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在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜
1
作者
赵于勒
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期197-199,共3页
SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统 ,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法 ,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系。本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法 。
关键词
扫描探针显微镜
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
SPM
通用平台
纳米结构检测
技术指标
下载PDF
职称材料
题名
在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜
1
作者
赵于勒
机构
上海卓伦微纳米设备有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期197-199,共3页
基金
上海市科委纳米专项基金资助项目
文摘
SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统 ,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法 ,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系。本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法 。
关键词
扫描探针显微镜
扫描隧道显微镜
原子力显微镜
SPM
通用平台
纳米结构检测
技术指标
Keywords
SPM
STM
AFM
commonly used platform
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
在SPM通用平台上开发特殊功能扫描探针显微镜
赵于勒
《微纳电子技术》
CAS
2003
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