多晶硅还原炉气相平衡计算与分析

基于Gibbs自由能最小原理,对多晶硅还原炉内气相平衡进行了计算,系统地分析了不同温度、压力和氢摩尔配比条件下SiHCl3的转化率,以及还原尾气中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、H2和HCl等组份的平衡情况,包括流量和组成浓度等。计算结果与实际情况较吻合,可以为改良西门子工艺的物料平衡模型提供依据,也可在还原炉实际运行过程,通过尾气分析检测数据与计算数据对照,分析炉内的工艺条件状况,及时做出调整和优化。