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铜表面气体渗硅涂层的抗氧化性能研究 被引量:6
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作者 沈复初 毛志远 +3 位作者 郦剑 叶必光 甘正浩 晋圣发 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 1997年第3期205-209,共5页
对用硅烷-氢(SiH4/H2)混合气体在Cu表面进行化学热处理获得的含硅涂层进行了抗氧化性研究.结果表明,纯铜表面含硅涂层的形成提高了材料的抗氧化性能.对含硅铜涂层的氧化机理进行了探讨.
关键词 气体渗硅 抗氧化性 xps 含硅涂层
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铜在SiH_4/H_2混合气氛中获得的渗硅层的抗氧化性能 被引量:3
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作者 沈复初 毛志远 +1 位作者 郦剑 叶必光 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第7期3-5,22,共4页
研究了用硅烷-氢(SiH4/H2)混合气体在铜表面获得的渗硅层的抗氧化性,结果表明,纯铜表面渗硅层的形成提高了材料的抗高温氧化性能。本文对渗硅层的氧化机理进行了探讨。
关键词 气体渗硅 抗氧化性 纯铜 渗层
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铜的表面含硅渗层的结构与性能 被引量:12
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作者 甘正浩 毛志远 +2 位作者 沈复初 郦剑 叶必光 《材料科学与工程》 CSCD 1997年第1期50-53,共4页
本文综述了利用SiH4/H2混合气体在纯铜表面获得的含硅渗层的结构和性能。试验结果表明:通过纯铜表面气体渗硅这一新的化学热处理方法,其表面获得含硅渗层,可以改善铜的表面摩擦磨损。
关键词 渗硅层 摩擦系数 摩擦磨损 抗氧化性
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金催化的硅纳米线的可控制备及光学特性研究 被引量:1
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作者 王珊珊 殷淑静 +1 位作者 梁海锋 韩军 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期738-745,共8页
硅纳米线是新型一维半导体纳米材料的典型代表。利用阳极氧化铝薄膜为模版复制出具有有序纳米结构的金膜,在金的催化辅助下对单晶硅进行湿法刻蚀,得到尺寸、形状、分布可控的硅纳米线阵列,并对其光学特性进行了研究。研究结果表明,金代... 硅纳米线是新型一维半导体纳米材料的典型代表。利用阳极氧化铝薄膜为模版复制出具有有序纳米结构的金膜,在金的催化辅助下对单晶硅进行湿法刻蚀,得到尺寸、形状、分布可控的硅纳米线阵列,并对其光学特性进行了研究。研究结果表明,金代替银作为催化剂,可以有效地抑制二次刻蚀,金的化学性质相对于银更加稳定,克服了银膜在较高的温度或较长刻蚀时间下产生的结构性破坏,得到形貌规整、尺寸可控的硅纳米线阵列。对该阵列在400nm^1200nm波段的反射率、透过率进行了测试,并对比分析了金模板催化与传统方法机理的异同。测试结果表明,相较于传统金属辅助化学刻蚀法,文中提出的金模板催化法制备的硅纳米线阵列尺寸及分布更加均匀可控,在宽光谱范围内的抗反射性得到了显著提高。 展开更多
关键词 半导体材料 硅纳米线 阳极氧化铝薄膜 湿法刻蚀 催化 抗反射性
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非晶硅太阳电池背反射电极ZnO∶B薄膜研究
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作者 柳建平 雷青松 +2 位作者 杨瑞霞 鞠洪超 薛俊明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期863-868,共6页
摘要:采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长技术,以H:O和二乙基锌(Zn(CH2)2)为反应源,硼烷(B2H6,氢气稀释为1%)为掺杂气体,在面积为23cm×23em的普通玻璃衬底上生长ZnO:B薄膜,分析各工艺参数对薄膜光电特性的影... 摘要:采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长技术,以H:O和二乙基锌(Zn(CH2)2)为反应源,硼烷(B2H6,氢气稀释为1%)为掺杂气体,在面积为23cm×23em的普通玻璃衬底上生长ZnO:B薄膜,分析各工艺参数对薄膜光电特性的影响。结果表明:衬底温度对ZnO:B薄膜的透过率影响显著,其次是反应压力,B:H。掺杂量对透过率影响较小,但是对电阻率影响十分明显。通过优化工艺条件,在衬底温度为185℃,反应压力为0.5torr(1torr=133.3Pa),B,H。流量为4cm3/min下获得了厚度为580nm、在400~800nm光谱范围内透过率大于85%、电阻率为2.78×1013Q·cm的ZnO:B薄膜。将该ZnO:B薄膜作为背反射电极应用于大面积(23(31/1×23cm)非晶硅及硅锗太阳电池后,可使电池短路电流密度分别增加2.82和1.5mA/em。. 展开更多
关键词 ZnO∶B 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) 背反射电极 光电特性 非晶硅太阳电池
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