100级超净车间空调噪声的综合治理

一、概况 上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积为218m^2,相邻空调机房面积为150m^2,净高为5.7m,机房内安装三台日本新晃AC-100型空调机组[每台风量80000m^3/h、全压58mmH_2O、转速950r/min、声功率级97.5dB(A)],机房与超净车间一墙之隔,而下部回风口全部直接连通。