国产溅射离子泵主要性能测试及现状

在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要。

SSRF电子储存环铝合金超高真空室研制

上海光源 3 5GeV电子储存环超高真空室采用铝合金材料 ,经数控加工后焊接而成 ,其结构复杂 ,精度要求高。在预制研究中成功地完成了一段 6m长典型真空室的设计、制造与调试。该真空室的平面度达到 0 2 3mm ,横向偏移量 1 4mm ,内表面单位面积出气率 4 1× 10 -10 Pa·m/s。在研制中暴露出结构设计和加工工艺等方面的多种问题 ,并找到了妥善解决的方法 ,为工程批量生产准备了条件。

SSRF增强器真空系统设计和真空室研制

为减少增强器弯转磁铁的交变磁场在真空室内感应的涡流对主磁场的干扰 ,SSRF增强器采用了椭圆截面的薄壁不锈钢真空室 ,并成功研制出样机。本文描述了增强器真空系统总体设计、真空室的材料选择、结构设计和物理计算 (如涡流对主磁场的影响、真空室的真空负载变形、同步辐射光对真空室温升影响和真空室内压强分布 ) ,介绍了加工工艺。

SSRF光子吸收器的研制

用于SSRF的水平和垂直两种光子吸收器已研制成功。光子吸收器既要吸收高功率负载和高功率密度的废弃的同步辐射 ,又要准直引出的光束 ,并受到严重的空间限制。设计仔细考虑了吸收器的结构形状、吸收面上同步辐射功率密度的稀释、吸收体和冷却水的热输运以及吸收体内的热应力及其寿命等问题。用经典热力学公式和ANSYS程序对吸收体进行了热计算。采用了数控机加工、电火花刻蚀加工、电子束焊接和几次钎焊等工艺。

SSRF显微NEXAFS光束线站初步设计

设计光子能量范围为 2 5 0～ 75 0eV ,可覆盖C、N、O、F的K边界以及过渡金属直至Fe的L边 .设计的空间分辨率为 5 0～ 1 5 0nm ,具备发展到 30nm的能力 .重点考虑了相干辐射的传输 ,分析了水平和垂直方向的相空间匹配问题 .引入冗余照明的概念 ,以实现波带板的空间相干照明以及降低束线对光源不稳定性及元件振动的要求 .设计输出光通量可达 1 0 9phs/ (s·0 .1 %BW ) .谱分辨率 (E/ΔE)标称值 30 0 0 ,并可根据不同实验调整 .实验站设计样品可放在真空、氦气和大气环境中工作 .

SSRF XAFS光束线初步设计

对上海同步辐射装置 (SSRF)的一条用于XAFS研究的光束线的初步设计进行了介绍 .该设计以弯铁辐射作为光源 ,光束线光学系统采用聚焦和不聚焦两种光学模式 .用追迹程序Shadow对光束线性能进行模拟计算 ,聚焦模式在 5～ 2 5keV的能量范围内样品位置的光斑尺寸为 0 .5× 0 .5mm2 ,光强高于 1 0 11photons/s,高次谐波成分小于 1 0 -4 ,适合于用荧光XAFS方法研究低浓度及表面样品体系 ;不聚焦模式可用的能量范围较宽 ( 4～ 40keV) ,样品位置的光斑尺寸小于 5 0× 2mm2 ,光强高于 1 0 9photons/s ,高次谐波成分小于 1 0 -2 。

充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响

在未烘烤的超高真空系统中 ,真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素。通过实验 ,对充入气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试 。

SSRF储存环预研制铝合金真空室的机械加工

上海同步辐射装置 (SSRF)储存环铝合金超高真空室已研制成功。该机加真空室的尺寸大 ,尺寸精度、形位公差及粗糙度要求极高 ,不同于常规的大型超高真空室。在预研件加工中 ,成功地解决了一系列问题 ,如光洁度提高困难 ;加工成型后变形大 ;加工尺寸和精度受环境温度影响较大等。本文详细阐述了储存环真空室材料和热处理状态的选择依据 ,为了保证尺寸精度和形位公差所采取的工艺措施 ,分析了粗糙度的形成机理和影响因素 ,从刀具材料、几何角度、切削参数。