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柔性变栅距光栅角位移传感器的精度分析与工艺实现 被引量:6
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作者 包艳 杨德兴 +2 位作者 李秉实 王东辉 郑普超 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1859-1866,共8页
研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原... 研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器。分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺。首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原理;分析了工艺误差对传感器精度的影响,提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm。在圆度对传感器精度影响的量值基础上,采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺。最后,利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性。实验结果表明:柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm,传感器的线性度达到最大工作角度的0.27%,满足了航空机载传感器的精度要求。 展开更多
关键词 柔性变栅距光栅 柱面变栅距光栅 角位移传感器 弹性凸模
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一种新型变栅距闪耀光栅位移传感器测试系统 被引量:2
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作者 张兵 郑普超 +1 位作者 张超 孟凡军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第5期80-83,共4页
针对变栅距光栅线位移传感器的不足,提出一种新型传感器测试系统。采用的自主研制的宽带LED光源体积小、效率高,是光位移传感器较为理想的宽带光源;传感器本体使用了变栅距闪耀光栅与套筒式运行机构;信号处理由色敏解调器与数字信号处理... 针对变栅距光栅线位移传感器的不足,提出一种新型传感器测试系统。采用的自主研制的宽带LED光源体积小、效率高,是光位移传感器较为理想的宽带光源;传感器本体使用了变栅距闪耀光栅与套筒式运行机构;信号处理由色敏解调器与数字信号处理器(DSP)完成,制作了新型测试系统样机并进行测试,符合飞行控制系统一般测试精度要求,提高了测试系统的动态特性,实现了小型化、工程化。 展开更多
关键词 变栅距闪耀光栅 线位移传感器 宽带LED 色敏解调器
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变栅距闪耀光栅相对衍射效率的计算方法 被引量:1
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作者 王东辉 刘林 +4 位作者 李秉实 包艳 郑普超 张兵 张超 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期69-72,共4页
提出了一种变栅距闪耀光栅相对衍射效率计算方法,它是基于变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式得出的。该方法简洁、有效,虽然有一定的近似性,但在工程设计上仍有较强的指导性。此外,还得出变栅距闪耀光栅参数对其衍射效率的影响规律,对优... 提出了一种变栅距闪耀光栅相对衍射效率计算方法,它是基于变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式得出的。该方法简洁、有效,虽然有一定的近似性,但在工程设计上仍有较强的指导性。此外,还得出变栅距闪耀光栅参数对其衍射效率的影响规律,对优化制作工艺提供了理论依据。 展开更多
关键词 变栅距闪耀光栅 衍射效率 光栅位移传感器
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适用于宽带光的闪耀光栅衍射强度分布规律研究
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作者 王东辉 刘林 +4 位作者 李秉实 包艳 郑普超 张兵 张超 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期706-710,722,共6页
变栅距光栅线位移传感器是一种新型波长编码位移传感器,为进一步提高传感器波长解调的精度和减小光源的体积,提出适用于全工作波段的恒定闪耀角变栅距光栅结构。首先采用经典光学的方法推导出变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式,从理论上... 变栅距光栅线位移传感器是一种新型波长编码位移传感器,为进一步提高传感器波长解调的精度和减小光源的体积,提出适用于全工作波段的恒定闪耀角变栅距光栅结构。首先采用经典光学的方法推导出变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式,从理论上证明该光栅结构可实现在全工作波段提高变栅距光栅线位移传感器衍射光强。此外,制作出变栅距闪耀光栅样件证实了工艺可行性。在相同的条件下,对一组参数相同的闪耀光栅和矩形槽形光栅进行了衍射光强比对实验,得到变栅距闪耀光栅的衍射光强约为矩形变栅距光栅的衍射光强的1.7倍,并与按此衍射光强分布公式计算的结果一致。 展开更多
关键词 线位移传感器 变栅距闪耀光栅 衍射强度
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平面变栅距位相光栅位移传感器的测量精度极限 被引量:3
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作者 沈燕 周静 刘大禾 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期166-169,共4页
提出用透射式变栅距位相光栅作位移传感器,用标量衍射理论讨论了这种传感器的测量精度与光栅的起始栅距及栅距变化系数之间的关系,同时用时域有限元差分(FDTD)算法计算了变栅距位相光栅的衍射场,计算结果表明受衍射偏振特性的影响,这种... 提出用透射式变栅距位相光栅作位移传感器,用标量衍射理论讨论了这种传感器的测量精度与光栅的起始栅距及栅距变化系数之间的关系,同时用时域有限元差分(FDTD)算法计算了变栅距位相光栅的衍射场,计算结果表明受衍射偏振特性的影响,这种位移传感器的测量精度在理论上存在极限. 展开更多
关键词 位移传感器 变栅距光栅 FDTD算法
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基于平面时变磁场的时栅角位移传感器 被引量:2
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作者 田青青 陈锡侯 +1 位作者 方畅 苟李 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第4期52-55,共4页
为了解决采用漆包线加工线圈的磁场式时栅存在的手工绕线均匀性差、加工效率低的难题,克服其测量精度易受时间影响的缺点,提出一种基于平面时变磁场的时栅角位移传感器。该传感器应用印刷电路板工艺技术在不同的平面内分别布置带电导体... 为了解决采用漆包线加工线圈的磁场式时栅存在的手工绕线均匀性差、加工效率低的难题,克服其测量精度易受时间影响的缺点,提出一种基于平面时变磁场的时栅角位移传感器。该传感器应用印刷电路板工艺技术在不同的平面内分别布置带电导体和感应线圈,通过在导体内添加激励,构成特定方向匀速移动的正弦分布时变磁场。基于测量模型,进行仿真分析与精度实验,验证了传感器模型的可行性。实验结果表明:传感器在0°~360°内传感器的原始误差在±80″以内,实现了精密测量。 展开更多
关键词 时栅角位移传感器 高精度 平面时变磁场 印刷电路板(PCB)
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