Y,Cr离子注入碳钢耐蚀改性研究

用失重法、电化学方法、金相及俄歇电子能谱分析研究了碳钢离子注入Ｙ，Ｃｒ元 素在海水，ＨＦ，Ｈ２ＳＯ４＋Ｈ３ＰＯ４中的耐腐蚀改性作用．结果表明：稀土Ｙ注入后 使碳钢耐水溶液腐蚀性能提高；Ｙ，Ｃｒ复合注入使碳钢表面产生钝性，局部诱发小孔 腐蚀；Ｙ在表面注入层均匀富集产生的非平衡态合金化作用是耐蚀性提高的主要原 因；注入过程中高能离子轰击引起的表层微观结构变化对耐蚀强化起着一定的作用； Ｙ，Ｃｒ复合注入合金化的耐蚀改性效果更佳。

Mo、Ti离子注入不锈钢耐水溶液腐蚀改性研究

用电化学测试和俄歇电子能谱分析研究了离子注入不同剂量的Ｍｏ、Ｔｉ对３０４Ｌ奥氏体不锈钢在Ｈ＿２ＳＯ＿４、ＮａＣｌ水溶液中的腐蚀行为，结果表明：注入Ｍｏ、Ｔｉ可使不锈钢的耐水溶液腐蚀性能提高，并改善材料的钝性和耐小孔腐蚀能力；在腐蚀过程中，注入元素在膜中富集，膜中Ｃｒ／Ｆｅ比值提高，从而达到耐蚀性能改善之目的；在适当的注入剂量下，可获得最佳的耐蚀改性效果。

TaN膜的结构、成分及性能

研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。

动态混合高结合力超厚TiN膜

在新型的ＭＢＭＩ多束混合注入设备中、高真空条件下，在Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基底上采用化学配比态的强流Ｎ￣＋离子束，动态混合真空弧Ｔｉ等离子体束的沉积膜，得到高结合力（Ｌ＿ｃ：１００Ｎ）超厚（１０～３０μｍ）的ＴｉＮ膜。

在电弧不稳定性研究中一类方程的解

用级数展开法给出了电弧等离子体柱螺旋不稳定性研究中出现的一类方程的精确解。对具有各种非齐次项的情况求得了解析解。对弧柱内外相应的方程求得了方便计算的求解公式。

射频等离子体增强磁控溅射沉积Al_2O_3膜

采用射频等离子体增强磁控溅射同步沉积，在金属表面制备了Ａｌ２Ｏ３ 膜．实验表明，采用本方法在工艺上是可行的，膜与基材结合性能好。

电子束在动态混合沉积TiN中的作用

在三束动态混合离子注入机中，研究了电子束对动态混合沉积ＴｉＮ薄膜的硬度、结合力和膜层结构的影响．结果表明，电子束增强了离子束的反应活力，保持了混合过程中温度的均匀性，整个沉积膜层中形成了均匀分布的细纤维状ＴｉＮ晶粒，显著提高了膜层的韧性和结合力。