碳化硅晶片生产废水处理工程实例

本研究选取上海某碳化硅晶片制造企业的生产废水处理项目进行案例分析。该企业的生产废水分别排至含氟、含氨、研磨及最终中和处理系统进行处理,采用化学沉淀、吹脱-吸收、混凝沉淀、酸碱中和等工艺进行处理,运行结果表明,废水处理最终出水水质满足《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731—2020)中表1要求。本研究不仅为碳化硅晶片制造业的废水处理提供了技术参考,还针对废水排放量超出行业基准排水量的问题,提出了加强废水回收利用、中水回用等切实可行的改进措施。