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半导体厂房空调、净化系统设计探讨
被引量:
2
1
作者
吕纯
《冶金丛刊》
2017年第1期216-,220,共2页
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多...
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。
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关键词
半导体厂房
空调净化系统
设计
下载PDF
职称材料
题名
半导体厂房空调、净化系统设计探讨
被引量:
2
1
作者
吕纯
机构
上海先进半导制造股份有限公司
出处
《冶金丛刊》
2017年第1期216-,220,共2页
文摘
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。
关键词
半导体厂房
空调净化系统
设计
分类号
TU83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
半导体厂房空调、净化系统设计探讨
吕纯
《冶金丛刊》
2017
2
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