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基于视觉对位技术的柔板STR工艺
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作者 薛炜 陆继芬 《消费导刊》 2015年第12期395-395,397,共2页
借鉴目前FPC行业中较为先进的RTR(Roll to Roll卷对卷)制作工艺,延用Panel钻孔、镀铜工艺路线,在线路制作阶段使用干膜压合将单张材料连接成卷(STR------Sheet to Roll),然后RTR整卷曝光,后续RTS(Roll to Sheet)显影,然后按... 借鉴目前FPC行业中较为先进的RTR(Roll to Roll卷对卷)制作工艺,延用Panel钻孔、镀铜工艺路线,在线路制作阶段使用干膜压合将单张材料连接成卷(STR------Sheet to Roll),然后RTR整卷曝光,后续RTS(Roll to Sheet)显影,然后按正常流程蚀刻去膜,继续后续流程。该制程利用了视觉对位技术,使得RTR曝光能够实现,改善线路良率的同时,对前制程设备的投入相对较少,节约资金投入。 展开更多
关键词 视觉对位
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