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轴向式热磁控抑制电离真空规 被引量:1
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作者 陈建中 孙企达 郭元恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期219-222,共4页
本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,... 本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,其最低可测压强至少可达≤10^(-14)Pa。与Visser在Lafferty的热磁控规基础上提出的热磁控抑制规相比‘它除了Px外‘还具有灵敏度高、金属电极面小、结构简单、除气容易以及采用低温工作阴极等特点。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10^(-2)Pa(发射电流为1×10^(-3)A)。 展开更多
关键词 电离真空规 热磁 收集极 控规 除气 发射电流 线性测量 测量下限 极电压 抑制作用
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