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Developing a Prototype Piezoelectric Wafer-Box for Optimal Energy Harvesting
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作者 Ahmad S. Seonghoon Kim +2 位作者 Mohammad A. Junan S. Yong B. 《Journal of Civil Engineering and Architecture》 2022年第1期1-12,共12页
Piezoelectric(PZ)energy has been paid attention to as conventional renewable energy sources including solar,wind,and geothermal power.To address the dilemma of climatic conditions affecting the energy harvesting using... Piezoelectric(PZ)energy has been paid attention to as conventional renewable energy sources including solar,wind,and geothermal power.To address the dilemma of climatic conditions affecting the energy harvesting using Lead Zirconate Titanate(PZT)in pavement,wafer-boxes were used with embedded PZT sensors,since wafer-boxes have the ability to be embedded in the pavement where sensors are protected from any kind of physical damage.This research project was designed to identify which shaped wafer-box produced the most electric voltage and power.Various forms of wafer-box were developed to identify if there was any potential difference in voltage generation due to the structural shapes of the box.Seven different shapes of prototype wafer-boxes were designed utilizing both a 3D printer and 3D Computer Aided Design(CAD).These wafer-boxes were coupled with embedded PZT sensors which were tested in asphalt pavement analyzer(APA)machine under certain load to produce electric voltage.Collected voltage data from the APA wheel load test(WLT)were analyzed using various statistical methods.The statistical analyses results indicated that out of the seven different shaped wafer-boxes,the right-angled triangular shaped box produced the highest average voltage values where’s square shaped wafer-box produced the lowest amount of voltage.Structural properties of a wafer-box in terms of section modulus,area moment of inertia,extreme points,and radius of gyration were also analyzed,and a regression analysis was conducted to identify the reasons of different amounts of voltage produced.These voltage values could be used to calculate the power using power formulas showing relationship between power and voltage values.The outcome helped to identify which shape is most effective to power generation under certain circumstances.The regression analysis results indicated that out of four properties the section modulus is the most influential structural property affecting voltage production. 展开更多
关键词 PIEZOELECTRICITY PZT materials voltage wafer-box experiment design section MODULUS
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硅片盒喷雾清洗装置设计
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作者 葛正浩 杨昊 +2 位作者 李理想 李杰 蔡永礼 《轻工机械》 CAS 2024年第5期10-19,共10页
为减少在半导体产业中因硅片盒洁净度引起的硅片清洗质量问题,提高硅片盒清洗效率并减少化学液用量,课题组设计了一种硅片盒喷雾清洗装置。该装置采用上部喷雾、下部浸入的化学液湿法清洗方式,结合雾化理论对喷嘴结构进行了参数设计,并... 为减少在半导体产业中因硅片盒洁净度引起的硅片清洗质量问题,提高硅片盒清洗效率并减少化学液用量,课题组设计了一种硅片盒喷雾清洗装置。该装置采用上部喷雾、下部浸入的化学液湿法清洗方式,结合雾化理论对喷嘴结构进行了参数设计,并对化学液喷雾硅片盒清洗机的骨架、槽体和化学液喷雾装置进行建模及仿真分析。研究结果表明:该装置在保证清洗效果的前提下,可以避免因硅片盒洁净度的不足而影响硅片的表面质量,同时减少了化学液的用量和废气的排放。该设计为硅片盒清洗提供了一种更高效且经济的参考方案。 展开更多
关键词 硅片盒 喷雾清洗装置 雾化 喷嘴 流体仿真
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薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术 被引量:1
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作者 魏星 王湘 +4 位作者 陈猛 陈静 张苗 王曦 林成鲁 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1350-1353,共4页
在结合低剂量注氧隔离(SIMOX)技术和键合技术的基础上,研究了制备薄膜(薄顶层硅膜)厚埋层SOI材料的新技术——注氧键合技术.采用该新技术成功制备出薄膜厚埋层SOI材料,顶层硅厚度130nm,埋氧层厚度1μm,顶层硅厚度均匀性±2%.并分别... 在结合低剂量注氧隔离(SIMOX)技术和键合技术的基础上,研究了制备薄膜(薄顶层硅膜)厚埋层SOI材料的新技术——注氧键合技术.采用该新技术成功制备出薄膜厚埋层SOI材料,顶层硅厚度130nm,埋氧层厚度1μm,顶层硅厚度均匀性±2%.并分别采用原子力显微镜(AFM)和剖面透射电镜(XTEM)对其表面形貌和结构进行了表征.研究结果表明,SIMOX材料顶层硅通过键合技术转移后仍能够保持其厚度均匀性,且埋氧层和顶层硅之间具有原子级陡峭的分界面,因此注氧键合技术将会是一项有广阔应用前景的SOI制备技术. 展开更多
关键词 薄膜厚埋层SOI材料 注氧键合技术 剖面透射电镜
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一种降低硅片方块电阻方差的通过式扩散方法 被引量:2
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作者 郑荣豪 陆利新 肖乐 《机械制造》 2013年第3期26-29,共4页
为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法。首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型。其次,采用抽样统计方法,通... 为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法。首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型。其次,采用抽样统计方法,通过建立数学模型,计算各测试点的方块电阻及其方差,验证了该方法的有效性,为扩散工艺的改善提供借鉴。 展开更多
关键词 通过式 方块电阻 方差
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蓝宝石衬底晶圆单片清洗设备研制
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作者 王晓明 郭明灿 《机械工程师》 2023年第7期101-102,105,共3页
为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵... 为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗。通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求。 展开更多
关键词 晶圆 取片机械手 定位机构 刷片机构 清洗工作台 清洗箱
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