流量测量过程中,测量与控制系统将变容室和参考室之间的压力差控制在工作压力值的0.01%之内。该标准装置可采用直接测量法和比较测量法对气体微流量进行校准,其量程为1.71~1.22×10-5PaL/S,不确定度<2%。 展开更多
关键词 气体微流量 漏率标准 真空标准
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一种(10^(5)~10^(-8))Pa真空计校准装置的设计 被引量:2
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作者 卢耀文 吴端 +6 位作者 王欢 杨传森 魏萌萌 梁明超 陈静 闫睿 陈俊儒 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期29-34,共6页
针对(10^(5)~10^(-8))Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置。装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成。设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准... 针对(10^(5)~10^(-8))Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置。装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成。设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10^(-9) Pa量级的极限真空度。真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,静态比较法采用电容薄膜真空计作为参考标准实现(10^(5)~10^(-1))Pa的校准范围;动态比较法用磁悬浮转子真空计作为参考标准实现(10^(-1)~10^(-4))Pa的校准范围;标准气体流量法采用(10^(-5)~10-9)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计提供标准气体流量,实现(10^(-4)~10^(-8))Pa的校准范围。本文设计的校准装置范围为(10^(5)~10^(-8))Pa,合成标准不确定度估计为0.9%~2.3%,解决了对宽量程真空计的一次性校准技术问题。 展开更多
关键词 复合型真空计 参考标准 校准 不确定度
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中国计量科学研究院真空标准简评 被引量:6
14
作者 周起春 《真空电子技术》 1999年第5期26-32,共7页
本文介绍并简评了计量院的真空标准体系。包括绝对标准、相对标准及漏率标准;并提供了计量院标准相关的数据和1984 年参加国际比对的结果。
关键词 真空标准 校准 绝对标准 相对标准 漏率标准
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用标准场法校准环天线 被引量:5
15
作者 高月 高攸纲 《电子质量》 2003年第9期12-13,共2页
环天线可用标准场法进行校准,该方法采用一对共轴放置的环天线来精确产生和测量磁场,频率范围10KHz至30MHz。本文讨论了校准过程中的测量不确定度,同时也给出了环天线校准的测试方法。
关键词 环天线 标准场法 测量不确定度 真空温差热耦 标准磁场
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非蒸散型吸气剂泵在真空计量中的应用研究 被引量:14
16
作者 李得天 成永军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期234-236,共3页
本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果。结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10Pa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延... 本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果。结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10Pa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延伸到了10-10Pa量级;利用NEG泵将静态膨胀法真空标准的校准下限延伸到了10-7Pa量级。最后还对用NEG泵延伸固定流导法微流量标准测量下限的可行性进行了分析。 展开更多
关键词 非蒸散型吸气剂泵 真空计量标准 延伸校准下限
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高效液相色谱法测定VMCPP薄膜中芥酸酰胺的含量 被引量:3
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作者 杨璐 周国桁 +4 位作者 刘容宏 付金贝 秘铭 孙元浩 许超 《化学试剂》 CAS 北大核心 2020年第6期686-690,共5页
采用高效液相色谱法(HPLC)测定了真空镀铝聚丙烯薄膜(VMCPP)中芥酸酰胺的含量。芥酸酰胺在25~250 mg/L范围内线性良好,相关系数R>0.999,检出限为0.2 mg/kg,定量限为1 mg/kg。外标法具有良好的稳定性和灵敏度。对比了4种样品提取溶剂... 采用高效液相色谱法(HPLC)测定了真空镀铝聚丙烯薄膜(VMCPP)中芥酸酰胺的含量。芥酸酰胺在25~250 mg/L范围内线性良好,相关系数R>0.999,检出限为0.2 mg/kg,定量限为1 mg/kg。外标法具有良好的稳定性和灵敏度。对比了4种样品提取溶剂的提取效果,选择环己烷作为提取溶剂,并从回流时间、回流次数两个方面对提取方法进行了优化。对比分析了5个国内外芥酸酰胺的检测标准和本试验方法的差异,指出更具包容性的检测标准是未来发展的趋势,这些相近的检测标准可以促进检测技术的国际交流,扩大知识与科学的合作。 展开更多
关键词 芥酸酰胺 高效液相色谱 真空镀铝聚丙烯薄膜 回流提取 标准
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浅谈吸尘器和扫地机器人欧盟能效法规和性能标准
18
作者 孙威威 《中国标准化》 2018年第A01期292-296,共5页
吸尘器在欧盟环保设计法规No 666/2013和能效标签法规EU No 665/2013自2014年9月1日实施后,近期又有新的进展和研究发现。本文在梳理吸尘器欧盟能效标签和环保设计法规的现状和更新的基础上,结合扫地机器人IEC国际标准等标准制修订以及... 吸尘器在欧盟环保设计法规No 666/2013和能效标签法规EU No 665/2013自2014年9月1日实施后,近期又有新的进展和研究发现。本文在梳理吸尘器欧盟能效标签和环保设计法规的现状和更新的基础上,结合扫地机器人IEC国际标准等标准制修订以及消费者对产品性能认知的角度,对吸尘器和扫地机器人性能标准化和欧盟法规的挑战进行简要阐述,并提出吸尘器和扫地机器人性能标准化建议和参考意见。 展开更多
关键词 吸尘器 扫地机器人 能效标签 标准化 性能标准
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真空标准装置建标分析探讨
19
作者 张旭敏 魏居锋 刘克先 《装备制造技术》 2017年第6期282-285,288,共5页
依据计量标准考核的要求,通过对计量标准的工作原理,不确定度的评定及进行重复性、稳定性指标和不确定度的验证考核。
关键词 真空计 真空规 计量建标
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真空饱水机校准方法与影响分析
20
作者 马兴 郭贵勇 《科技视界》 2019年第32期114-114,97,共2页
介绍了真空饱水机的工作原理和用途,建立了真空饱水机校准结果的测量模型,分析了各不确定度分量主要来源,结合测量实例具体数据,对其合成不确定度进行分析评定,对各不确定度分量进行计算并得出合成不确定度和扩展不确定度,最终可得出该... 介绍了真空饱水机的工作原理和用途,建立了真空饱水机校准结果的测量模型,分析了各不确定度分量主要来源,结合测量实例具体数据,对其合成不确定度进行分析评定,对各不确定度分量进行计算并得出合成不确定度和扩展不确定度,最终可得出该项目的校准测量能力,为建筑行业提供的技术支撑。 展开更多
关键词 真空饱水机 校准方法 测量 性能影响 不确定度评定
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