电子束变焦-临界温度极值焦点测量法

针对电子束焦点难以直接测量的问题,提出一种利用电子束流与金属粉末相互作用产生的熔池温度极值效应测量电子束流焦点的方法.文中分析讨论了电子束流焦点位置的影响因素,通过试验研究了电子束加热过程中粉末熔池温度与聚焦电流的函数规律,发现温度—聚焦电流关系函数的极大值即为聚焦电子束能量密度分布状态的临界转变点.基于扫描电子束粉末烧结过程的这种临界温度特性,提出了一种测量电子束加工过程动态焦点的方法,即变焦-临界温度极值检测的焦点测量法.结果表明,这种方法可以实现电子束焦点位置的快速、高效地检测与定位控制.