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题名基于紫外纳米压印光刻的氟化混合物模板制备
被引量:2
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作者
胡克想
王阳培华
王庆康
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机构
中国矿业大学信息与控制工程学院物联网(感知矿山)研究中心矿山互联网应用技术国家工程实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《飞控与探测》
2019年第2期54-58,共5页
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基金
中央高校基础研究基金(2014QNA81)
中国科技部国际合作项目(2012DFA11070)
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文摘
不同特征尺度和不同周期的氟化混合物软复制模板,通过使用硅主模板和紫外纳米压印光刻技术制备而成。与聚二甲基硅氧烷和其他聚合物材料相比,光刻胶具有优良的性能,如优良的机械强度、低表面能和良好的热稳定性等。在紫外和热纳米压印工艺中,主模板被用作印章。实验结果表明,转移到基底上的图案与主模板非常一致。所制备的氟化混合物复制模板不仅适用于紫外纳米压印,也适用于热纳米压印,并且所加工的复制模板还可被用于制备光电器件,以实现传感、成像、探测、通信和数据存储等领域中的相关功能。
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关键词
纳米制造
纳米压印曝光
纳米压印设备
氟化混合物复制软模板
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Keywords
nanofabrication
nanoimprinting lithography
nanoimprinting machine
fluoridated hybrid soft replica mold
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
TN23
[电子电信—物理电子学]
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题名微型人造血管壁面特征对血液流动的影响
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作者
王桂莲
孙云娜
姚锦元
王艳
丁桂甫
章巧琪
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机构
上海工程技术大学电子电气工程学院
上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家重点实验室
上海市宝山区中西医结合医院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第10期4-7,共4页
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基金
上海市科委项目(12JC1404902)
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文摘
针对3D打印和喷丝成型两种不同微加工方法制备的人造血管壁面特征对其内部液态流场的影响开展仿真研究。借助商用Comsol软件,研究了不同壁面拓扑形貌,结构尺寸和流体粘度等因素对人造血管内部流场的影响规律分析。结果表明:3D打印制备的人造血管内壁面凸起阵列结构在流场内形成了液体滞留区,该区域面积不随液体粘度的变化而变化,而会随着凸起结构尺寸的变大而变大;当滞留区带有血栓时,滞留区域面积进一步增大,容易引起血小板富集,因此,3D打印的人造血管壁面凸起结构对于血栓具有诱发和强化的作用。
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关键词
人造血管
微加工
3D打印
流场仿真
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Keywords
artificial vessel
micro-fabrication
3D print
flow field simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名微半球陀螺测控电路国内外现状与关键技术
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作者
谷留涛
张卫平
刘朝阳
田梦雅
成宇翔
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机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室
上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心
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出处
《导航与控制》
2019年第2期26-32,共7页
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基金
国家自然科学基金(编号:61574093)
微米纳米加工技术国家级重点实验室基金(编号:614280504010317)
+2 种基金
航天科技创新基金(编号:16GFZ-JJ01-309)
航天先进技术联合研究中心技术创新项目(编号:USCAST2016-5)
上海专业技术服务平台项目(编号:16DZ2290103)
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文摘
微半球陀螺相比于传统的机械陀螺具有更小的尺寸,因此其对温度、湿度、磁场等外界环境的变化更为敏感。为了保证陀螺具有较好的工作表现,需要使外部驱动信号的频率严格锁定于工作模态的中心频率上,且陀螺输出信号幅值恒定。与此同时,由于微半球陀螺信号为微弱信号,故而需要采用微弱信号采集技术及反馈技术对其进行处理,并且通过解调控制算法得到输出信号。阐述了微半球陀螺基本测控电路的国内外发展现状,并从Sigma-delta、模态匹配、正交补偿、温度补偿等角度分析了微半球陀螺测控电路的关键技术。
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关键词
微半球陀螺
微弱信号
测控电路
SIGMA-DELTA
模态匹配
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Keywords
micro-hemispherical gyroscope
weak signal
measurement and control circuit
Sigma-delta
mode matching
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分类号
TP273.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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