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高深宽比硅通孔检测技术研究
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作者 燕英强 吉勇 +2 位作者 明雪飞 陈波 陈桂芳 《电子与封装》 2014年第11期9-12,共4页
由于SEM显微镜、FIB显微镜检测高深宽比硅通孔耗时、费用高,研究了垂直扫描白光干涉技术检测硅通孔的可行性。设定刻蚀/钝化时间比率,改变深硅刻蚀功率和刻蚀时间,获得不同深度和侧壁粗糙度的硅通孔,并用垂直扫描白光干涉技术进行检测... 由于SEM显微镜、FIB显微镜检测高深宽比硅通孔耗时、费用高,研究了垂直扫描白光干涉技术检测硅通孔的可行性。设定刻蚀/钝化时间比率,改变深硅刻蚀功率和刻蚀时间,获得不同深度和侧壁粗糙度的硅通孔,并用垂直扫描白光干涉技术进行检测。研究结果表明垂直扫描白光干涉技术可以观察硅通孔的形状、测量侧壁粗糙度、精确无损测量硅通孔深度,可以替代SEM、FIB检测方法。 展开更多
关键词 深硅刻蚀 白光干涉 侧壁粗糙度 通孔形状 通孔深度 无损检测
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加载工字型槽的三维频率选择表面设计
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作者 杨霞 王橙 +2 位作者 于正永 陆华丽 唐万春 《南京师大学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期40-47,共8页
基于工字型槽提出了两种三维频率选择表面(3-D FSS)结构.通过在平行板路径金属壁上刻蚀工字型槽引入新的谐振模式,设计了一种具有椭圆滤波特性的单通带3-D FSS.在此基础上,通过在平行板路径加载金属化过孔来构建双模谐振单元,平行板路... 基于工字型槽提出了两种三维频率选择表面(3-D FSS)结构.通过在平行板路径金属壁上刻蚀工字型槽引入新的谐振模式,设计了一种具有椭圆滤波特性的单通带3-D FSS.在此基础上,通过在平行板路径加载金属化过孔来构建双模谐振单元,平行板路径将原来单一的谐振模式分裂为奇偶模两种谐振模式,实现了一种高选择性、小通带比的双频3-D FSS.通过对传输零点和极点处电场矢量分析,阐述了这两种FSS的工作原理.同时,由HFSS软件仿真可知,所提出的两种FSS在TE和TM极化下不同角度入射时均具有较为稳定的频率响应. 展开更多
关键词 频率选择表面(FSS) 工字型 金属化过孔 三维
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基于新型EBG结构的四陷波UWB天线
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作者 张道亮 姜弢 +1 位作者 张谢馥 张冰然 《应用科技》 CAS 2015年第1期1-5,共5页
设计了一种基于新型电磁带隙(EBG)结构的四陷波超宽带(UWB)天线,所设计的天线印刷在介电常数为3,厚度为1.5 mm的介质基板上。为了实现某些窄带通信频段(WIMAX、WLAN双频和X波段下行卫星通讯信号)与UWB天线协同工作,通过对蘑菇形电磁带隙... 设计了一种基于新型电磁带隙(EBG)结构的四陷波超宽带(UWB)天线,所设计的天线印刷在介电常数为3,厚度为1.5 mm的介质基板上。为了实现某些窄带通信频段(WIMAX、WLAN双频和X波段下行卫星通讯信号)与UWB天线协同工作,通过对蘑菇形电磁带隙(M-EBG)结构进行改进,将金属过孔移向边角并引入曲流技术,有效地减小了EBG单元的尺寸和谐振带宽,设计了谐振于3.5、5.25、5.78和7.5 GHz处的新型EBG单元,并依次加载于正六边形UWB天线的馈线两端形成耦合。仿真和测试结果表明,所设计的天线满足UWB无线通信系统的要求,并有效地抑制了所述4个频段的信号,具有较高的频谱利用率和稳定的全向辐射特性。 展开更多
关键词 电磁带隙 超宽带天线 金属过孔 蘑菇形电磁带隙 频谱利用率
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经跗骨窦小切口复位内固定与传统L形切口钢板内固定治疗SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折临床效果比较 被引量:24
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作者 陈学谦 王德成 +2 位作者 贺志亮 何稚鸥 黎作旭 《实用医院临床杂志》 2019年第6期172-175,共4页
目的探讨经跗骨窦小切口复位内固定与传统L形切口钢板内固定对SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折患者骨折愈合时间、足部功能及术后并发症的影响。方法我院50例SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折患者,根据手术方式分为跗骨窦小切口组(经跗骨窦小切口复位... 目的探讨经跗骨窦小切口复位内固定与传统L形切口钢板内固定对SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折患者骨折愈合时间、足部功能及术后并发症的影响。方法我院50例SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折患者,根据手术方式分为跗骨窦小切口组(经跗骨窦小切口复位内固定)26例和传统L形切口组(传统L形切口钢板内固定)24例,对比两组手术相关指标,足部功能和术后并发症。结果跗骨窦小切口组手术时间、住院时间及骨折愈合时间短于传统L形切口组,术后并发症发生率低于传统L形切口组(P<0.05);术后6月,两组跟骨Bohler角和Gissane角均增大(P<0.05),两组间比较差异无统计学意义(P>0.05);两组术后足部功能比较差异无统计学意义(P>0.05)。结论经跗骨窦小切口复位内固定与传统L形切口钢板内固定均可有效改善SandersⅡ、Ⅲ型跟骨骨折患者足部功能,且相对于后者,前者更能够缩短骨折愈合时间,减少术后并发症发生。 展开更多
关键词 经跗骨窦小切口复位内固定 传统L形切口钢板内固定 SandersⅡ型 SandersⅢ型 跟骨骨折 疗效
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基于改进二维ESPRIT-like算法的相干源方向角估计 被引量:1
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作者 陈曦 杨涛 何宏森 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2016年第3期849-853,858,共6页
针对用于二维十字相控阵的类旋转不变技术估计信号参数(ESPRIT-like)算法用于相干源方向角估计时存在仰角和方位角配对困难的问题,提出一种基于接收信号矩阵联合对角化的改进二维ESPRIT-like算法。首先,通过ESPRIT-like算法得到x和y方... 针对用于二维十字相控阵的类旋转不变技术估计信号参数(ESPRIT-like)算法用于相干源方向角估计时存在仰角和方位角配对困难的问题,提出一种基于接收信号矩阵联合对角化的改进二维ESPRIT-like算法。首先,通过ESPRIT-like算法得到x和y方向自相关矩阵,并由其重构出对应的Toeplitz矩阵以去相干;然后对Toeplitz矩阵进行等效分解,得到去相干后x和y方向的等效接收信号矩阵;最后对等效接收信号矩阵进行矩阵联合对角化,实现相干源仰角和方位角自动配对,从而得到正确的信源方向估计结果。仿真结果表明,与改进前的算法相比,改进后的算法能够实现正确的方向角估计;与目前常用的基于空间平滑的二维多重信号分类(MUSIC)算法相比,在信噪比为30 d B时,该算法响应时间减少了79%左右,仰角和方位角分辨率分别提高了20%和40%左右,均方误差约为MUSIC算法角度误差的10%。 展开更多
关键词 十字相控阵 相干源 ESPRIT-like算法 参数配对 方向角估计
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腘窝后侧S形切口双窗口入路术治疗胫骨平台后柱骨折患者的效果
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作者 杨永豪 《中国民康医学》 2021年第23期74-76,共3页
目的:观察腘窝后侧S形切口双窗口入路术治疗胫骨平台后柱骨折患者的效果。方法:选取150例胫骨平台后柱骨折患者为研究对象,按照随机数字表法分为对照组和观察组各75例。对照组给予传统胫骨平台后内侧入路术治疗,观察组给予腘窝后侧S形... 目的:观察腘窝后侧S形切口双窗口入路术治疗胫骨平台后柱骨折患者的效果。方法:选取150例胫骨平台后柱骨折患者为研究对象,按照随机数字表法分为对照组和观察组各75例。对照组给予传统胫骨平台后内侧入路术治疗,观察组给予腘窝后侧S形切口双窗口入路术治疗,比较两组手术相关指标水平、膝关节功能[美国特种外科医院膝关节功能(HSS)评分]、并发症发生率和生命质量评分。结果:观察组手术时间、完全负重时间和骨折愈合时间均短于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);观察组并发症发生率为1.33%,低于对照组的10.67%,差异有统计学意义(P<0.05);治疗后,两组物质生活状态、躯体功能、心理功能、社会功能等生命质量评分及HSS评分均明显高于治疗前,且观察组高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:腘窝后侧S形切口双窗口入路术治疗胫骨平台后柱骨折患者可缩短手术时间、完全负重时间和骨折愈合时间,降低并发症发生率,以及提高膝关节功能评分和生命质量评分,优于传统胫骨平台后内侧入路术治疗效果。 展开更多
关键词 腘窝后侧S形切口双窗口入路术 胫骨平台后柱骨折 膝关节功能 生命质量 并发症
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HDI板内层开路的凹凸假象
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作者 邹儒彬 彭卫红 +4 位作者 欧植夫 荣孝强 刘东 叶应才 邹礼兵 《印制电路信息》 2011年第S1期258-265,共8页
关于HDI板内层开路,目前已经有较多文献报道,但多局限于知识的普及和对问题的综述;本文从生产实践出发,详细比较和深入分析了两种表象相似的HDI板内层开路—凹点开路和凸点开路;并对"月牙状开路"产生的根源进行了探讨。最后在... 关于HDI板内层开路,目前已经有较多文献报道,但多局限于知识的普及和对问题的综述;本文从生产实践出发,详细比较和深入分析了两种表象相似的HDI板内层开路—凹点开路和凸点开路;并对"月牙状开路"产生的根源进行了探讨。最后在"盲孔开窗"和"镀孔开窗"的操作和设计方面提供了一些建议,仅供同行参考。 展开更多
关键词 镀孔打磨 盲孔开窗 镀孔开窗 月牙状开路 漏波
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