基于事件驱动的集束型晶圆制造设备调度算法

为了有效利用集束型晶圆制造设备,并使其满足动态到达晶圆调度要求,在描述调度问题域及引入时间约束集概念的基础上建立了调度问题的数学模型,根据模型提出了一种基于事件驱动的调度算法,调度目标是使到达晶圆在最短时间内完成加工.对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效且实用.

稀薄等离子体羽流稳态流动粒子模拟

以稳态等离子体推力器羽流为研究对象,基于单元粒子法-直接模拟蒙特卡罗法混合法,建立数值仿真模型,研究流场电势、电子数密度、离子电流密度分布,通过与实测数据及已有模拟结果的比较验证模型.电子动量方程简化中,考虑电子和离子与中性粒子的碰撞效应,采用交替方向隐式法求解等离子体电势,所得仿真结果优于忽略该效应的Boltzmann模型,尤其是在流场翼部.本研究对电推力器的污染评估具有参考价值.

排气背压对增压柴油机功率的影响分析及其改进方法

建立了某涡轮增压柴油机一维工作过程模型并经试验验证;用该模型研究了排气背压的升高对涡轮增压柴油机输出功率的影响,并通过增压系统的重新匹配和设计改造,探讨了两种改善发动机环境背压适应性的方案。

LPG小型点燃式发动机怠速工况下微粒排放特性研究

介绍了LPG点燃式发动机在怠速工况下的微粒排放特性,试验在一台电控单缸机上进行。通过在不同混合气过量空气系数下的试验,发现理论空燃比附近微粒的排放量最少;在混合气浓区的微粒排放随着过量空气系数变小而增多;在混合气稀区的微粒排放随过量空气系数增大也略有增加。微粒的排放随点火提前角的推迟有先减小后增加的趋势。随转速的增加,粒径峰值逐渐向粒径增大变化。怠速工况下的微粒粒径主要集中在(23．7～133)nm。颗粒物排放浓度与HC排放的浓度在趋势上有较好的一致性。