磁控管内残余气体总压力的量测

本文讨论了磁控管内冷阴极放电特性,提出了利用自持汤生放电的原理来测量磁控管内残余气体的总压力。对几种管型磁控管在校正系统上进行了试验,研究了不同工作状态下的放电特性,确定了最佳工作电压。磁控管内总压力的可测范围为10^(-2)～10^(-7)托,灵敏度为1A/托,并具有较好的线性和重复性。文中也提出了扩展测量下限的一些设想。