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基于压电效应的光电子集成技术研究进展(特邀) 被引量:1
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作者 沈健 冯成龙 +4 位作者 张洵 张磊 舒畅 张永 苏翼凯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1-22,共22页
压电效应是一种实现电能与机械能之间相互转换的重要物理现象。随着集成光电子技术和压电薄膜材料制备技术的日益成熟,压电效应在光电子集成芯片领域引起广泛的研究。在压电效应的作用下,外部电场可以操控薄膜材料的形变,从而改变折射率... 压电效应是一种实现电能与机械能之间相互转换的重要物理现象。随着集成光电子技术和压电薄膜材料制备技术的日益成熟,压电效应在光电子集成芯片领域引起广泛的研究。在压电效应的作用下,外部电场可以操控薄膜材料的形变,从而改变折射率,实现光电调谐和声光调制。本文首先介绍常见压电薄膜材料及其研究进展,随后回顾和探讨基于压电效应的光电子集成器件的研究进展。最后,对压电调谐器件和声光调制器的应用进行介绍和展望,分析其大规模应用面临的挑战和问题。 展开更多
关键词 硅基光电子学 压电效应 可调谐器件 声光调制器 光电子集成芯片
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