SiO_2添加量对TiO_2/SiO_2纳米复合薄膜的影响研究

采用射频磁控溅射方法制备超亲水TiO_2/SiO_2复合薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、液滴形状分析仪等测试手段表征薄膜的晶体结构、微观形貌和亲水性能。研究SiO_2含量对TiO_2/SiO_2复合薄膜晶相、微观形貌和亲水性的影响。结果表明:TiO_2/SiO_2复合薄膜呈现非晶态,掺入SiO_2后,减小了TiO_2的晶粒尺寸,提高了TiO_2薄膜的成膜质量,使薄膜的比表面积增加。随着SiO_2含量的增加,薄膜的接触角越来越小,热处理之后的薄膜呈现超亲水性。

射频磁控溅射制备纳米TiO_2薄膜及其表征

采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、原子扫描电镜(AFM)对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌进行表征。研究了热处理对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌的影响。结果表明,热处理后TiO2颗粒变小,薄膜更加致密。热处理前TiO2薄膜没有出现晶相,呈无定型,500℃条件下热处理1h后出现锐钛矿相,升高热处理温度未出现金红石相。