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宽离子束刻蚀微透镜阵列研究 被引量:10
1
作者 赵光兴 杨国光 +1 位作者 陈洪 侯西云 《微细加工技术》 EI 1995年第1期21-24,共4页
本文对宽束离子束刻蚀技术进行了研究,并运用宽离子束对微透镜阵列进行了刻蚀,表明宽离子束可进行微米、亚微米刻蚀。
关键词 离子束刻蚀 微透镜阵列 离子束刻蚀
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离子注入诱变的广亲和新品系在籼粳亚种杂种优势中的应用 被引量:2
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作者 吴敬德 王学栋 +2 位作者 吴跃进 许霞 刘贵付 《安徽农学院学报》 CSCD 1991年第4期299-304,共6页
经离子束诱变处理的新广亲和系,影响其产量的主要因素是有效穗数、每穗实粒数和千粒重,三者对产量具有均等的贡献。亲子代性状之间相关分析表明:通过选用千粒重大,每穗实粒数多、株高较矮、全生育期适中的亲本,能达到改善杂优组合的目... 经离子束诱变处理的新广亲和系,影响其产量的主要因素是有效穗数、每穗实粒数和千粒重,三者对产量具有均等的贡献。亲子代性状之间相关分析表明:通过选用千粒重大,每穗实粒数多、株高较矮、全生育期适中的亲本,能达到改善杂优组合的目的。遗传力高的较为稳定的性状,诱变后变异幅度不大,育种上最好选择杂合体进行离子束诱变处理。 展开更多
关键词 离子注入 广亲和性 灿粳亚种 杂种
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钽酸锂晶体滤波器的离子束刻蚀技术研究 被引量:8
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作者 张永川 彭胜春 徐阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第3期474-475,共2页
以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数,采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题,使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm。利用反台阶结构晶片制作出了中心频率为70MHz、3dB带宽为1 109kHz的高... 以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数,采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题,使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm。利用反台阶结构晶片制作出了中心频率为70MHz、3dB带宽为1 109kHz的高基频宽带钽酸锂晶体滤波器。 展开更多
关键词 晶体滤波器 钽酸锂 离子束刻蚀 高频 宽带
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离子束注入改良水稻广亲和系02428 被引量:3
4
作者 汪秀峰 吴敬德 《安徽农业大学学报》 CAS CSCD 1999年第4期423-426,共4页
对经离子束诱变的突变后代受测品系与籼、粳测验种测交F1 的黑染花粉率与小穗结实率的分析表明,两者相关不显著,建议在广亲和性品种筛选中宜以F1 小穗结实率作为亲本亲和性鉴定的主要指标。筛选出农艺性状优良, 较原品种显著增... 对经离子束诱变的突变后代受测品系与籼、粳测验种测交F1 的黑染花粉率与小穗结实率的分析表明,两者相关不显著,建议在广亲和性品种筛选中宜以F1 小穗结实率作为亲本亲和性鉴定的主要指标。筛选出农艺性状优良, 较原品种显著增产的广亲和新品系S9148。认为物理诱变是改良水稻广亲和系的一种有效途径。 展开更多
关键词 离子束 广亲和性 黑染花粉率 小穗结实率 水稻
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400-1100nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制 被引量:5
5
作者 郝殿中 苏富芳 王召兵 《曲阜师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2009年第1期57-59,共3页
为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.... 为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明平均剩余反射率均小于1.7%.测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好. 展开更多
关键词 光学薄膜 格兰泰勒棱镜 宽带 减反射膜 离子辅助电子束镀膜
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双离子束溅射ITO薄膜在电磁屏蔽窗口中的应用 被引量:1
6
作者 王松林 杨崇民 +4 位作者 张建付 李明伟 米高园 赵红军 贾雪涛 《真空》 CAS 2022年第3期46-51,共6页
为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果,采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜,根据薄膜的光电性能测试结果,分析了氧气流量、辅助离子源、基片烘烤温度等工艺条件对ITO薄膜透光性和导电性的影响。用T... 为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果,采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜,根据薄膜的光电性能测试结果,分析了氧气流量、辅助离子源、基片烘烤温度等工艺条件对ITO薄膜透光性和导电性的影响。用Ti_(2)O_(3)和SiO_(2)作为高、低折射率材料,ITO薄膜作为电磁屏蔽膜层,在K9玻璃基片上设计了对2~18GHz电磁波高效屏蔽的0°~45°宽角度入射的1064nm激光窗口膜层,并利用双离子束溅射技术在合适的工艺条件下完成了薄膜的制备。测试结果显示,制备的薄膜透光性和电磁屏蔽性能良好,具有一定的耐酸性,适合作为高效电磁屏蔽、0°~45°宽角度入射的1064nm激光窗口膜层。 展开更多
关键词 双离子束溅射 ITO薄膜 电磁屏蔽 宽角度入射 激光窗口
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用于小行星探测的离子电推进屏栅电源拓扑研究 被引量:3
7
作者 胡延栋 王少宁 +1 位作者 陈昶文 武桐 《航天器工程》 CSCD 北大核心 2019年第3期79-85,共7页
为了满足小行星探测中离子电推进多工作点调节的需求,将离子电推进电源处理单元(PPU)屏栅电源的拓扑结构作为研究对象,介绍了国内外屏栅电源的现状与应用场合,分析了各个屏栅电源拓扑结构的特点,最后得出了LLC拓扑可以满足任务要求。通... 为了满足小行星探测中离子电推进多工作点调节的需求,将离子电推进电源处理单元(PPU)屏栅电源的拓扑结构作为研究对象,介绍了国内外屏栅电源的现状与应用场合,分析了各个屏栅电源拓扑结构的特点,最后得出了LLC拓扑可以满足任务要求。通过对LLC拓扑的工作特性分析,提出了一种简化的时域增益曲线模型,以适应宽范围输入的要求。结合目前对于LLC拓扑的研究,提出数字化控制方式、三电平谐振变换器和混合控制3方面的技术展望,可为今后研制高效率、轻质量的离子电推进PPU屏栅电源提供技术参考。 展开更多
关键词 小行星探测 离子电推进 屏栅电源 LLC拓扑 宽范围输入
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