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SUVA工艺改善色偏研究
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作者 张勇 李林 +3 位作者 任驹 李凡 彭林 吴潘强 《光电子技术》 CAS 2024年第2期168-172,共5页
为优化SUVA3工艺中左右视角色偏(CR_((80/20)))较UV^(2)A工艺差的问题,从工艺、设计等方向,进行了组合曝光(PBS+WGP模式)、ITO狭缝角度、偏光片角度(WGP)等条件的探究。结果表明:组合曝光(PBS+WGP模式)、ITO角度、WGP角度均可优化色偏,... 为优化SUVA3工艺中左右视角色偏(CR_((80/20)))较UV^(2)A工艺差的问题,从工艺、设计等方向,进行了组合曝光(PBS+WGP模式)、ITO狭缝角度、偏光片角度(WGP)等条件的探究。结果表明:组合曝光(PBS+WGP模式)、ITO角度、WGP角度均可优化色偏,但从色偏收益和量产性角度考虑,ITO Slit角度+WGP角度调整更优,其最优条件为:WGP角度为f°(极限角度)+ITO狭缝角度为I°,可将SUVA3工艺色偏优化至UV^(2)A工艺水准,CR_((80/20))可达到35.6%。 展开更多
关键词 方位角 氧化铟锡薄膜狭缝 金属线栅偏振器 色偏
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基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计 被引量:19
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作者 张娜 褚金奎 +1 位作者 赵开春 孟凡涛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1739-1743,共5页
亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所... 亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所设计的光栅与传统金属光栅不同之处在于基底和光栅之间增加了氟化镁介质,在垂直入射条件下,TM偏振透射率及消光比都增大.在0.38μm^0.40μm及0.50μm^0.76μm全光波段内,TM偏振透射率都大于50%,消光比都大于170,达到了宽带宽、TM偏振透射率及透射消光比都较高的要求. 展开更多
关键词 二元光学 亚波长光栅 严格耦合波分析 金属光栅偏振器
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LWIR亚波长铝/硒化锌光栅偏振器设计 被引量:1
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作者 黄战华 马小青 +3 位作者 朱攀 张亚男 蔡怀宇 张尹馨 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期663-669,共7页
为提高长波红外偏振成像系统中偏振器件性能,本文通过分析光栅材料及结构参数对光栅偏振性能的影响,设计并优化了一种双层材料构成的亚波长光栅。该光栅为矩形形貌,光栅区由铝与硒化锌构成,两种材料的厚度分别为0.6μm和0.4μm,光栅周期... 为提高长波红外偏振成像系统中偏振器件性能,本文通过分析光栅材料及结构参数对光栅偏振性能的影响,设计并优化了一种双层材料构成的亚波长光栅。该光栅为矩形形貌,光栅区由铝与硒化锌构成,两种材料的厚度分别为0.6μm和0.4μm,光栅周期1μm,占空比50%。利用严格耦合波理论分析并计算该结构光栅的衍射效率,7~15μm波段的光以0~60°入射后其0级横磁模透射率达到87.54%以上,消光比超过47 d B。该光栅在10.6μm的测试波长下,TM透射率高达90.80%且具有50 d B以上的消光比,相比槽深相同的单层铝光栅,偏振透过率明显提高。仿真结果显示,该光栅在整个宽长波红外波段具有良好的偏振性能。 展开更多
关键词 衍射光学 双层亚波长光栅 严格耦合波理论 线栅偏振器 长波红外
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一种采用内部线栅偏振片的半透半反射式液晶显示器 被引量:3
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作者 Zhibing Ge Xinyu Zhu +1 位作者 Shin-Tson Wu 王文根(译) 《现代显示》 2006年第10期20-24,共5页
为了同时获得具有高透射率和反射率的液晶显示器,提出了一种采用内部线栅式偏振片(wiregridpolarizer,WGP)的单倍盒间距的半透半反式液晶显示器方法。在反射模式中,液晶盒内嵌的WGP作为依赖于偏振的外界光的反射器;在透射模式中,不需要... 为了同时获得具有高透射率和反射率的液晶显示器,提出了一种采用内部线栅式偏振片(wiregridpolarizer,WGP)的单倍盒间距的半透半反式液晶显示器方法。在反射模式中,液晶盒内嵌的WGP作为依赖于偏振的外界光的反射器;在透射模式中,不需要消色差的四分之一波片。基于液晶盒的初始取向,该器件可用于正常显黑模式(垂直取向)和正常显白模式(扭曲向列相取向)。本文研究了这两种器件结构详细的电光特性,如电压依赖光效率特性和视角特性。 展开更多
关键词 液晶显示器(LCD) 半透半反式 线栅偏振片(wgp)
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Terahertz broadband polarizer using bilayer subwavelength metal wire-grid structure on polyimide film 被引量:2
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作者 吴晓 李化月 +3 位作者 梁士雄 刘建军 韩张华 洪治 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期78-81,共4页
A tcrahcrtz (THz) broadband polarizer using bilayer subwavelength metal wire-grid structure on both sides of polyimide fihn is simulated by the finite-difference time-domain method. We amdyze tile effect of film thi... A tcrahcrtz (THz) broadband polarizer using bilayer subwavelength metal wire-grid structure on both sides of polyimide fihn is simulated by the finite-difference time-domain method. We amdyze tile effect of film thickness, material loss, and lateral shift between two metallic gratings on the performance of the THz polarizer. Bilayer wire-grid polarizers are fabricated by a simple way of laser induced and non-electrolytic plating with copper. The THz time-domain spectroscopy measurements show that in 0.2 1.6 THz frequency range, the extinction ratio is better than 45 dB, the average extinction ratio reaches 53 dB, and the transmittance exceeds 67%, which shows great advantage over conventional single wire-grid THz polarizer. 展开更多
关键词 THz Terahertz broadband polarizer using bilayer subwavelength metal wire-grid structure on polyimide film
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Design and fabrication of an embedded wire-grid nanograting
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作者 周立兵 朱伟 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期34-38,共5页
An embedded wire-grid nanograting was designed and fabricated for using as a broadband polarizing beam splitter to reflect s-polarized light and transmit p-polarized light. A protected cladding layer of the same mater... An embedded wire-grid nanograting was designed and fabricated for using as a broadband polarizing beam splitter to reflect s-polarized light and transmit p-polarized light. A protected cladding layer of the same material as the grating's was deposited on the ridge, whereas the wire-grid is deposited in the grating trenches, which makes it more firm during application. High polarization extinction ratios of above 40 and 20 dB for transmission and reflection, respectively, with a broad wavelength range for the whole optical communication bandwidth (850 -1700 nm) and a wide angular tolerance (〉 ±20 °) are obtained by optimization of the designed structures, and the grating period is 200 nm. 展开更多
关键词 polarizing beam splitter wire-grid nanograting extinction ratio
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