Mo、Ti离子注入不锈钢耐水溶液腐蚀改性研究

用电化学测试和俄歇电子能谱分析研究了离子注入不同剂量的Ｍｏ、Ｔｉ对３０４Ｌ奥氏体不锈钢在Ｈ＿２ＳＯ＿４、ＮａＣｌ水溶液中的腐蚀行为，结果表明：注入Ｍｏ、Ｔｉ可使不锈钢的耐水溶液腐蚀性能提高，并改善材料的钝性和耐小孔腐蚀能力；在腐蚀过程中，注入元素在膜中富集，膜中Ｃｒ／Ｆｅ比值提高，从而达到耐蚀性能改善之目的；在适当的注入剂量下，可获得最佳的耐蚀改性效果。

钇离子注入对不锈钢耐水溶液腐蚀改性研究

用电化学测量和表面分析方法研究了钇离子注入对３０４Ｌ奥氏体不锈钢耐水溶液腐蚀改性作用。结果表明，在适当的注入剂量下，注入试样在０．５ｍｏｌ／ＬＨ２ＳＯ４、０．６ｍｏｌ／ＬＮａＣｌ水溶液中的自腐蚀电位正移，自腐蚀电流密度下降至原来的１／４～１／６，击穿电位上升３０～５０ｍＶ。通过离于注入方式添加的钇以过饱和固溶形式均匀分布在不锈钢表面。试样表面层内Ｃｒ／Ｆｅ比值增加，含氧层厚度也增加。钇对不锈钢耐水溶液腐蚀改性主要是通过表面合金化和改变不锈钢表面层成分实现的。研究表明，注入剂量的变化对材料的改性效果具有一定的影响。

TaN膜的结构、成分及性能

研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。

离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜

利用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）技术制备ＴａＮ薄膜；掠入射的Ｘ射线衍射和透射电镜观察结果显示，薄膜晶粒细小、结构致密，是面心立方结构。俄歇深度分析表明，薄膜由均匀层和混合过渡层两个区域组成，ＸＰＳ得出薄膜主要以ＴａＮ形式存在；薄膜电阻稳定，不随温度变化。膜基结合性能好，膜内应力小；２５ｋｅＶ能量离子轰击制得薄膜内应力最小，结合最好。

氩离子束溅射沉积PTFE高分子膜

用氩离子束溅射聚四氟乙烯靶材，在黄铜上沉积聚四氟乙烯薄膜．用ＸＰＳ和ＩＲＳ分析方法确定了聚四氟乙烯高分子膜的存在，并依据沉积膜形成过程对沉积膜与靶材在ＩＲＳ谱图上的差异给予了解释．结果表明。

动态混合高结合力超厚TiN膜

在新型的ＭＢＭＩ多束混合注入设备中、高真空条件下，在Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ基底上采用化学配比态的强流Ｎ￣＋离子束，动态混合真空弧Ｔｉ等离子体束的沉积膜，得到高结合力（Ｌ＿ｃ：１００Ｎ）超厚（１０～３０μｍ）的ＴｉＮ膜。

采用MBDM法获得高性能高分子膜的研究

采用多束动态混合法在３０４不锈钢样品表面成功地制备出ＰＴＦＥ（聚四氟乙烯）和ＰＥＥＫ（聚醚醚酮）混合的高性能高分子复合膜，其结合力约７０Ｎ，耐蚀能力提高２０倍，摩擦系数达到０．０７～０．１４。

在电弧不稳定性研究中一类方程的解

用级数展开法给出了电弧等离子体柱螺旋不稳定性研究中出现的一类方程的精确解。对具有各种非齐次项的情况求得了解析解。对弧柱内外相应的方程求得了方便计算的求解公式。

射频等离子体增强磁控溅射沉积Al_2O_3膜

采用射频等离子体增强磁控溅射同步沉积，在金属表面制备了Ａｌ２Ｏ３ 膜．实验表明，采用本方法在工艺上是可行的，膜与基材结合性能好。

电子束在动态混合沉积TiN中的作用

在三束动态混合离子注入机中，研究了电子束对动态混合沉积ＴｉＮ薄膜的硬度、结合力和膜层结构的影响．结果表明，电子束增强了离子束的反应活力，保持了混合过程中温度的均匀性，整个沉积膜层中形成了均匀分布的细纤维状ＴｉＮ晶粒，显著提高了膜层的韧性和结合力。