薄膜的离子束辅助淀积

本文介绍了一适用于离子辅助淀积薄膜的宽束离子源。描述了离子束轰击对TiO_2/SiO_2、ZnS/MgF_2两种介质滤光膜以及Al-SiO_2、单层Cu两种反射膜的性能的变化。研究了离子辅助淀积对薄膜的牢固度、附着性、抗蚀性和稳定性等性能的改善和提高。结果表明,离子辅助淀积对金属膜性能的改善与对介质膜性能的改善一样显著。

IAD工艺对于节能膜性能的影响

节能膜是一种发展快、用途广的功能膜,苛刻的使用条件对节能膜的稳定性与牢固度提出了高要求。本文讨论离子辅助淀积(IAD)工艺改善节能膜性能的效果——对制备的一系列膜系测试了光学性能、牢固度及表面形貌和成分,说明:IAD比热蒸发(PVD)制备的节能膜功能强。

致冷多层干涉滤光片的光学特性

本文系统地研究了红外多层干涉滤光片的低温特性、并从薄膜的基本光学特性出发,推导了窄带滤光片、截止滤光片透射率与波长的温度效应.给出了截止滤光片截止波长的温度漂移公式.