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在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜
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作者 赵于勒 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期197-199,共3页
SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统 ,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法 ,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系。本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法 。
关键词 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 SPM 通用平台 纳米结构检测 技术指标
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