一种应用于曝光机的新型z向系统方案及实验研究

z向系统是接触式曝光机的关键部件之一。设计了一种曝光机的新型z向系统方案,该方案采用气动控制的方式,通过控制气体压力来调整接触力,用空气轴承导向,完成找平、微分离的自动控制。对z向系统设计原理进行了详细介绍,并通过实验对其部分功能进行了验证。