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题名半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用
被引量:1
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作者
严嵘
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机构
上海华虹nec电子有限公司动力部
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出处
《洁净与空调技术》
2012年第3期60-65,共6页
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文摘
面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的"节能减排"方针,华虹NEC充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用,达到了"双倍"的节能效果。
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关键词
半导体工厂
能源互补
节能
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Keywords
Semi-conductor manufacturer
Mutual energy complement
Energy saving
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名半导体工厂冷水系统节能项目及管理
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作者
丁霁波
龚凯
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机构
上海华虹nec电子有限公司动力部
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出处
《洁净与空调技术》
2013年第3期38-46,共9页
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文摘
重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目;简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,以供各位同行参考。
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关键词
半导体工厂
冷水系统
节能管理
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Keywords
Semiconductor plant
Chilled water system
Energy-saving management.
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分类号
TU831.3
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名洁净厂房用漏液检测报警系统简介
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作者
刘建勋
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机构
上海华虹nec电子有限公司动力部
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出处
《洁净与空调技术》
2010年第3期56-58,共3页
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文摘
主要介绍用于洁净厂房内的漏液检测系统以及相关产品的功能、安装、报警处理等。
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关键词
洁净厂房(Cleanroom)
漏液检测线/带(leakagesensor)
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Keywords
Cleanroom
Liquid leakage sensor
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分类号
TP277
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名高科技制造业工艺设备的尾气处理
被引量:2
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作者
刘建勋
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机构
上海华虹nec电子有限公司 动力部
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出处
《工厂动力》
2011年第3期59-65,共7页
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文摘
本文介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中,工艺设备尾气除害用的废气处理装置以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。
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关键词
集成电路
洁净厂房(Cleanroom)
废气处理装置或尾气处理装置(Local
Scrubber
简称:L/S)特殊气体预防性保养(PM:Preventive
Maintenance)
报警(alarm)
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分类号
F124.3
[经济管理—世界经济]
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题名远程监控在集成电路芯片制造工厂中的应用
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作者
徐秉强
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机构
上海华虹nec电子有限公司动力部
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出处
《工厂动力》
2011年第3期71-76,共6页
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文摘
本文主要介绍集成电路芯片制造工厂包括具有高洁净度的大面积生产区和各种类型的公用动力系统的显着特点,应用全厂动力设施管理与控制的远程监控系统,实现对集成电路芯片制造工厂中的生产过程动力系统管理、用户管理、设备监控、数据显示和报警。
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关键词
集成电路
动力设施管理与控制系统(FMCS)
远程监控
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名能源互助的综合节能系统
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作者
张悦
顾蕾
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机构
上海华虹nec电子有限公司动力部
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出处
《工厂动力》
2009年第3期19-21,18,共4页
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文摘
本文简介一种能源互助综合节能系统并做了案例分析,可供类似企业(特别是集成电路制造业)借鉴的研讨。
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关键词
综合节能
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分类号
TK223.7
[动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
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